[實用新型]一種多段穩壓式磨片機

有效

• 申請號: 201921783404.7
• 申請日: 2019-10-21
• 公開（公告）號: CN210878941U
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發明（設計）人: 李斌
• 申請（專利權）人: 洛陽鴻泰半導體有限公司
• 主分類號: B24B7/22
• 分類號: B24B7/22;B24B27/00;B24B49/16;B24B55/00;B24B51/00;B24B41/02
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019
• 代理人: 賈雙明;壽寧

一種多段穩壓式磨片機，包括機柜、龍門架、氣缸，氣缸的活塞桿與上磨盤連接，機柜內設有與上磨盤旋轉方向相反的下磨盤，氣缸的進氣口與氣源之間設有四根并聯設置的供壓氣路，該供壓氣路分別為相互并聯的第一氣路、第二氣路、第三氣路及第四氣路，第一氣路上設有相互串聯的第一電磁閥YV0和上盤下降穩壓調節閥，第二氣路上設有相互串聯的第二電磁閥YV1和第一輕壓穩壓調節閥，第三氣路上設有相互串聯的第三電磁閥YV2和加壓穩壓調節閥，第四氣路上設有相互串聯的第四電磁閥YV3和第二輕壓穩壓調節閥。本實用新型通過設置四路并聯的供壓氣路，可以根據需要在各機械式穩壓調節閥上預先設定不同的壓力值實現對硅片的研磨，避免了電磁干擾帶來的壓力波動。

技術領域

本實用新型屬于硅片磨削裝置技術領域，特別涉及一種多段穩壓式磨片機。

背景技術

不管是在哪個行業，安全、環保、高效、高品質等都是每個企業的追求。若要做到這些必須要有成熟、完善的加工工藝，也要不斷的改進設備使加工設備更成熟更好用，快速、高效。減少產品的不合格率必須要有性能完善的自動化設備，磨片機是半導體行業必不可少的加工設備。如圖1為常規現有磨片機的結構簡圖，包括機柜、設于機柜上的龍門架、固定在龍門架上的氣缸1，氣缸1的活塞桿與上磨盤2連接從而控制上磨盤的升降，機柜內設有與上磨盤旋轉方向相反的下磨盤3，上磨盤2和下磨盤3均由電機(圖中未示)驅動實現相反方向運轉從而對硅片雙面進行研磨；其磨片過程是：輕壓--加壓--輕壓。設備的壓力控制是靠壓力比例閥控制，比例閥輸出壓力大小是通過PLC輸出模擬量電壓決定的。比例閥輸出的氣壓輸出到氣缸，氣壓增大，上磨盤2就對下磨盤3的壓力增大，實現加壓研磨。然而比例閥經常受大功率設備電磁干擾，經常出現壓力波動，從而導致磨出的硅片有時厚片，有時薄片，造成了很多厚度參差不齊的不合格產品。針對這樣的現象，急需改進出一種氣壓穩定性強且具備多段控制氣壓功能的新型磨片機。

實用新型內容

為解決上述技術問題，本實用新型的目的是對現有磨片機中氣缸供壓模塊進行改進，使磨片機在研磨加工硅片時讓工作氣壓絕對保持穩定從而使硅片厚度一致。

本實用新型的目的及解決其技術問題是采用以下技術方案來實現。依據本實用新型提出的一種多段穩壓式磨片機，包括機柜、設于機柜上的龍門架、固定在龍門架上的氣缸，氣缸的活塞桿與上磨盤連接從而控制上磨盤的升降，機柜內設有與上磨盤旋轉方向相反的下磨盤，所述氣缸的進氣口與氣源之間設有四根并聯設置的供壓氣路，該供壓氣路分別為相互并聯的第一氣路、第二氣路、第三氣路及第四氣路，第一氣路上設有相互串聯的第一電磁閥YV0和上盤下降穩壓調節閥，第二氣路上設有相互串聯的第二電磁閥YV1和第一輕壓穩壓調節閥，第三氣路上設有相互串聯的第三電磁閥YV2和加壓穩壓調節閥，第四氣路上設有相互串聯的第四電磁閥YV3和第二輕壓穩壓調節閥。

作為優選，所述上盤下降穩壓調節閥、第一、第二輕壓穩壓調節閥以及加壓穩壓調節閥均為機械式穩壓調節閥。

作為優選，磨片機還包括PLC控制器，該PLC控制器與第一至第四電磁閥電性連接，通過PLC控制器能夠控制各電磁閥的開閉，并且其中一個電磁閥打開時，另外三個電磁閥關閉

借由上述技術方案，本實用新型采用四路穩定供壓氣路代替原先的比例閥供壓氣路，由于采用手動可調的機械式穩壓調節閥，雖然由原先一個比例閥改為四個并聯的電磁閥，但是機械式結構的穩壓調節閥可以免受外界大功率設備磁干擾，保證壓力穩定，從而避免出現對硅片的壓力波動，使研磨出來的硅片厚度一致。

上述說明僅是本實用新型技術方案的概述，為了能更清楚了解本實用新型的技術手段，而可依照說明書的內容予以實施，并且為讓本實用新型的上述和其他目的、特征和優點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附圖，詳細說明如下。

附圖說明

圖1是現有磨片機的結構示意圖。

圖2是本實用新型磨片機中氣缸與氣源之間的供壓氣路的結構示意圖。