[實(shí)用新型]一種新型晶圓研磨拋光設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921877858.0
• 申請日: 2019-11-04
• 公開（公告）號(hào): CN210704236U
• 公開（公告）日: 2020-06-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王岳峰
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市盈富仕科技有限公司
• 主分類號(hào): B24B37/10
• 分類號(hào): B24B37/10;B24B37/34;B24B55/06;B08B9/087
• 代理公司: 重慶百潤洪知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 50219
• 代理人: 張建斌

1.一種新型晶圓研磨拋光設(shè)備，其特征在于：包括由上圓柱形和下圓臺(tái)形組成的工作箱，所述工作箱的內(nèi)部通過多根環(huán)形陣列分布的連板支撐有安裝座，所述安裝座的底面中心處通過支柱固定連接有放置在地面的底座，所述工作箱的頂面上固定安裝有與其同軸的雙軸電機(jī)，且雙軸電機(jī)處于豎直狀態(tài)，所述雙軸電機(jī)的下輸出軸穿入工作箱連接有橫板，所述橫板左右兩端固定連接有第一清刷件，且第一清刷件貼合在工作箱的上部內(nèi)壁，同時(shí)雙軸電機(jī)的上輸出端固定連接有連接桿，所述連接桿的另一端固定有第二清刷件，且第二清刷件貼合在工作箱的下部內(nèi)壁，所述工作箱的頂部固定安裝有儲(chǔ)液箱，所述儲(chǔ)液箱的底部通過導(dǎo)液管連接有環(huán)形導(dǎo)管，且環(huán)形導(dǎo)管通過多個(gè)管道固定焊接在工作箱外壁上，所述工作箱上開設(shè)有多個(gè)與管道對應(yīng)導(dǎo)通的進(jìn)液孔。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型晶圓研磨拋光設(shè)備，其特征在于，所述橫板的下側(cè)面左側(cè)和右側(cè)分別安裝有箱體和氣缸，所述箱體的底部依次連接有噴液管和噴液頭，所述氣缸的底端固定連接有研磨石。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型晶圓研磨拋光設(shè)備，其特征在于，所述安裝座的頂面固定連接有電機(jī)罩，且電機(jī)罩內(nèi)安裝有單軸電機(jī)，所述單軸電機(jī)的輸出端上固定安裝有工作臺(tái)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型晶圓研磨拋光設(shè)備，其特征在于，所述底座的內(nèi)部為空心狀，且支柱的底部與底座內(nèi)壁之間安裝有加強(qiáng)筋。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種新型晶圓研磨拋光設(shè)備，其特征在于，所述氣缸與研磨石之間至少固定有兩個(gè)彈簧。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型晶圓研磨拋光設(shè)備，其特征在于，所述第一清刷桿和第二清刷桿均包括桿體，所述桿體的外表面粘接有刷毛。