[實(shí)用新型]一種兆聲波清洗機(jī)的槽體結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921882990.0
• 申請(qǐng)日: 2019-11-04
• 公開（公告）號(hào): CN210516687U
• 公開（公告）日: 2020-05-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李勇剛;劉凱;李宗穎;張萍;馮國(guó)春
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 河北廣創(chuàng)電子科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673;B08B3/12;B08B13/00
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本實(shí)用新型公開一種兆聲波清洗機(jī)的槽體結(jié)構(gòu)，包括外PP槽壁、兆聲擋水板、外槽安裝座、內(nèi)槽壁、石英缸斜底、石英缸槽、花籃、兆聲發(fā)生器和兆聲保護(hù)盒，所述外PP槽壁包含四個(gè)側(cè)壁和一個(gè)底壁形成長(zhǎng)方體外槽，所述長(zhǎng)方體外槽相對(duì)的兩個(gè)內(nèi)槽壁上固定安裝有支撐板一和支撐板二，所述支撐板一和所述支撐板二處于同一水平高度，所述支撐板一和所述支撐板二上支撐安裝有所述內(nèi)槽壁，所述內(nèi)槽壁由四個(gè)側(cè)面圍成并形成起內(nèi)部的所述石英缸槽，所述石英缸槽的底部固定安裝有所述石英缸斜底。有益效果在于：本實(shí)用新型所述的兆聲波清洗機(jī)的槽體結(jié)構(gòu)適用于小物件的清洗，清洗頻率更高，并且能量使用率高，浪費(fèi)低。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體、光伏、LED等行業(yè)的硅/晶片清洗設(shè)備領(lǐng)域，特別是涉及一種兆聲波清洗機(jī)的槽體結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

傳統(tǒng)的超聲波清洗工藝是利用超聲波在液體中的空化作用、加速度作用及直進(jìn)流作用對(duì)液體和污物直接、間接的作用，使污物層被分散、乳化、剝離而達(dá)到清洗目的。但是超聲波清洗產(chǎn)生的空化作用會(huì)使氣泡在爆破時(shí)產(chǎn)生的上千個(gè)大氣壓力會(huì)引起質(zhì)點(diǎn)很大的振動(dòng)速度和加速度，亦使清洗件表面的污物受到頻繁而激烈的沖擊，同時(shí)也會(huì)對(duì)晶片產(chǎn)生激烈的沖擊，嚴(yán)重則會(huì)導(dǎo)致被清洗物件的損壞，所以超聲波清洗只適用于清洗較大的物件，清洗小物件則需要用頻率更高的兆聲波清洗。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的就在于為了解決上述問(wèn)題而提供一種兆聲波清洗機(jī)的槽體結(jié)構(gòu)。

本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)上述目的：

一種兆聲波清洗機(jī)的槽體結(jié)構(gòu)，包括外PP槽壁、兆聲擋水板、外槽安裝座、內(nèi)槽壁、石英缸斜底、石英缸槽、花籃、兆聲發(fā)生器和兆聲保護(hù)盒，所述外PP槽壁包含四個(gè)側(cè)壁和一個(gè)底壁形成長(zhǎng)方體外槽，所述長(zhǎng)方體外槽相對(duì)的兩個(gè)內(nèi)槽壁上固定安裝有支撐板一和支撐板二，所述支撐板一和所述支撐板二處于同一水平高度，所述支撐板一和所述支撐板二上支撐安裝有所述內(nèi)槽壁，所述內(nèi)槽壁由四個(gè)側(cè)面圍成并形成起內(nèi)部的所述石英缸槽，所述石英缸槽的底部固定安裝有所述石英缸斜底，所述石英缸斜底上方的所述石英缸槽內(nèi)設(shè)置有所述花籃，所述底壁開設(shè)有方孔，所述方孔的底部安裝有所述兆聲保護(hù)盒，所述兆聲保護(hù)盒內(nèi)固定安裝有所述兆聲發(fā)生器。

為了進(jìn)一步提高兆聲波清洗機(jī)的槽體結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性，所述內(nèi)槽壁的內(nèi)側(cè)隔設(shè)有支撐板四，所述花籃固定安裝在所述支撐板四上。

為了進(jìn)一步提高兆聲波清洗機(jī)的槽體結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性，所述支撐板一和所述支撐板二通過(guò)其底部的支撐板三支撐在所述底壁上。

為了進(jìn)一步提高兆聲波清洗機(jī)的槽體結(jié)構(gòu)的實(shí)用性，所述外PP槽壁的內(nèi)側(cè)壁上安裝固定有外槽液位定位塊用于觀測(cè)對(duì)照定位水位高度。

為了進(jìn)一步提高兆聲波清洗機(jī)的槽體結(jié)構(gòu)的排水性能，所述底壁上還開設(shè)有溢流排水口用于將溢流滲出的水排出，所述溢流排水口上塞有塞體。

為了進(jìn)一步提高兆聲波清洗機(jī)的槽體結(jié)構(gòu)的能量使用性能，所述石英缸斜底與水平面傾斜度角用于提高使用率。傾斜角度為15-50度，最優(yōu)先19度。

在本實(shí)施例中，外PP槽壁使用PP材料，內(nèi)槽壁使用石英材料，在兆聲清洗時(shí)石英槽不會(huì)產(chǎn)生顆粒；由于在兆聲清洗時(shí)會(huì)產(chǎn)生氣泡，氣泡越積越多會(huì)導(dǎo)致兆聲的能量損失，所以石英槽體底部有19度傾斜角，可以很大的提高能量使用率，兆聲波適合清洗0.5um及以下的顆粒。

有益效果在于：本實(shí)用新型所述的兆聲波清洗機(jī)的槽體結(jié)構(gòu)適用于小物件的清洗，清洗頻率更高，并且能量使用率高，浪費(fèi)低。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型所述一種兆聲波清洗機(jī)的槽體結(jié)構(gòu)的整體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型所述一種兆聲波清洗機(jī)的槽體結(jié)構(gòu)的俯視圖；

圖3是本實(shí)用新型所述一種兆聲波清洗機(jī)的槽體結(jié)構(gòu)的縱向剖視圖；