[實用新型]一種藍寶石拋光液過濾循環(huán)裝置

有效

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• 申請日: 2019-11-01
• 公開（公告）號: CN210964147U
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發(fā)明（設計）人: 高長有;張行富;陳志敏;張頊
• 申請（專利權）人: 江蘇京晶光電科技有限公司
• 主分類號: B01D29/11
• 分類號: B01D29/11;B01D29/96
• 代理公司: 南京行高知識產權代理有限公司 32404
• 代理人: 王菊花

本實用新型公開了一種藍寶石拋光液過濾循環(huán)裝置，包括拋光盤和過濾裝置，其特征在于：所述過濾裝置包括集液桶、固定機構以及過濾機構，所述過濾機構包括過濾支架環(huán)和與支架環(huán)相連的過濾網(wǎng)袋，所述過濾機構通過固定機構固定在集液桶上，所述過濾裝置通過進液管道與拋光盤相連，所述集液桶側面設有一排液口，所述排液口上設有出液管道，所述出液管道上設有抽液泵，所述出液管道與拋光盤相連。本實用新型通過固定裝置和過濾網(wǎng)袋能夠輕易更換，且成本較低，通過過濾網(wǎng)袋過濾時的擺動，結晶不容易堵塞網(wǎng)孔，能夠在藍寶石生產過程中大大降低生產成本，且固定裝置易安裝拆卸，更換方便。

技術領域

本實用新型涉及藍寶石生產領域，具體涉及一種藍寶石拋光液過濾循環(huán)裝置。

背景技術

藍寶石化學機械拋光的主要作用是去除上段(單面研磨)的晶片表面輕微劃痕。在超細拋光磨料的作用下，受到一定壓力的晶片與拋光墊相互高速旋轉運動，借助磨料的機械作用和化學腐蝕作用來進行磨削。循環(huán)使用后的拋光液含有大量結晶物、藍寶石碎片等硬質物，在機械拋光過程中，可能造成晶片的劃傷、爆盤等問題。所以拋光漿料的過濾系統(tǒng)就必不可少。專利CN 208287615 U將過濾分為粗濾和細濾兩個階段，有很好的過濾效果。該方案的問題在于，為避免濾網(wǎng)堵塞，該專利采用震動的方式破碎濾網(wǎng)中的大顆粒，但濾出的結晶物雜質也容易因震動破碎而重新回流濾液，因此這種方式實際過濾效果并不理想。相比較于振動過濾，利用顆粒本身的重力完成過濾是一種常見的方法。專利CN 206010831 U中巧妙的利用顆粒物較重易沉淀的特點，經濟高效的完成了拋光液中顆粒雜質的過濾，但是在該專利中，沉積于池底的雜質不便及時清理。同樣是利用重力過濾，在專利CN207562435 U中，拋光液從過濾裝置上部流入，經過裝置內部的水平濾網(wǎng)，最后從底部流出。該過濾裝置過濾高效，且過濾網(wǎng)可更換。但該裝置成本較高，且更換過濾網(wǎng)的開孔在筒體一側，更換較費力，另外該專利并沒有考慮到如何實時觀察濾網(wǎng)的堵塞狀況這一問題。為了解決上述專利存在的問題，我們發(fā)明了一種簡易、低成本、高效率的過濾裝置。

實用新型內容

發(fā)明目的：針對現(xiàn)有技術中存在的問題，本實用新型提供了藍寶石拋光液過濾循環(huán)裝置。

技術方案：實現(xiàn)本實用新型目的的技術解決方案為，一種藍寶石拋光液過濾循環(huán)裝置，包括拋光盤和過濾裝置，所述過濾裝置包括集液桶、固定機構以及過濾機構，所述過濾機構包括過濾支架環(huán)和與支架環(huán)相連的過濾網(wǎng)袋，所述過濾機構通過固定機構固定在集液桶上，所述過濾裝置通過進液管道與拋光盤相連，所述集液桶側面設有一排液口，所述排液口上設有出液管道，所述出液管道上設有抽液泵，所述出液管道與拋光盤相連。

進一步地，所述固定機構包括防滑凸起圓周以及錐形固定支架，所述錐形固定支架分別與進液管道和過濾支架環(huán)相連，所述過濾支架環(huán)設在防滑凸起圓周內。所述集液桶上設有桶蓋，所述固定機構設在桶蓋上。所述錐形固定支架上設有一開孔。

與上述固定機構并列的優(yōu)選方案為：所述固定機構包括固定支架環(huán)和與固定支架環(huán)相連的固定手柄，所述固定手柄呈“F”型，通過固定手柄卡合在集液桶的桶身上，所述固定支架環(huán)的圓周直徑小于過濾支架環(huán)圓周直徑，過濾支架環(huán)套接在固定支架環(huán)上。所述固定支架環(huán)的圓環(huán)直徑小于過濾支架圓形環(huán)的直徑5～10mm。

進一步地，所述過濾網(wǎng)袋采用尼龍制成的過濾網(wǎng)袋，過濾支架環(huán)為尼龍支架環(huán)；所述過濾支架環(huán)與過濾網(wǎng)袋采用熱熔連接。所述過濾網(wǎng)袋中的過濾網(wǎng)孔徑為70～100目，長*寬為120*80mm～200*120mm；所述過濾支架環(huán)圓環(huán)直徑80～120mm；所述過濾網(wǎng)袋為雙層或者多層過濾網(wǎng)。

有益效果：通過本實用新型所構思的上述技術方案，與現(xiàn)有技術相比，具有如下有益的效果：

本實用新型在保證過濾質量的前提下解決了因濾芯易堵塞的問題，進而降低了潛在的因濾芯堵塞而起的，諸晶片劃傷，干拋，異常停機甚至爆盤等問題。