[實用新型]一種離子件成型過程中半導體離子柱工裝有效
| 申請號： | 201921784175.0 | 申請日： | 2019-10-23 |
| 公開（公告）號： | CN210272247U | 公開（公告）日： | 2020-04-07 |
| 發明（設計）人： | 易民開;杜印;邱遠攀;賀幫志 | 申請（專利權）人： | 昆山海利菲精密機械有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/317 | 分類號： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州市*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 離子 成型 過程 半導體 工裝 | ||
1.一種離子件成型過程中半導體離子柱工裝,包括底板(4)，底板(4)上設置有裝夾槽(14),其特征在于：所述底板(4)轉動安裝在支撐臺(2)上，支撐臺(2)的下端面上固定連接有一組支撐腳(1)，底板(4)由驅動裝置(20)驅動轉動，所述裝夾槽(14)環形陣列分布在底板(4)的上端面上，支撐臺(2)的左端規定連接有支撐架(8)，所述支撐架(8)上固定連接有固定環(10)，所述固定環(10)上滑動安裝有壓板(12)，所述壓板(12)上設置有若干貫穿的導向孔(18)，壓板(12)由氣缸(13)驅動升降。
2.根據權利要求1所述的一種離子件成型過程中半導體離子柱工裝，其特征在于：所述驅動裝置(20)包括電機(7)，所述電機(7)的輸出軸上固定連接有主動齒輪(6)，所述底板(4)通過轉軸(3)轉動連接在支撐臺(2)上，轉軸(3)的下端固定連接有從動齒輪(5)，所述從動齒輪(5)與主動齒輪(6)嚙合安裝。
3.根據權利要求1所述的一種離子件成型過程中半導體離子柱工裝，其特征在于：所述固定環(10)上滑動安裝有一組連接桿(11)，所述連接桿(11)的下端與壓板(12)固定連接。
4.根據權利要求1所述的一種離子件成型過程中半導體離子柱工裝，其特征在于：所述支撐架(8)的上端固定連接有連接板(9)，所述固定環(10)固定連接在連接板(9)上，所述氣缸(13)固定安裝在連接板(9)上，氣缸(13)的伸縮桿末端與壓板(12)固定連接。
5.根據權利要求1所述的一種離子件成型過程中半導體離子柱工裝，其特征在于：所述支撐臺(2)的右端固定連接有固定板(17)，所述固定板(17)上固定安裝有頂出氣缸(16)，所述裝夾槽(14)的底部設置有避空槽(15)，所述頂出氣缸(16)的伸縮桿滑動設置在避空槽(15)中。
6.根據權利要求1所述的一種離子件成型過程中半導體離子柱工裝，其特征在于：所述支撐臺(2)的上端面上轉動連接有一組滾輪(19)，所述滾輪(19)的圓周外表面抵觸連接在底板(4)的下端面上。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于昆山海利菲精密機械有限公司，未經昆山海利菲精密機械有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201921784175.0/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種離子件生產用耐高溫離子導向裝置
- 下一篇：一種防斷裂的新型鉬棒電極
