[實用新型]一種石墨舟卡點打磨裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921834433.1
• 申請日: 2019-10-29
• 公開（公告）號: CN211465898U
• 公開（公告）日: 2020-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李平;黃海深;楊秀德;吳波
• 申請（專利權(quán)）人: 遵義師范學(xué)院
• 主分類號: B24B27/033
• 分類號: B24B27/033;B24B41/04;B24B47/12;B24D7/00
• 代理公司: 貴州派騰知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 52114
• 代理人: 周黎亞

本實用新型公開了一種石墨舟卡點打磨裝置，屬于打磨技術(shù)領(lǐng)域。該裝置石墨舟卡點打磨裝置，包括動力組件和砂輪，所述砂輪通過連接件鎖緊固定在動力組件的輸出軸上，所述砂輪包括打磨盤和設(shè)在打磨盤上的凸臺，所述凸臺與打磨盤一體制造成型，所述打磨盤上同軸設(shè)有凹槽，所述砂輪上同軸設(shè)有通孔，所述砂輪的磨料粒徑為2.5～5μm，所述打磨盤的厚度為0.15～0.3mm。本實用新型中將砂輪安裝在角磨機或電機的輸出軸上，由于打磨盤的厚度是根據(jù)卡點上U形卡槽的寬度確定而來的，所以可以方便、高效地通過砂輪除去卡點上U形卡槽內(nèi)的氮化硅鍍層，以保證硅片與卡點接觸良好，減少鍍膜色差和降低硅片與卡點接觸位置出現(xiàn)燒熔的風(fēng)險。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種石墨舟卡點打磨裝置，屬于打磨技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

在太陽能電池片的制造過程中，對硅片進行表面鍍膜時，需要將未鍍膜的硅片插入PECVD真空鍍膜設(shè)備的載片器上，目前，載片器通常采用石墨舟，具體操作過程是：將硅片插入石墨舟并通過石墨舟卡點定位于其上，然后，將載有硅片的石墨舟放置在PECVD真空鍍膜設(shè)備中，采用PECVD工藝對硅片進行鍍膜。但是，在對硅片鍍膜的過程中，部分氮化硅會吸附或鍍在石墨舟卡點的卡槽上，給硅片表面鍍膜顏色均勻性造成不良影響，且容易導(dǎo)致石墨舟卡點位置的硅片燒熔。例如，公開號為CN104175242A的中國專利文獻，公開了一種漸變磨砂輪，公開號為CN109676541A的中國專利文獻，公開了一種硅錠磨削用免修整復(fù)合結(jié)合劑超硬砂輪，它們公開的砂輪的工作面為一面或兩面，在用于打磨石墨舟卡點上的U形卡槽時，存在打磨不便或打磨效率低的問題。

實用新型內(nèi)容

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供了一種石墨舟卡點打磨裝置。

本實用新型通過以下技術(shù)方案得以實現(xiàn)：

一種石墨舟卡點打磨裝置，包括動力組件和砂輪，所述砂輪通過連接件鎖緊固定在動力組件的輸出軸上，

所述砂輪包括打磨盤和設(shè)在打磨盤上的凸臺，所述凸臺與打磨盤一體制造成型，所述打磨盤上同軸設(shè)有凹槽，所述砂輪上同軸設(shè)有通孔，

所述砂輪的磨料粒徑為2.5～5μm，所述打磨盤的厚度為 0.15～0.3mm，

所述連接件為螺母，該螺母上均布設(shè)有4個卡孔，所述輸出軸上設(shè)有定位軸肩。

所述磨料包括但不限于剛玉、碳化硅和金剛石。

所述打磨盤的半徑為25～35mm。

所述凸臺的縱截面為錐形。

所述動力組件為電機或角磨機。

所述輸出軸的轉(zhuǎn)速為600～1200r/min。

本實用新型的有益效果在于：將砂輪安裝在角磨機或電機的輸出軸上，由于打磨盤的厚度是根據(jù)卡點上U形卡槽的寬度確定而來的，所以可以方便、高效地通過砂輪除去卡點上U形卡槽內(nèi)的氮化硅鍍層，以保證硅片與卡點接觸良好，減少鍍膜色差和降低硅片與卡點接觸位置出現(xiàn)燒熔的風(fēng)險。

附圖說明

圖1為本實用新型的砂輪的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1在另一視角的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實用新型的打磨裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實用新型的輸出軸的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為石墨舟頁、卡點和硅片的裝配結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為本實用新型的打磨裝置打磨卡點上U形卡槽時的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1-打磨盤，10-凹槽，11-通孔，2-凸臺，3-連接件，30-卡孔，4-輸出軸，40-定位軸肩，5-石墨舟頁，6-卡點，60-U形卡槽，7- 硅片。