[實用新型]一種自動對位曝光設(shè)備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201921812097.0 | 申請日: | 2019-10-26 |
| 公開(公告)號: | CN210573188U | 公開(公告)日: | 2020-05-19 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 陳志特;王華;何增燦;黃海浩 | 申請(專利權(quán))人: | 東莞科視自動化科技有限公司 |
| 主分類號: | G03F7/20 | 分類號: | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司: | 東莞市中正知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 44231 | 代理人: | 成偉 |
| 地址: | 523000 廣東省東莞*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 自動 對位 曝光 設(shè)備 | ||
1.一種自動對位曝光設(shè)備,包括光源模組和對位模組,其特征在于,還包括第一曝光工位、第二曝光工位和進(jìn)出料工位,所述第一曝光工位和第二曝光工位分別設(shè)置在所述進(jìn)出料工位的兩側(cè);所述第一曝光工位、第二曝光工位和進(jìn)出料工位上均設(shè)有一工作框模組,三個所述工作框模組分別與一導(dǎo)向模組連接,以實現(xiàn)三個所述工作框模組在所述第一曝光工位、第二曝光工位和進(jìn)出料工位之間的相互切換;
所述光源模組位于所述第一曝光工位或所述第二曝光工位上;
所述對位模組位于所述第一曝光工位上或所述第二曝光工位上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動對位曝光設(shè)備,其特征在于,所述第一曝光工位、第二曝光工位和進(jìn)出料工位上均設(shè)有一升降機構(gòu),一所述升降機構(gòu)與一所述工作框模組連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的自動對位曝光設(shè)備,其特征在于,所述工作框模組包括工作框和調(diào)節(jié)板,所述調(diào)節(jié)板設(shè)置在所述工作框內(nèi),并與所述升降機構(gòu)連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的自動對位曝光設(shè)備,其特征在于,三個所述升降機構(gòu)分別固定在所述第一曝光工位、第二曝光工位和進(jìn)出料工位上,所述第一曝光工位、第二曝光工位上的所述升降機構(gòu)均設(shè)置有對位平臺,所述對位平臺與所述工作框模組連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動對位曝光設(shè)備,其特征在于,所述光源模組設(shè)有兩個,分別位于所述第一曝光工位和所述第二曝光工位上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的自動對位曝光設(shè)備,其特征在于,所述對位模組設(shè)有兩個,分別位于所述第一曝光工位和所述第二曝光工位上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動對位曝光設(shè)備,其特征在于,所述導(dǎo)向模組包括三個互相平行設(shè)置的導(dǎo)向機構(gòu),一個所述導(dǎo)向機構(gòu)連接一個所述工作框模組。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動對位曝光設(shè)備,其特征在于,所述對位模組為CCD自動對位系統(tǒng)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動對位曝光設(shè)備,其特征在于,還包括進(jìn)料模組和出料模組,所述進(jìn)料模組和出料模組分別設(shè)置在所述進(jìn)出料工位的兩側(cè)。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的自動對位曝光設(shè)備,其特征在于,所述導(dǎo)向機構(gòu)包括滑軌和驅(qū)動裝置,所述驅(qū)動裝置與所述滑軌連接,所述滑軌與所述工作框模組連接。
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