[實用新型]一種風量均勻的FFU裝置

有效

• 申請號: 201921876290.0
• 申請日: 2019-11-04
• 公開（公告）號: CN211706235U
• 公開（公告）日: 2020-10-20
• 發明（設計）人: 王貝易
• 申請（專利權）人: 盛奕半導體科技（無錫）有限公司
• 主分類號: B01D46/42
• 分類號: B01D46/42
• 代理公司: 無錫市朗高知識產權代理有限公司 32262
• 代理人: 賈傳美;趙華

本實用新型提供一種風量均勻的FFU裝置，包括：氣流分布器，所述氣流分布器上設置有多個導流孔，所述多個導流孔，在位于氣流分布器中心位置呈圓形分布，在圓形分布導流孔的外周圈呈矩形分布，通過對風扇防震固定器的鏤空設計，減小了風機局部區域與周圍區域風量的差異，使得FFU裝置在狹小空間內便可提供相對穩定的風量，縮小了FFU裝置的體積，同時也降低了生產成本；氣流分布器采用了孔徑風量控制法，采用不同孔徑和不同排布方式，使得風機局部區域與周圍區域風量的差異得到進一步的明顯改善，整體風量控制更加均勻。

技術領域

本實用新型屬于高效過濾器領域，尤其涉及一種風量均勻的FFU 裝置。

背景技術

FFU(Fan Filter Units)，風機過濾機組，其工作原理為FFU的離心風機將空氣吸入FFU內，并通過FFU內的空氣過濾器，將空氣中的顆粒物吸附在過濾器中，已達到凈化空氣的效果，目前廣泛用于半導體、液晶制造業、電子、生物制藥等行業。

但是現有的FFU在提供風量時，由離心風機自身結構的限制，使得在較小密閉空間內形成的風量不穩定，以風機為中心，風量向外逐漸變大；并且現有的氣流分布器孔徑單一，直接導致輸出的風量不均勻，影響了生產工藝。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供超薄的高效過濾器，通過以下技術方案來實現：包括：氣流分布器，所述氣流分布器上設置有多個導流孔，所述多個導流孔，在位于氣流分布器中心位置呈圓形分布，在圓形分布導流孔的外周圈呈矩形分布。

優選的，呈圓形分布的多個導流孔設置有多組，不同組的導流孔孔徑不同。

優選的，呈矩形分布的多個導流孔設置有多組，不同組的導流孔孔徑不完全相同。

優選的，還包括風機系統，所述風機系統安裝在氣流分布器的上方。

優選的，所述風機系統安裝于氣流分布器的中心位置，所述風機系統包括：電機、離心扇葉和風扇防震固定器，電機設置在離心扇葉中心位置且與離心扇葉電連接，離心扇葉安裝在風扇防震固定器上，風扇防震固定器安裝在氣流分布器上方。

優選的，風機系統安裝于氣流分布器呈圓形分布的多個導流孔的上方。

優選的，風扇防震固定器采用C型鋼，電機和離心扇葉安裝在C 型鋼的腔體內，風扇防震固定器的側面設置有鏤空。

優選的，還包括有初效過濾器和高效過濾器，初效過濾器安裝在機身頂部，位于風機系統的正上方，高效過濾器安裝在機身的底部，位于氣流分布器的正下方。

本實用新型的有益效果：通過對風扇防震固定器的鏤空設計，減小了風機局部區域與周圍區域風量的差異，使得FFU裝置在狹小空間內便可提供相對穩定的風量，縮小了FFU裝置的體積，同時也降低了生產成本；氣流分布器采用了孔徑風量控制法，采用不同孔徑和不同排布方式，使得風機局部區域與周圍區域風量的差異得到進一步的明顯改善，整體風量控制更加均勻。

附圖說明

圖1是本專利申請的結構示意圖；

圖2為圖1的主視圖；

圖3為圖2的A-A剖視圖；

圖4為分機系統的結構示意圖；

圖5為氣流分布器的結構示意圖；

圖中，1、初效過濾器；2、整流罩；3、風機系統；4、風扇防震固定器；5、氣流分布器；6、高效過濾器；7、機身。

具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型作進一步詳細說明。