[實用新型]一種用于半導體或光伏材料加工設備的聯動結構

有效

• 申請號: 201921803256.0
• 申請日: 2019-10-25
• 公開（公告）號: CN211238275U
• 公開（公告）日: 2020-08-11
• 發明（設計）人: 林佳繼;徐棟;劉群;龐愛鎖;朱太榮;林依婷
• 申請（專利權）人: 深圳市拉普拉斯能源技術有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/677
• 代理公司: 杭州天昊專利代理事務所(特殊普通合伙) 33283
• 代理人: 董世博

本實用新型公開了一種用于半導體或光伏材料加工設備的聯動結構,包括固定件和移動件，移動件的兩端能夠分別沿固定件移動，還包括同步傳動裝置，被配置為能夠確保移動件的兩端沿固定件的移動是同步的。本一種用于半導體或光伏材料加工設備的聯動結構通過同步傳動裝置保證了移動件在移動過程中，移動件的兩側能沿著固定件同步移動，保證了移動件移動過程的穩定性和同步性，從而使得被移動的物體在移動過程中不易受到損害。

技術領域

本實用新型涉及一種用于半導體或光伏材料加工設備的聯動結構。

背景技術

半導體或光伏材料廣泛應用于電子、新能源等行業，半導體和光伏材料通常都需要經過加工處理才能夠應用到產品上，CVD技術、擴散工藝或氧化工藝是其中的一種處理方式，其中CVD即化學氣相沉積，CVD技術目前已經廣泛用于半導體或光伏材料加工，常見的加工設備有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外還有擴散工藝包括磷擴散、硼擴散等。目前行業內已有不少相關的設備，可以針對具體的加工需求來選擇相應的設備進行加工，半導體或光伏材料的加工，通常是將片狀材料送入爐中在一定溫度和壓力的條件下進行反應來實現，在對半導體或者光伏材料加工的過程中，通常采用一些裝置來裝載或移動待加工的、加工中的或者加工后的材料，行業內通常把這種裝載或者移動的裝置稱為舟、小舟或者花籃。

由于片狀的半導體或光伏材料的材料容易斷裂，造成原材料的不必要損失，因此對于片狀的半導體或光伏材料的加工時，而最容易造成這種損失的時候是從上個加工工位運輸至下一個加工工位，因此，對于搬運半導體或光伏材料的材料時，需要精準移動，不允許有任何位置上的偏差。

實用新型內容

本實用新型為了克服現有技術的不足，提供一種結構穩定的用于半導體或光伏材料加工設備的聯動結構。

為了實現上述目的，本實用新型采用以下技術方案：一種用于半導體或光伏材料加工設備的聯動結構,包括固定件和移動件，移動件的兩端能夠分別沿固定件移動，還包括同步傳動裝置，被配置為能夠確保移動件的兩端沿固定件的移動是同步的。

進一步的；同步傳動裝置包括齒條和傳動組件；齒條設置在固定件的水平方向上；移動件上設置有能與該齒條嚙合的傳動組件。

進一步的；齒條包括第一齒條和第二齒條；傳動組件包括主動齒輪、從動齒輪和傳動桿，主動齒輪和從動齒輪始終位于同一豎直面上。

進一步的；固定件還設置有與齒條平行的導軌，移動件上設置有能與導軌配合的移動導件。

進一步的；第一齒條和第二齒條的鋸齒方向相對。

進一步的；移動件上設置有定位件，傳動桿能從該定位件穿出。

進一步的；定位件位于靠近主動齒輪的一側。

進一步的；移動件上還設置有伺服電機，伺服電機能控制傳動組件轉動。

進一步的；伺服電機與傳動組件之間還設置有減速機。

進一步的；導軌的兩側設置有凹槽，移動導件上設置有能與該凹槽配合的凸起。

綜上所述，本實用新型的同步傳動裝置保證了移動件在移動過程中，移動件的兩側能沿著固定件同步移動，保證了移動件移動過程的穩定性和同步性，從而使得被移動的物體在移動過程中不易受到損害。移動件長度越長，移動件兩端的同步性能也就越差，同步性能差就會導致移動件在移動的過程中造成偏差，從而造成原材料的破順，而本實用新型的同步傳動裝置就能保證在任何情況下，移動件兩端的主動齒輪和從動齒輪是同步轉動的，從而保證了移動件兩端也是同步移動的，也就能確保精準移動，減小了原材料的損耗率。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

圖2為本實用新型的A處結構放大示意圖。