[實用新型]探針臺傳片控制裝置有效
| 申請號： | 201921876007.4 | 申請日： | 2019-11-01 |
| 公開（公告）號： | CN210692506U | 公開（公告）日： | 2020-06-05 |
| 發明（設計）人： | 賴建祥;王毅 | 申請（專利權）人： | 揚州揚杰電子科技股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/677 | 分類號： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 揚州市蘇為知識產權代理事務所(普通合伙) 32283 | 代理人： | 郭翔 |
| 地址： | 225008 江蘇省揚*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 探針 臺傳片 控制 裝置 | ||
1.探針臺傳片控制裝置，包括傳送臺、限位座和一對設置在所述傳送臺上的皮帶；其特征在于，還包括旋轉臂、升降機構、支架和光纖傳感器；
所述升降機構固定設置在所述傳送臺的底部，位于中部位置；所述升降機構的活塞桿的頂部設有固定連接的吸盤；所述傳送臺上設有與活塞桿適配的升降孔；
所述旋轉臂通過電機活動設置在所述傳送臺上，位于所述限位座的外側的中部位置，與升降機構相適配；
所述光纖傳感器通過支架固定設置在所述傳送臺上，與晶片相適配。
2.根據權利要求1所述的探針臺傳片控制裝置，其特征在于，所述旋轉臂包括依次固定連接的連接部和支撐部；
所述連接部的一端與電機的旋轉軸固定連接，另一端與支撐部固定連接；
所述支撐部呈C形，與所述升降機構相適配。
3.根據權利要求2所述的探針臺傳片控制裝置，其特征在于，所述支撐部的頂部設有若干均布固定設置的乳膠層；
所述支撐部上，位于相鄰所述乳膠層之間設有吸氣孔。
4.根據權利要求1所述的探針臺傳片控制裝置，其特征在于，所述支架包括豎向架、橫向架、小齒輪和大齒輪；
所述豎向架豎向固定設置在所述傳送臺上，位于所述限位座的外側；
所述小齒輪通過鉸接軸一活動設置在所述豎向架的頂部；
所述大齒輪通過鉸接軸二活動設置在所述豎向架的頂部，與所述小齒輪相嚙合；
所述橫向架的一端設有向下延伸的鉸接軸三，所述鉸接軸三與所述大齒輪固定連接；
所述光纖傳感器固定設置在所述橫向架的另一端，位于晶片的頂部。
5.根據權利要求4所述的探針臺傳片控制裝置，其特征在于，所述橫向架上設有與所述光纖傳感器適配的滑槽。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
