[實用新型]一種具有引導式提拉機構的單晶爐

有效

• 申請號: 201921840383.8
• 申請日: 2019-10-30
• 公開（公告）號: CN211036181U
• 公開（公告）日: 2020-07-17
• 發明（設計）人: 王志磊;張燕玲;邢德春;王志卿;于彩鳳
• 申請（專利權）人: 晶創銘盛電子科技（香河）有限公司
• 主分類號: C30B15/30
• 分類號: C30B15/30;C30B29/06
• 代理公司: 北京志霖恒遠知識產權代理事務所(普通合伙) 11435
• 代理人: 楊玉廷

1.一種具有引導式提拉機構的單晶爐，其特征在于包括坩堝(1)，石墨加熱器(2)，底架(3)，爐體(4)，石墨氈(5)，氣體通道(6)，測溫管(7)，頂固定圈(8)，導向管(9)，上端口(10)，其中，坩堝(1)固定連接在石墨加熱器(2)的內部，在所述石墨加熱器(2)的下方固定連接有底架(3)，所述坩堝(1)、石墨加熱器(2)、底架(3)均位于爐體(4)內部，在爐體(4)的內壁上固定連接有石墨氈(5)，在爐體(4)的側壁下方具有氣體通道(6)，在爐體(4)的下端固定連接有測溫管(7)，所述測溫管(7)的一端延伸至坩堝(1)處，所述測溫管(7)的另一端位于爐體(4)外部，在爐體(4)的內壁上固定連接有頂固定圈(8)，所述頂固定圈(8)位于坩堝(1)的上方，在頂固定圈(8)的內邊緣上固定連接有導向管(9)，在爐體(4)的上端具有上端口(10)。

2.根據權利要求1所述的一種具有引導式提拉機構的單晶爐，其特征在于還包括提拉頭(11)，籽晶(12)，導向筒(13)，第一電熱絲(14)，其中，提拉頭(11)位于上端口(10)的上方，在提拉頭(11)的下端分別固定連接圓柱狀的籽晶(12)以及導向筒(13)，所述籽晶(12)嵌套于所述導向筒(13)內部，所述導向筒(13)的下端位置低于所述籽晶(12)的下端位置，在所述籽晶(12)中內置有第一電熱絲(14)。

3.根據權利要求2所述的一種具有引導式提拉機構的單晶爐，其特征在于還包括第二電熱絲(15)，所述第二電熱絲(15)固定連接在導向筒(13)上。

4.根據權利要求2所述的一種具有引導式提拉機構的單晶爐，其特征在于導向筒(13)和籽晶(12)插接在導向管(9)中，導向筒(13)的外側與導向管(9)的內側相貼合。

5.根據權利要求1所述的一種具有引導式提拉機構的單晶爐，其特征在于還包括支柱(16)，支座(17)，地腳(18)，通孔(19)，其中，在支柱(16)上固定連接有支座(17)，在所述支座(17)的下端固定連接有若干地腳(18)，在支座(17)上開設有通孔(19)。