[實用新型]一種翻舟翻轉裝置

有效

• 申請號: 201921808515.9
• 申請日: 2019-10-25
• 公開（公告）號: CN211238195U
• 公開（公告）日: 2020-08-11
• 發明（設計）人: 龐愛鎖;林佳繼;劉群;朱太榮;林依婷
• 申請（專利權）人: 深圳市拉普拉斯能源技術有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 杭州天昊專利代理事務所(特殊普通合伙) 33283
• 代理人: 董世博

一種翻舟翻轉裝置，包括翻舟、翻轉裝置以及設置于翻舟與翻轉裝置之間的傳動結構；所述翻轉裝置包括基架、電機；所述傳動結構包括連桿機構；本實用新型設置電機以及傳動結構實現翻舟的翻轉，并通過設置定位裝置控制翻舟的翻轉的角度，在傳送時，石英花籃為水平狀態，煅燒時石英花籃為豎立狀態，既保證了傳送安全，又保證了煅燒充分。

技術領域

本實用新型涉及翻轉裝置，特別是涉及一種翻舟翻轉裝置。

背景技術

半導體或光伏材料廣泛應用于電子、新能源等行業，半導體和光伏材料通常都需要經過加工處理才能夠應用到產品上，CVD技術、擴散工藝或氧化工藝是其中的一種處理方式，其中CVD即化學氣相沉積，CVD技術目前已經廣泛用于半導體或光伏材料加工，常見的加工設備有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外還有擴散工藝包括磷擴散、硼擴散等。由于傳輸的時候存在傳送帶速度的變化以及抖動的現象，所以片狀原料在傳送時往往是豎立的擺放在水平狀態的花籃中，結合石英花籃1的卡位齒的設計，能夠保證片狀原料在傳送過程不會與石英花籃1產生相對位移。目前的煅燒設備，都是將花籃以傳送時的姿態進行煅燒，也就是花籃保持水平姿態，而片狀原料保持豎立的狀態進行煅燒，但是片狀原料豎立煅燒，其一不能夠煅燒充分，其二占用的區域面積更大。

實用新型內容

本實用新型的目的是解決現有技術的不足，提供一種翻舟翻轉裝置，結構簡單，使用方便。

一種翻舟翻轉裝置，包括翻舟、翻轉裝置以及設置于翻舟與翻轉裝置之間的傳動結構；所述翻轉裝置包括基架、電機。

進一步的，所述基架包括兩塊豎板以及一塊頂板；所述兩塊豎板平行設置，兩塊豎板之間設置頂板；所述頂板設置于豎板的一端；所述翻舟設置于兩塊豎板之間。

進一步的，所述傳動結構包括連桿機構。

進一步的，所述連桿機構具體為三連桿機構，所述連桿機構設置于翻轉裝置外側；所述連桿機構包括一級連架桿、連桿、二級連架桿；所述電機的輸出軸設置一級連架桿；所述翻舟與基架的連接部位向基架外側延伸，靠近傳動結構一端的延伸部位設置二級連架桿；所述一級連架桿與二級連架桿之間設置連桿。

進一步的，所述三連桿機構為曲柄搖桿機構；所述一級連架桿為曲柄，二級連架桿為搖桿。

進一步的，所述一級連架桿與電機輸出軸連接的部位設置卡位結構，電機的輸出軸設置卡位凸起，一級連架桿設置卡位槽；所述二級連架桿與翻舟連接的部位設置卡位結構。

進一步的，還包括定位裝置，所述定位裝置包括圓盤以及槽形感應器；定位裝置設置于翻舟以及翻轉裝置的外側；所述槽形感應器設置于圓盤正上方。

進一步的，所述翻舟與基架的連接部位向基架外側延伸，靠近定位裝置一端的延伸部位設置圓盤；所述圓盤設置缺口，所述缺口為長條形缺口，缺口指向與圓心并且與圓盤的邊緣垂直。

進一步的，所述槽形感應器包括兩端，槽形感應器的兩端分別設置于圓盤的兩側；槽形感應器通電后一端發出光束，另一端感應光束。

進一步的，所述翻舟與基架連接的部位設置軸承；所述連桿與一級連架桿的連接部位設置軸承，連桿與二級連接桿的連接部位設置軸承，所述翻舟用于固定石英花籃；所述傳動結構能夠實現翻舟在豎直與水平之間來回翻轉。

采用本實用新型的有益效果是：

設置電機以及傳動結構實現翻舟的翻轉，進而控制石英花籃的翻轉，傳送時，石英花籃為水平狀態，煅燒時石英花籃為豎立狀態，既保證了傳送安全，又保證了煅燒充分。

傳動結構包括連桿機構，連桿機構具體為曲柄搖桿機構，使電機轉動時，能夠使翻舟在設定角度內實現來回翻轉。

設置定位裝置，保證花籃能夠在設定的位置停止，保證煅燒程序的進行。