[實用新型]一種冷熱一體的控溫結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921826374.3
• 申請日: 2019-10-28
• 公開（公告）號: CN211620609U
• 公開（公告）日: 2020-10-02
• 發(fā)明（設計）人: 陳張發(fā)
• 申請（專利權(quán)）人: 上海集成電路研發(fā)中心有限公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54;C23C16/52
• 代理公司: 上海天辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;馬盼

1.一種冷熱一體的控溫結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括載片臺、放絲槽、加熱絲、冷卻氣體源和控制中心，其中，所述放絲槽分布在所述載片臺內(nèi)部，所述加熱絲位于所述放絲槽中，所述冷卻氣體源連接所述放絲槽；所述控制中心連接所述加熱絲和冷卻氣體源，所述控制中心用于調(diào)節(jié)加熱絲的功率以及冷卻氣體的流動速率。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種冷熱一體的控溫結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述控溫結(jié)構(gòu)還包括氣體回收單元，所述放絲槽的一端連接所述冷卻氣體源，另一端連接所述氣體回收單元。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種冷熱一體的控溫結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述控溫結(jié)構(gòu)還包括溫度測量單元，所述溫度測量單元位于所述載片臺表面，所述溫度測量單元連接所述控制中心。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種冷熱一體的控溫結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述溫度測量單元包括熱電偶。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種冷熱一體的控溫結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述冷卻氣體源輸出的氣體包括氮氣。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種冷熱一體的控溫結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述載片臺自上而下包括表面層、放絲層和支撐層，所述支撐層的底部連接基座。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種冷熱一體的控溫結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述放絲槽均勻分布在所述放絲層中。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種冷熱一體的控溫結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述放絲槽呈螺旋狀或圓環(huán)形或放射狀或放射狀加圓環(huán)狀。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種冷熱一體的控溫結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述載片臺以基座為軸心，在水平面內(nèi)做旋轉(zhuǎn)運動。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種冷熱一體的控溫結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述載片臺的水平截面為圓形。