[實用新型]一種硅源氣體的檢測裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201921935246.2 | 申請日： | 2019-11-11 |
| 公開（公告）號： | CN210953555U | 公開（公告）日： | 2020-07-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 倚娜 | 申請（專利權(quán)）人： | 西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司 |
| 主分類號： | G01N1/24 | 分類號： | G01N1/24;G01N30/02;G01N30/06;G01N30/20;G01N30/72;B01D53/04 |
| 代理公司： | 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243 | 代理人： | 許靜;胡影 |
| 地址： | 710065 陜西省西安市*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 氣體 檢測 裝置 | ||
1.一種硅源氣體的檢測裝置，硅源氣體自供氣裝置經(jīng)由輸送管道輸送至外延反應(yīng)室，其特征在于，所述檢測裝置包括：
收集單元，用于收集硅源氣體，所述收集單元包括吸附管以及與所述吸附管一端可拆卸地連接的空氣采樣泵，所述吸附管還與所述輸送管道連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅源氣體的檢測裝置，其特征在于，所述吸附管內(nèi)填裝有用于吸附所述硅源氣體的吸附劑。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅源氣體的檢測裝置，其特征在于，所述收集單元還包括設(shè)置于所述輸送管道上的三通閥，所述三通閥的兩端與所述輸送管道連通，所述三通閥的第三端與所述吸附管可拆卸地連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅源氣體的檢測裝置，其特征在于，所述三通閥的三端均連接有開關(guān)閥。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅源氣體的檢測裝置，其特征在于，還包括：
熱脫附單元，所述熱脫附單元用于對所述吸附管內(nèi)吸附的硅源氣體進(jìn)行解吸附。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅源氣體的檢測裝置，其特征在于，還包括：
檢測單元，用于檢測收集到的所述硅源氣體，所述檢測單元包括氣體分析儀，所述氣體分析儀的采氣端與所述吸附管可拆卸地連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的硅源氣體的檢測裝置，其特征在于，所述氣體分析儀為氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀。
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