[實用新型]一種真空插板開關閥的密封結構

有效

• 申請號: 201921808501.7
• 申請日: 2019-10-25
• 公開（公告）號: CN211820960U
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: 牛建新;戴峰澤;葉云霞;任旭東
• 申請（專利權）人: 托倫斯精密機械(上海)有限公司
• 主分類號: F16K31/12
• 分類號: F16K31/12;F16K27/00
• 代理公司: 南京正聯知識產權代理有限公司 32243
• 代理人: 盧霞

本實用新型公開一種真空插板開關閥的密封結構，包括升降軸、氣缸、閥門、密封圈和閥體；升降軸上安裝有四個氣缸；氣缸的活動端安裝有閥門；閥門的右端加工有燕尾止口；閥門的右端安裝有密封圈，密封圈的密封面為平面型密封面；閥體的左端設有微織構密封面；密封狀態時，密封圈的平面型密封面與閥體的微織構密封面相接觸；四個氣缸均勻分布于閥門的四個角點，且正對于密封圈。本實用新型大幅度提高了真空插板開關閥的密封效果和可靠性，可應用于半導體刻蝕反應腔的密封。

技術領域

本實用新型涉及半導體裝備領域，具體涉及一種真空插板開關閥的密封技術。

背景技術

真空插板開關閥是半導體刻蝕裝備的核心產品，閥門的密封性能直接決定半導體刻蝕的質量。

現有真空插板開關閥的密封效果和可靠性達不到要求，需要研發新的技術來滿足使用要求。

發明內容

本實用新型的目的在于提供一種真空插板開關閥的密封結構，以獲得可靠的密封效果和真空度。

為了解決以上技術問題，本實用新型采用的具體技術方案如下：

一種真空插板開關閥的密封結構，包括升降軸(1)、氣缸(2)、閥門(3)、密封圈(4)和閥體(5)；升降軸(1)上安裝有四個氣缸(2)；氣缸的活動端安裝有閥門(3)；閥門(3)的右端加工有燕尾止口(31)；閥門(3)的右端安裝有密封圈(4)，密封圈(4) 的密封面為平面型密封面(41)；閥體(5)的左端設有微織構密封面(51)；密封狀態時，密封圈(4)的平面型密封面(41)與閥體(5)的微織構密封面(51)相接觸；四個氣缸(2)均勻分布于閥門(3)的四個角點，且正對于密封圈(4)。所述的微織構密封面 (51)表面加工有均勻分布的圓形微凹坑陣列，假設微凹坑的直徑為D，則同一行中相鄰微凹坑中心的距離L為且下一行的每一個微凹坑與上一行的相鄰微凹坑相切。

所述的微織構密封面(51)表面的微凹坑直徑D為80～120μm，微凹坑的截面形狀為“碗形”，深度h為10～15μm。

四個所述氣缸(2)提供的壓力相等，通過給氣缸(2)提供壓縮空氣，使氣缸(2) 的活動端向右移動，從而使密封圈(4)與密封面(51)接觸獲得密封效果。

本實用新型具有的有益效果。本實用新型中：四個氣缸均勻分布于閥門的四個角點，且正對于密封圈，可以保證密封圈受到均勻的壓力，從而為本實用新型懸臂式密封結構提供可靠的密封效果；閥門的右端加工有燕尾止口，可以保證梯形截面密封圈在實用新型動作過程中不會脫落；密封圈的密封面為平面，與閥體的密封面相互配合，可以提供穩定可靠的密封效果；閥體的密封面的表面加工有均勻分布的圓形微凹坑陣列，微凹坑的截面形狀為“碗形”，且同一行中相鄰微凹坑中心的距離為同時下一行的每一個微凹坑與上一行的相鄰微凹坑相切，可以保證密封圈的密封面與閥體的密封面緊密配合，達到真空氣密效果。

附圖說明

圖1是本實用新型真空插板開關閥的密封結構的示意圖。

圖中：1升降軸，2氣缸，3閥門，4密封圈，5閥體，31燕尾止口，41平面型密封面，51微織構密封面。

圖2是本實用新型閥體密封表面微凹坑的排列方式示意圖。

圖3是微凹坑的截面示意圖。

具體實施方式

為更好的闡述本實用新型的實施細節，下面結合附圖和具體實施例對本實用新型的技術方案做進一步詳細說明。