[實用新型]一種單晶硅棒切割面角度檢測裝置及開方機

有效

• 申請號: 201921854368.9
• 申請日: 2019-10-31
• 公開（公告）號: CN210773990U
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發明（設計）人: 黃奇勛;林孝獅;黃田玉;李元業;林劍煌;林光展
• 申請（專利權）人: 福州天瑞線鋸科技有限公司
• 主分類號: G01B21/22
• 分類號: G01B21/22;G01B21/20;G01C1/00;B28D5/04;B28D7/04
• 代理公司: 福州市景弘專利代理事務所(普通合伙) 35219
• 代理人: 黃以琳;施文武

本實用新型公開了一種單晶硅棒切割面角度檢測裝置及開方機，所述開方機包括所述單晶硅棒切割面角度檢測裝置，所述單晶硅棒切割面角度檢測裝置包括測量件、豎向驅動機構、縱向驅動機構；豎向驅動機構包括伺服電機、豎向螺桿、連接座及滑軌；滑軌豎向設置于夾持機構的夾持座處；連接座設置有滑塊，滑塊可豎向滑動地安裝于滑軌內；伺服電機設置于夾持機構的夾持座處，且伺服電機的輸出軸豎向設置；豎向螺桿與伺服電機的輸出軸同軸連接，連接座開設有豎向的螺紋孔，豎向螺桿螺紋傳動地穿過連接座的螺紋孔；縱向驅動機構用于驅動測量件移動；測量件與縱向驅動機構連接。本實用新型具有可以檢測出單晶硅棒的切割面是否水平的優點。

技術領域

本實用新型涉及脆硬材料切割領域，尤其涉及一種單晶硅棒切割面角度檢測裝置及開方機。

背景技術

在現有的一種單晶硅棒開方機中，用于夾持單晶硅棒的尾端夾持機構和前端夾持機構均設置有傳感器，傳感器是垂直設置的傳感器，尾端夾持機構和前端夾持機構可以驅動單晶硅棒沿其中軸線旋轉，在單晶硅旋轉一周后，傳感器則可以掃描出單晶硅棒的形狀特征，控制系統通過形狀特征可以得出單晶硅棒的中軸線的所在位置，為晶線對正提供信息。

在單晶硅棒晶線對正并完成第一刀切割后，由于設備在傳動機構方面存在一定的精度誤差，前端和尾端夾持機構對單晶硅棒存在一定的夾緊失效的可能性，如果直接通過前端和尾端夾持機構驅動單晶硅棒沿軸線旋轉90°，第一刀切割面的平面不一定會處于水平狀態，如此直接切割將會導致切割后的第二刀與第一刀切割面的垂直度偏差較大，從而影響切割質量。

實用新型內容

為此，需要提供一種單晶硅棒切割面角度檢測裝置及開方機,以解決現有技術中開方機在完成一次切割并旋轉單晶硅棒后，直接進行下一次切割，導致兩次切割的切割面的垂直度偏差較大的問題。

為實現上述目的，發明人提供了一種單晶硅棒切割面角度檢測裝置，包括測量件、豎向驅動機構、縱向驅動機構；

所述豎向驅動機構包括伺服電機、豎向螺桿、連接座及滑軌；所述滑軌豎向設置于夾持機構的夾持座處；所述連接座設置有滑塊，連接座與滑軌相對設置，且滑塊可豎向滑動地安裝于滑軌內；所述伺服電機設置于夾持機構的夾持座處，且伺服電機的輸出軸豎向設置；所述豎向螺桿與伺服電機的輸出軸同軸連接，連接座開設有豎向的螺紋孔，豎向螺桿螺紋傳動地穿過連接座的螺紋孔；

所述縱向驅動機構設置于連接座處，用于驅動測量件在水平面內，以垂直單晶硅棒的長度方向移動；所述測量件與縱向驅動機構連接，且相對連接座豎直向上凸出。

作為本實用新型的一種優選結構，所述滑軌設置有兩條，兩條滑軌均豎向設置于夾持機構的夾持座處，所述豎向螺桿位于兩條滑軌之間；所述連接座設置有兩個滑塊，兩個滑塊分別可豎向滑動地安裝于兩個滑軌內。

作為本實用新型的一種優選結構，還包括減速機，所述伺服電機通過減速機與豎向螺桿連接。

作為本實用新型的一種優選結構，所述縱向驅動機構為無桿氣缸，所述無桿氣缸設置于連接座處，所述測量件與移動滑塊連接。

作為本實用新型的一種優選結構，還包括豎向螺桿固定座，所述豎向螺桿固定座設置有軸承；豎向螺桿固定座設置于夾持機構的夾持座處，且與伺服電機正對；所述豎向螺桿未與伺服電機連接的一端穿于軸承內。

作為本實用新型的一種優選結構，所述連接座設置有傳動螺母，所述螺紋孔設置于傳動螺母處；所述豎向螺桿螺紋穿過傳動螺母。

發明人還提供了一種開方機，包括開方機本體及單晶硅棒切割面角度檢測裝置，所述單晶硅棒切割面角度檢測裝置為上述任一所述單晶硅棒切割面角度檢測裝置；所述單晶硅棒切割面角度檢測裝置設置于開方機本體的兩個夾持座之間，且位于兩個夾持機構所夾持的單晶硅棒下方，并與夾持座連接。