[實(shí)用新型]一種桌面化微納米磨床

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921854104.3
• 申請日: 2019-10-31
• 公開（公告）號(hào): CN210879067U
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李雪松;張瑩瑩;衣軍任
• 申請（專利權(quán)）人: 沈陽理工大學(xué)
• 主分類號(hào): B24B19/22
• 分類號(hào): B24B19/22;B24B41/06;B24B49/12;B24B47/22;B24B41/00;B24B41/02
• 代理公司: 沈陽東大知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 21109
• 代理人: 劉曉嵐

本實(shí)用新型一種桌面化微納米磨床，包括機(jī)床底座,還包括：第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第二運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第三運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和第四運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)軌底座一，所述導(dǎo)軌底座一安裝在機(jī)床底座上，所述第二運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)軌底座二，筋板，導(dǎo)軌上蓋二，所述筋板安裝在導(dǎo)軌上蓋二上，所述導(dǎo)軌底座二安裝在機(jī)床底座上，所述第三運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)軌底座三，所述導(dǎo)軌底座三安裝在筋板上，與第二運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)相連，第四運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括Y方向?qū)к壩澹瑢?dǎo)軌五固定在機(jī)床底座上。該磨床能通過多軸聯(lián)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)曲線直線等不同的加工路線，并配有CCD圖像監(jiān)測系統(tǒng)，完成使得主軸對工件軸的精確加工，機(jī)床體工作臺(tái)的尺寸為400mm×310mm×30mm,占地面積小、制造成本低，適用于小型化零件加工。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于機(jī)械加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種桌面化微納米磨床。

背景技術(shù)

目前，加工微小零件主要有兩種方式。一種方式是比較成熟的基于半導(dǎo)體制造工藝、光刻技術(shù)、MEMS和LIGA技術(shù)的微小零件制造技術(shù)，這些加工方法普遍存在加工材料單一、加工設(shè)備昂貴等問題，且只能加工結(jié)構(gòu)簡單的二維或準(zhǔn)三維微機(jī)械零件，無法進(jìn)行復(fù)雜的三維微機(jī)械零件的加工；另一種方式是利用常規(guī)機(jī)床進(jìn)行三維微小型零件加工，但這種加工方式存在場地占用大、原材料浪費(fèi)嚴(yán)重、能源消耗大、制造成本高、生產(chǎn)效率低、靈活性差等缺點(diǎn)，同時(shí)由于被加工零件特征尺寸非常小，使得加工工藝非常復(fù)雜，甚至難以實(shí)現(xiàn)。

本申請?zhí)峁┑淖烂婊⒓{米磨床是為超精密機(jī)床，目的就是實(shí)現(xiàn)“小機(jī)床加工小零件”的理念。以微小機(jī)械零件為加工對象，利用系統(tǒng)化、集成化理論和技術(shù)，根據(jù)加工工件結(jié)構(gòu)及要求實(shí)現(xiàn)供料、加工、檢測、搬運(yùn)等的有機(jī)組合和優(yōu)化，在較小的空間內(nèi)完成微小零件的制造，是有別于MEMS的微制造方法與技術(shù)。它將成為加工非硅材料(如金屬、陶瓷等)微小零件最有效的加工方法，能夠從根本上解決上述微小零件加工方式存在的問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對現(xiàn)有加工微小零件方法中存在的不足，本實(shí)用新型提出一種桌面化微納米磨床是為一種超精密機(jī)床。該磨床能通過多軸聯(lián)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)曲線直線等不同的加工路線，另外該磨床也能夠?qū)ζ渌恍┕ぞ吡慵M(jìn)行表面加工并配有CCD圖像監(jiān)測系統(tǒng)，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案如下：

一種桌面化微納米磨床，包括機(jī)床底座,還包括：第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第二運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第三運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和第四運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)軌底座一，所述導(dǎo)軌底座一安裝在機(jī)床底座上，所述第二運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)軌底座二，筋板，導(dǎo)軌上蓋二，所述筋板安裝在導(dǎo)軌上蓋二上，所述導(dǎo)軌底座二安裝在機(jī)床底座上，所述第三運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)軌底座三，所述導(dǎo)軌底座三安裝在筋板上，與第二運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)相連，第四運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括Y方向?qū)к壩澹瑢?dǎo)軌五固定在機(jī)床底座上。

第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括工件軸，X方向?qū)к壱唬瑢?dǎo)軌上蓋一，陶瓷片一，壓電陶瓷電機(jī)一，所述工件軸位于X方向軸承座內(nèi)，X方向?qū)к壱话惭b在導(dǎo)軌底座一上，所述導(dǎo)軌上蓋一安裝在X方向?qū)к壱簧戏剑赬方向?qū)к壱坏囊粋?cè)鑲有陶瓷片一，所述壓電陶瓷電機(jī)一安裝在陶瓷片一上。壓電陶瓷電機(jī)一驅(qū)動(dòng)保證了導(dǎo)軌的高精度穩(wěn)定運(yùn)動(dòng)，從而使工件軸在X方向上移動(dòng)。

所述第二運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括定滑輪，配重，Y方向?qū)к壎沾善瑝弘娞沾呻姍C(jī)二，所述配重的定滑輪固定在筋板的上方，Y方向?qū)к壎惭b在導(dǎo)軌底座二上，所述導(dǎo)軌上蓋二安裝在Y方向?qū)к壎戏剑赮方向?qū)к壎囊粋?cè)鑲有陶瓷片二，所述壓電陶瓷電機(jī)二安裝在陶瓷片二上。壓電陶瓷電機(jī)二驅(qū)動(dòng)保證了導(dǎo)軌的高精度穩(wěn)定運(yùn)動(dòng)，從而使主軸在Y方向上的移動(dòng)。

所述第三運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括主軸，Z方向?qū)к壢瑢?dǎo)軌上蓋三，陶瓷片三，壓電陶瓷電機(jī)三，Z方向?qū)к壢惭b在導(dǎo)軌底座三上，所述導(dǎo)軌上蓋三安裝在Z方向?qū)к壢戏剑赯方向?qū)к壢囊粋?cè)鑲有陶瓷片三，所述壓電陶瓷電機(jī)三安裝在陶瓷片三上。壓電陶瓷電機(jī)三驅(qū)動(dòng)保證了導(dǎo)軌的高精度穩(wěn)定運(yùn)動(dòng)，從而使主軸在Z方向上移動(dòng)。