[實用新型]一種用于半導體的集成式純水裝置有效
| 申請號： | 201921801496.7 | 申請日： | 2019-10-25 |
| 公開（公告）號： | CN211056870U | 公開（公告）日： | 2020-07-21 |
| 發明（設計）人： | 戴梅紅;張平;陳以超;肖強;嚴操紅 | 申請（專利權）人： | 江蘇源邦環境科技有限公司 |
| 主分類號： | C02F9/06 | 分類號： | C02F9/06;C02F103/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 214000 江蘇省無錫市濱*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 半導體 集成 純水 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于半導體的集成式純水裝置，包括純水進水管路、純水濃水回水管路、去離子水設備和純水箱，其特征在于，所述純水進水管路并聯有多組第一反滲透裝置，并通過純水產水管路與多組去離子水設備連通，各第一反滲透裝置與純水產水管路之間并聯有第二反滲透裝置，第二反滲透裝置通過純水濃水回水管路與第一過濾水槽連通，所述各去離子水設備上分別連通有EDI產水管路和EDI濃水回水管路，各EDI產水管路分別與純水箱連通，各EDI濃水回水管路分別與第二過濾水槽連通。
2.根據權利要求1所述的一種用于半導體的集成式純水裝置，其特征在于：所述純水進水管路與各第一反滲透裝置連通的管路上設有水泵。
3.根據權利要求1所述的一種用于半導體的集成式純水裝置，其特征在于：所述EDI產水管路與EDI濃水回水管路之間通過管路連通，且連通的管路上設有止回閥。
4.根據權利要求1所述的一種用于半導體的集成式純水裝置，其特征在于：所述純水產水管路上設有排水管路，排水管路經過EDI濃水回水管路與第二過濾水槽連通。
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