[實用新型]非接觸式透鏡中心厚度測量裝置

有效

• 申請號: 201921853153.5
• 申請日: 2019-10-30
• 公開（公告）號: CN210773918U
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發明（設計）人: 孫慧慧
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 上海思捷知識產權代理有限公司 31295
• 代理人: 王宏婧

1.一種非接觸式透鏡中心厚度測量裝置，其特征在于，包括：承載標準小球的第一調整平臺、承載上光學平板的第二調整平臺、承載待測透鏡的第三調整平臺、承載下光學平板的第四調整平臺、鏡面定位儀及鏡片定心儀，所述第一調整平臺、第二調整平臺、第三調整平臺及第四調整平臺均包括偏心調整機構和傾斜調整機構，且通過一機械支撐工裝自上而下連接；所述鏡面定位儀的定位儀測量頭和所述鏡片定心儀的定心儀測量頭設置于所述第一調整平臺的上方且可以互相切換。

2.根據權利要求1所述的非接觸式透鏡中心厚度測量裝置，其特征在于，透鏡中心厚度測量之前，所述鏡面定位儀和所述鏡片定心儀的光軸調至同軸。

3.根據權利要求2所述的非接觸式透鏡中心厚度測量裝置，其特征在于，所述第一調整平臺、第二調整平臺、第三調整平臺及第四調整平臺平行設置。

4.根據權利要求3所述的非接觸式透鏡中心厚度測量裝置，其特征在于，通過調節所述第一調整平臺和所述第三調整平臺的偏心調整機構使所述標準小球和所述待測透鏡的偏心調至偏心指標范圍內。

5.根據權利要求4所述的非接觸式透鏡中心厚度測量裝置，其特征在于，通過調節所述第二調整平臺、第三調整平臺及第四調整平臺的傾斜調整機構，使所述上光學平板、所述待測透鏡及所述下光學平板的傾斜調至傾斜指標范圍內。

6.根據權利要求5所述的非接觸式透鏡中心厚度測量裝置，其特征在于，所述定位儀測量頭發出的光經過所述上光學平板、所述待測透鏡和所述下光學平板時分別能夠被所述上光學平板、所述待測透鏡和所述上光學平板反射回定位儀測量頭。

7.根據權利要求6所述的非接觸式透鏡中心厚度測量裝置，其特征在于，通過所述鏡面定位儀測量所述上光學平板的下表面與所述下光學平板的上表面之間的距離L1、所述上光學平板的下表面與所述待測透鏡的上表面中心的距離L2及所述待測透鏡下表面中心與所述下光學平板下表面之間的距離L3。

8.根據權利要求7所述的非接觸式透鏡中心厚度測量裝置，其特征在于，所述待測透鏡的中心厚度H＝L1-L2-L3。

9.根據權利要求5所述的非接觸式透鏡中心厚度測量裝置，其特征在于，所述傾斜指標范圍為0μrad-25μrad，所述偏心指標范圍為0μm-2μm。

10.根據權利要求1-8任一項所述的非接觸式透鏡中心厚度測量裝置，其特征在于，所述待測透鏡為平面、球面或非球面。

11.根據權利要求1-8任一項所述的非接觸式透鏡中心厚度測量裝置，其特征在于，所述標準小球、所述上光學平板及下光學平板均采用透明材料制成。

12.根據權利要求11所述的非接觸式透鏡中心厚度測量裝置，其特征在于，所述透明材料為融石英、K9或微晶。