[實用新型]一種具有凸臺結構的背板以及靶材與背板的焊接結構有效
| 申請號： | 201921838751.5 | 申請日： | 2019-10-29 |
| 公開（公告）號： | CN211367708U | 公開（公告）日： | 2020-08-28 |
| 發明（設計）人： | 姚力軍;潘杰;邊逸軍;王學澤;呼雷 | 申請（專利權）人： | 寧波江豐電子材料股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659 | 代理人： | 王巖 |
| 地址： | 315400 浙江省寧波市*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 具有 結構 背板 以及 焊接 | ||
【權利要求書】：
1.一種具有凸臺結構的背板，其特征在于，所述具有凸臺結構的背板焊接面設置有至少兩個凸臺。
2.根據權利要求1所述的具有凸臺結構的背板，其特征在于，所述凸臺中心對稱設置于背板焊接面。
3.根據權利要求1所述的具有凸臺結構的背板，其特征在于，所述凸臺的寬度為0.5-1mm。
4.根據權利要求3所述的具有凸臺結構的背板，其特征在于，所述凸臺的厚度為0.5-1mm。
5.根據權利要求4所述的具有凸臺結構的背板，其特征在于，所述背板焊接面設置的凸臺的厚度相同。
6.根據權利要求1所述的具有凸臺結構的背板，其特征在于，所述具有凸臺結構的背板形狀包括圓形和/或矩形。
7.根據權利要求1所述的具有凸臺結構的背板，其特征在于，所述具有凸臺結構的背板材質包括金屬或合金。
8.一種靶材與背板的焊接結構，其特征在于，所述靶材與背板的焊接結構包括靶材與權利要求1-7任一項所述的具有凸臺結構的背板，所述具有凸臺結構的背板通過條形凸臺與靶材的焊接面連接。
9.根據權利要求8所述的一種靶材與背板的焊接結構，其特征在于，所述靶材的材質包括金屬或合金。
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