[實(shí)用新型]改進(jìn)型奧夫納爾檢驗(yàn)超大口徑凹非球面鏡的光學(xué)系統(tǒng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201921931037.0 | 申請(qǐng)日： | 2019-11-11 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN210862560U | 公開(kāi)（公告）日： | 2020-06-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王欣;劉強(qiáng);周浩;何志平;舒嶸;賈建軍 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | G01B11/24 | 分類(lèi)號(hào)： | G01B11/24;G01B11/255 |
| 代理公司： | 上海滬慧律師事務(wù)所 31311 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 改進(jìn)型 奧夫納爾 檢驗(yàn) 超大 口徑 球面鏡 光學(xué)系統(tǒng) | ||
1.一種改進(jìn)型奧夫納爾檢驗(yàn)超大口徑凹非球面鏡的光學(xué)系統(tǒng)，包括待檢凹非球面鏡(1)、第一補(bǔ)償透鏡(2)和第二補(bǔ)償透鏡(3)，其特征在于，
所述光學(xué)系統(tǒng)的光欄位于待檢凹非球面鏡(1)上；由檢測(cè)設(shè)備發(fā)出的光線(xiàn)經(jīng)第一補(bǔ)償透鏡(2)和第二補(bǔ)償透鏡(3)透射后，至待檢凹非球面鏡(1)自準(zhǔn)反射，再經(jīng)第二補(bǔ)償透鏡(3)和第一補(bǔ)償透鏡(2)透射原路回到檢測(cè)設(shè)備；
所述的第一補(bǔ)償透鏡(2)的入射光線(xiàn)孔徑角與出射光線(xiàn)孔徑角之比β1＝-2.16，第一補(bǔ)償透鏡(2)與待檢凹非球面鏡(1)口徑比α1＝-0.025；
所述的第二補(bǔ)償透鏡(3)的入射光線(xiàn)孔徑角與出射光線(xiàn)孔徑角之比β2＝0.79，第二補(bǔ)償透鏡(3)與待檢凹非球面鏡(1)口徑比α2＝-0.0075；
補(bǔ)償透鏡總的入射光線(xiàn)孔徑角與出射光線(xiàn)孔徑角之比β＝-1.71。
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