[實(shí)用新型]檢測組件、檢測裝置以及檢測系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921864477.9
• 申請(qǐng)日: 2019-10-31
• 公開（公告）號(hào): CN211179650U
• 公開（公告）日: 2020-08-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚力軍;潘杰;王學(xué)澤;丁向前
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號(hào): G01N29/04
• 分類號(hào): G01N29/04;G01B17/00
• 代理公司: 北京超成律師事務(wù)所 11646
• 代理人: 韓夢(mèng)嘉

本申請(qǐng)涉及靶材焊接技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種檢測組件、檢測裝置以及檢測系統(tǒng)。一種檢測組件，用于檢測濺射靶材與背板的焊接結(jié)合率，包括移動(dòng)機(jī)構(gòu)和探頭，探頭能夠吸附于移動(dòng)機(jī)構(gòu)上，且移動(dòng)機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)探頭在待檢測件上方移動(dòng)。本申請(qǐng)中探頭吸附于移動(dòng)機(jī)構(gòu)上，即探頭在所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)上的位置可調(diào)，具有較強(qiáng)的靈活性，保證探頭始終與待檢測件的位置對(duì)應(yīng)，即使檢測更加精準(zhǔn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及靶材焊接技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種檢測組件、檢測裝置以及檢測系統(tǒng)。

背景技術(shù)

靶材由背板和濺射靶材通過焊接進(jìn)行結(jié)合，焊接結(jié)合率及內(nèi)部缺陷是檢驗(yàn)靶材的重要指標(biāo)，如果在濺射中發(fā)生脫焊或者因焊接不良導(dǎo)致的漏焊料等情況，將污染甚至磕傷客戶貴重機(jī)臺(tái)；然而，目前用于靶材焊接結(jié)合率的檢測機(jī)構(gòu)上的檢測探頭的探頭位置可調(diào)性差、靈活性不夠，不便于對(duì)待檢測靶材進(jìn)行檢測。

實(shí)用新型內(nèi)容

本申請(qǐng)的目的在于提供一種檢測組件、檢測裝置以及檢測系統(tǒng)，在一定程度上解決現(xiàn)有技術(shù)中靶材焊接結(jié)合率檢測機(jī)構(gòu)中探頭位置可調(diào)性差、靈活性不夠，不便于對(duì)待檢測靶材進(jìn)行檢測的技術(shù)問題。

本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N檢測組件，用于檢測濺射靶材與背板的焊接結(jié)合率，包括移動(dòng)機(jī)構(gòu)和探頭，所述探頭能夠吸附于所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)上，且所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)所述探頭在待檢測件上方移動(dòng)。

在上述技術(shù)方案中，進(jìn)一步地，所述探頭上設(shè)置有磁性件，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)上設(shè)置有吸附件，所述磁性件與所述吸附件能夠相互吸附，以使所述探頭吸附在所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)上。

在上述技術(shù)方案中，進(jìn)一步地，所述吸附件為電磁鐵，所述磁性件為磁性鐵板。

在上述技術(shù)方案中，進(jìn)一步地，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括定位梁和滑軌，所述滑軌沿第一方向延伸，所述定位梁沿第二方向延伸；所述第一方向與所述第二方向相垂直；所述吸附件設(shè)置于所述定位梁上，所述定位梁滑動(dòng)設(shè)置于所述滑軌上，以使吸附于所述定位梁上的所述探頭能夠在所述待檢測件上方移動(dòng)。

在上述技術(shù)方案中，進(jìn)一步地，所述探頭的數(shù)量為多個(gè)，多個(gè)所述探頭沿所述定位梁的延伸方向間隔設(shè)置，且與所述待檢測件一一對(duì)應(yīng)設(shè)置，多個(gè)所述探頭能夠分別同時(shí)對(duì)對(duì)應(yīng)的所述待檢測件檢測。

本申請(qǐng)還提供一種檢測裝置，包括上所述的檢測組件和檢測箱；

所述檢測箱用于容納檢測介質(zhì)和所述待檢測件；所述檢測組件置于所述檢測箱上，且所述探頭朝向所述待檢測件。

在上述技術(shù)方案中，進(jìn)一步地，還包括承托件，所述承托件設(shè)置在所述檢測箱內(nèi)，所述承托件上置有待檢測件，所述承托件用于承托所述待檢測件。

在上述技術(shù)方案中，進(jìn)一步地，還包括吊裝件，所述吊裝件設(shè)置在所述承托件的兩側(cè)，所述吊裝件能夠驅(qū)動(dòng)所述承托件沿豎直方向移動(dòng)，以使所述承托件和所述待檢測件浸入所述檢測箱內(nèi)的檢測介質(zhì)中或脫離所述檢測箱內(nèi)的檢測介質(zhì)。

在上述技術(shù)方案中，進(jìn)一步地，所述承托件上設(shè)置有定位件，所述定位件沿所述待檢測件的長度方向和寬度方向中的至少一個(gè)方向設(shè)置，所述定位件用于將所述待檢測件固定在所述承托件上。

本申請(qǐng)還提供一種檢測系統(tǒng)，包括上述的檢測裝置。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本申請(qǐng)的有益效果為：

本申請(qǐng)用于檢測濺射靶材與背板的焊接結(jié)合率，其中，檢測組件包括移動(dòng)機(jī)構(gòu)和探頭，探頭能夠吸附于移動(dòng)機(jī)構(gòu)上，利用移動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠帶動(dòng)探頭在待檢測件上方移動(dòng)，進(jìn)而檢測濺射靶材與背板的焊接結(jié)合率，更進(jìn)一步地，探頭吸附于移動(dòng)機(jī)構(gòu)上，即探頭在所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)上的位置可調(diào)，具有較強(qiáng)的靈活性，保證探頭始終與待檢測件的位置對(duì)應(yīng)，即使檢測更加精準(zhǔn)。

更具體地，本申請(qǐng)中相鄰兩個(gè)探頭之間的距離能夠調(diào)節(jié)，相比于現(xiàn)有技術(shù)中，探頭固定設(shè)置在移動(dòng)機(jī)構(gòu)上而言，本申請(qǐng)更具有實(shí)用性。