[實用新型]一種氫氣燃燒裝置

有效

• 申請號: 201921867152.6
• 申請日: 2019-11-01
• 公開（公告）號: CN210801213U
• 公開（公告）日: 2020-06-19
• 發明（設計）人: 梅家祺;梅興東;謝飛
• 申請（專利權）人: 青島海迪克微電子設備有限公司
• 主分類號: F23G7/06
• 分類號: F23G7/06;F23Q7/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種氫氣燃燒裝置，包括電極柱、加熱絲和高溫導線，殼體內的隔板將殼體內上部形成用于燃燒氫氣的燃燒室，燃燒室內設有兩個以上加熱絲，每個加熱絲的兩端分別與一個電極柱連接，加熱絲與電極柱連接線外包裹有陶瓷塊，安裝在隔板上的電極柱外包裹有陶瓷殼，電極柱的下端連接高溫導線，隔板上設有氫氣進氣口以及氧氣進氣口，本實用新型具有徹底燃燒氫氣、可靠性高、使用壽命長、易于維修的特點。

技術領域

本實用新型屬于半導體芯片加工設備技術領域，尤其涉及一種氫氣燃燒裝置。

背景技術

氫氣在半導體芯片的制造過程中有著廣泛的應用，而尾氣中氫氣的處理對生產安全至關重要。現有的氫氣燃燒裝置使用一組電加熱絲，置于尾氣排出口，通過電熱絲加熱到一定溫度點燃尾氣中的氫氣。但是在尾氣流量過大時，現有的氫氣燃燒裝置存在燃燒不充分的問題，存在安全隱患。

發明內容

本實用新型的目的在于改進已有技術的不足而提供一種徹底燃燒氫氣、可靠性高、使用壽命長、易于維修的氫氣燃燒裝置。

本實用新型的目的是這樣實現的，一種氫氣燃燒裝置，包括電極柱、加熱絲和高溫導線，其特點是殼體內的隔板將殼體內上部形成用于燃燒氫氣的燃燒室，燃燒室內設有兩個以上加熱絲，每個加熱絲的兩端分別與一個電極柱連接，加熱絲與電極柱連接線外包裹有陶瓷塊，安裝在隔板上的電極柱外包裹有陶瓷殼，電極柱的下端連接高溫導線，隔板上設有氫氣進氣口以及氧氣進氣口。

為了進一步實現本實用新型的目的，可以是所述的陶瓷殼由上陶瓷殼、下陶瓷殼組成。

為了進一步實現本實用新型的目的，可以是所述的上陶瓷殼、下陶瓷殼采用凹凸結構插接連接。

本實用新型與已有技術相比具有以下顯著特點和積極效果：本實用新型采用隔板將殼體上部形成燃燒室，將氫氣引入燃燒室，有利于氫氣的充分燃燒；電極柱外部由陶瓷殼包裹與外殼隔絕，避免外殼帶電引發安全隱患；包裹電極柱的陶瓷件分為兩部分，使用凹凸式公母式設計，保證了貼合度，進一步提高了安全性；電極柱與加熱絲的連接線上包裹了陶瓷塊，進一步提高了安全性；采用了兩組以上加熱絲，保證氣體流量大時氫氣也能充分燃燒，即使一組加熱絲熔斷，另外加熱絲也能滿足氫氣處理的要求；底部有氧氣進氣口，以保證氫氣能充分燃燒。

附圖說明

圖1為本實用新型的一種結構示意圖。

圖2為圖1的俯視圖。

圖3為本實用新型的另一種結構示意圖。

圖中：1、加熱絲，2、外殼，3、高溫導線，4、氫氣進氣口，5、電極柱，6、氧氣進氣口，7、陶瓷殼，8、下陶瓷殼，9、上陶瓷殼，10、陶瓷塊，11、隔板。

具體實施方式

以下結合附圖和具體實施例對本實用新型做進一步詳細說明。

一種氫氣燃燒裝置，參照圖1、圖2，隔板11固定在外殼2內，殼體2內隔板11的上部形成用于燃燒氫氣的燃燒室，燃燒室內設有兩個以上加熱絲1，每個加熱絲1的兩端分別與一個電極柱5連接，加熱絲1與電極柱5連接線外包裹有陶瓷塊10，安裝在隔板11上的電極柱5外包裹有陶瓷殼7，電極柱5與陶瓷殼7螺紋連接，陶瓷殼7將隔板11與電極柱5隔離，電極柱5的下端連接高溫導線3，隔板11上設有氫氣進氣口4以及氧氣進氣口6，氫氣進氣口4位于各加熱絲1的中心部位，氧氣進氣口6環繞氫氣進氣口4設置，可根據需要配置，本實施例采用1個氫氣進氣口4、4個氧氣進氣口6。

參照圖3，所述的陶瓷殼7由上陶瓷殼9、下陶瓷殼8組成，上陶瓷殼9、下陶瓷殼8采用中心凹凸結構插接連接，將電極柱5中間部分完全包裹，只留出上下兩端分別用于與加熱絲、高溫導線連接。