[實用新型]一種晶體生長用溫度梯度調節裝置

有效

• 申請號: 201921845649.8
• 申請日: 2019-10-30
• 公開（公告）號: CN211256155U
• 公開（公告）日: 2020-08-14
• 發明（設計）人: 張國華;姜楊斌;汪海波;陳虹;徐永亮;于海群
• 申請（專利權）人: 浙江昀豐新材料科技股份有限公司
• 主分類號: C30B29/20
• 分類號: C30B29/20;C30B17/00
• 代理公司: 北京弘權知識產權代理事務所(普通合伙) 11363
• 代理人: 逯長明;許偉群

1.一種晶體生長用溫度梯度調節裝置，其特征在于，包括旋轉接頭、連接座和套設有籽晶桿外殼的籽晶桿，所述連接座的一端與所述籽晶桿外殼上的第一法蘭螺栓連接，另一端通過第二法蘭與所述旋轉接頭連接；

所述籽晶桿外殼上設置有第一進水孔，所述籽晶桿外殼內裝有隔水套，所述隔水套設置在所述籽晶桿的外圍，且所述籽晶桿貫穿所述隔水套和所述籽晶桿外殼，所述籽晶桿的內部插入鉬管，所述隔水套上設置有第一出水孔，所述鉬管上設置有第一進氣孔，所述籽晶桿上設置有第一出氣孔；

所述裝置還包括設置有第二進氣孔、第二進水孔、第二出氣孔和第二出水孔的冷卻盤管，所述第二進氣孔和第二進水孔設置在冷卻盤管的同一側，所述第二出氣孔和第二出水孔設置在冷卻盤管的另一側，所述冷卻盤管嵌套在所述連接座上；

所述裝置還包括第一氣路管、第二氣路管、第三氣路管、第一水路管、第二水路管、第三水路管和第四水路管，所述第一氣路管一端連接在所述旋轉接頭上，另一端與所述第一進氣孔連接，所述第二氣路管一端連接在所述第一出氣孔上，另一端連接在所述第二進氣孔上，所述第三氣路管一端連接在所述第二出氣孔上，另一端連接在所述旋轉接頭上，所述第一水路管一端連接在所述旋轉接頭上，另一端連接在所述第一進水孔上，所述第二水路管一端連接在所述第一出水孔上，另一端連接在所述旋轉接頭上，所述第三水路管一端連接在所述旋轉接頭上，另一端連接在第二進水孔上，所述第四水路管一端連接在所述第二出水孔上，另一端連接在所述旋轉接頭上。

2.根據權利要求1所述的晶體生長用溫度梯度調節裝置，其特征在于，旋轉接頭為六通路液壓旋轉接頭，所述六通路液壓旋轉接頭上設置有若干寶塔接頭以及若干雙卡套螺紋直通接頭。

3.根據權利要求1所述的晶體生長用溫度梯度調節裝置，其特征在于，所述裝置還包括伺服電機、減速機和聯軸器，所述旋轉接頭遠離所述連接座的一端與所述聯軸器連接，所述伺服電機安裝在所述減速機上，所述減速機連接所述聯軸器，且驅動所述聯軸器旋轉，從而帶動整個裝置進行旋轉。

4.根據權利要求1所述的晶體生長用溫度梯度調節裝置，其特征在于，所述第一進氣孔設置在所述鉬管靠近所述第二法蘭的一側，所述第一出氣孔設置在所述籽晶桿靠近所述第二法蘭的一側，所述第一進水孔設置在所述籽晶桿外殼靠近所述第二法蘭的一側，所述第一出水孔設置在所述隔水套靠近所述第二法蘭的一側。

5.根據權利要求1所述的晶體生長用溫度梯度調節裝置，其特征在于，裝置連接管道處均采用焊接工藝密封連接。

6.根據權利要求1所述的晶體生長用溫度梯度調節裝置，其特征在于，所述第一氣路管、第二氣路管和第三氣路管均為卡套軟管，所述第一水路管、第二水路管、第三水路管和第四水路管均為橡膠軟管。

7.根據權利要求1所述的晶體生長用溫度梯度調節裝置，其特征在于，所述裝置還包括安裝座，所述安裝座套設在所述冷卻盤管上，通過第一法蘭與所述籽晶桿外殼連接。