[實(shí)用新型]一種鍍膜機(jī)用可快速冷卻的工件盤裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921875473.0
• 申請(qǐng)日: 2019-10-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN210974862U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-07-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳偉;周立慶;寧提;張堅(jiān)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 成都南光機(jī)器有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/50
• 分類號(hào): C23C14/50
• 代理公司: 成都弘毅天承知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51230
• 代理人: 黃蓉蓉

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種鍍膜機(jī)用可快速冷卻的工件盤裝置，涉及鍍膜機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，本實(shí)用新型包括鍍膜機(jī)上的回轉(zhuǎn)軸，回轉(zhuǎn)軸底部連接有工件盤，回轉(zhuǎn)軸內(nèi)開(kāi)設(shè)有冷卻液通道，工件盤內(nèi)開(kāi)設(shè)有與冷卻液通道連通的循環(huán)冷卻通道，本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、可直接對(duì)工件盤快速降溫、以滿足特殊鍍膜工藝需求的優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及鍍膜機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，更具體的是涉及一種鍍膜機(jī)用可快速冷卻的工件盤裝置。

背景技術(shù)

真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)、磁控濺射、MBE分子束外延、PLD激光濺射沉積等很多種，主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。

目前鍍膜機(jī)通過(guò)工件盤夾取固定工件時(shí)，大都通過(guò)冷卻箱體或者加熱箱體來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)鍍膜過(guò)程的溫度控制，但是由于熱量在高真空環(huán)境下傳輸較慢，所以效果不是很明顯，且反應(yīng)滯后，無(wú)法快速有效地對(duì)工件盤進(jìn)行降溫，以滿足特殊鍍膜工藝的需求。

故如何解決上述技術(shù)問(wèn)題，對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)很有現(xiàn)實(shí)意義。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于：為了解決現(xiàn)有鍍膜機(jī)中工件盤的溫度無(wú)法快速降溫的技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種鍍膜機(jī)用可快速冷卻的工件盤裝置。

本實(shí)用新型為了實(shí)現(xiàn)上述目的具體采用以下技術(shù)方案：

一種鍍膜機(jī)用可快速冷卻的工件盤裝置，包括鍍膜機(jī)上的回轉(zhuǎn)軸，回轉(zhuǎn)軸底部連接有工件盤，回轉(zhuǎn)軸內(nèi)開(kāi)設(shè)有冷卻液通道，工件盤內(nèi)開(kāi)設(shè)有與冷卻液通道連通的循環(huán)冷卻通道。

進(jìn)一步地，冷卻液通道頂部連接有進(jìn)液管，循環(huán)冷卻通道末端連接有出液管。

進(jìn)一步地，出液管上設(shè)置有溫度檢測(cè)探頭。

進(jìn)一步地，循環(huán)冷卻通道呈旋渦狀。

進(jìn)一步地，工件盤底部?jī)蓚?cè)設(shè)置有對(duì)稱的L型板，L型板下端的水平板上設(shè)置有彈簧壓緊機(jī)構(gòu)，工件盤底部通過(guò)彈簧壓緊機(jī)構(gòu)固定若干工件，工件位于兩L型板之間。

進(jìn)一步地，彈簧壓緊機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在L型板下端水平板上的彈簧座，彈簧座上開(kāi)設(shè)有凹槽，凹槽內(nèi)設(shè)置有壓縮彈簧，壓縮彈簧頂部設(shè)置有緩沖墊塊，緩沖墊塊貼合在工件底部。

本實(shí)用新型的有益效果如下：

1、本實(shí)用新型直接在工件盤內(nèi)開(kāi)設(shè)循環(huán)冷卻通道，再通過(guò)冷卻液通道注入冷卻液，使冷卻液流經(jīng)循環(huán)冷卻通道時(shí)能直接對(duì)工件盤進(jìn)行冷卻，冷卻效果好，起到快速降溫作用，從而滿足特殊鍍膜工藝的需求。

2、工件盤底部通過(guò)兩個(gè)L型板和彈簧壓緊機(jī)構(gòu)可固定多個(gè)工件，當(dāng)鍍膜加工完成后，取下最底層工件后，在壓縮彈簧作用下使緩沖墊塊自動(dòng)抵緊上一塊工件，然后繼續(xù)對(duì)該工件進(jìn)行鍍膜處理，改變傳統(tǒng)一次加工一件后再更換新的工件的加工方式，減少了更換次數(shù)，提高了加工效率。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型一種鍍膜機(jī)用可快速冷卻的工件盤裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是圖1中A-A處的剖視結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記：1-回轉(zhuǎn)軸，2-工件盤，3-冷卻液通道，4-循環(huán)冷卻通道，5-進(jìn)液管，6-出液管，7-溫度檢測(cè)探頭，8-L型板，9-彈簧壓緊機(jī)構(gòu)，9.1-彈簧座，9.2-壓縮彈簧，9.3-緩沖墊塊。

具體實(shí)施方式

為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。