[實用新型]一種退火裝置有效
| 申請號： | 201921877544.0 | 申請日： | 2019-11-01 |
| 公開（公告）號： | CN210657018U | 公開（公告）日： | 2020-06-02 |
| 發明（設計）人： | 楊波;吳長征;謝毅 | 申請（專利權）人： | 中國科學技術大學先進技術研究院 |
| 主分類號： | C21D1/26 | 分類號： | C21D1/26;C21D1/68;C21D9/00;C21D1/74 |
| 代理公司： | 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所 44287 | 代理人： | 郭春芳 |
| 地址： | 230000 安徽*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 退火 裝置 | ||
1.一種退火裝置，其特征在于，所述退火裝置包括：
加熱組件，所述加熱組件內具有爐腔；
回收組件，所述回收組件連接所述加熱組件，所述回收組件具有一回收腔，所述回收腔連通所述爐腔；
其中，所述回收組件還包括一冷凝件，所述冷凝件上的冷凝部位于或部分位于所述回收腔中。
2.根據權利要求1所述的退火裝置，其特征在于，所述回收組件還包括回收件與密封件，所述回收件內開設有所述回收腔，所述密封件套設在所述冷凝件的表面并與所述回收腔的內壁抵接，以將所述回收腔與外界環境隔絕。
3.根據權利要求2所述的退火裝置，其特征在于，所述密封件為彈性塑膠形成的密封圈。
4.根據權利要求2所述的退火裝置，其特征在于，所述回收組件還包括連接管，所述連接管的一端連接所述加熱組件，另一端連接所述回收件，以將所述回收腔及所述爐腔連通。
5.根據權利要求1所述的退火裝置，其特征在于，所述加熱組件包括加熱件及容置件，所述加熱件開設有加熱腔，所述容置件全部或部分位于所述加熱腔中，所述容置件內開設有所述爐腔。
6.根據權利要求5所述的退火裝置，其特征在于，當所述容置件部分位于所述加熱腔中時，所述容置件的主體從所述加熱腔穿過，所述容置件的兩端位于所述加熱件外。
7.根據權利要求5或6所述的退火裝置，其特征在于，所述容置件內設有樣本槽；或，所述容置件內放置有樣品裝載件，所述樣品裝載件內設有樣本槽。
8.根據權利要求7所述的退火裝置，其特征在于，所述加熱件的兩端分別設有第一開口與第二開口，所述容置件從所述第一開口進入所述加熱腔并從所述第二開口穿出所述加熱腔。
9.根據權利要求5所述的退火裝置，其特征在于，所述容置件為石英管。
10.根據權利要求1所述的退火裝置，其特征在于，所述退火裝置還包括供氣組件，所述供氣組件的一端連通所述爐腔，另一端連通所述回收腔。
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