[實用新型]催化劑回流高效率有機廢氣處理系統

有效

• 申請號: 201921751298.4
• 申請日: 2019-10-18
• 公開（公告）號: CN211216075U
• 公開（公告）日: 2020-08-11
• 發明（設計）人: 鄭石治;扶亞民
• 申請（專利權）人: 華懋科技股份有限公司;上海華懋環保節能設備有限公司
• 主分類號: B01D53/06
• 分類號: B01D53/06;F23G7/07
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 吳夢圓

一種催化劑回流高效率有機廢氣處理系統，主要是將由該吸附轉輪的脫附區所排出的脫附濃縮氣體通過該吸附反應床將含硅的化合物反應成為二氧化硅(SiO₂)并吸附，再進入該催化劑床進行處理后，再將經過該催化劑床處理的氣體進行熱回收，以及將經過該催化劑床處理的氣體導回至該吸附轉輪的廢氣進氣管路，使經過該催化劑床處理的氣體進入該吸附轉輪的吸附區循環利用，而不經過該煙囪來進行排放，讓該煙囪的排放量降低，并使有機廢氣的處理效率提升。

技術領域

本實用新型涉及一種催化劑回流高效率有機廢氣處理系統，尤其涉及一種用來將經過該催化劑床處理的氣體進入該吸附轉輪的吸附區循環利用，而不經過該煙囪來進行排放，讓該煙囪的排放量降低，并使有機廢氣的處理效率提升，而適用于半導體產業、光電產業或化學相關產業的有機廢氣處理系統或類似設備。

背景技術

目前在半導體產業或光電產業的制造生產過程中都會產生具有揮發性有機氣體(VOC)，因此，在各廠區都會安裝處理揮發性有機氣體(VOC)的處理設備，以避免揮發性有機氣體(VOC)直接排入空氣中而造成空氣污染。而目前經由該處理設備所脫附的濃縮氣體大都是輸送到該焚燒爐來進行燃燒，再將燃燒后的氣體來輸送到煙囪來進行排放。

因此，本創作人有鑒于上述缺失，期望能提出一種具有提升有機廢氣處理效率的催化劑回流高效率有機廢氣處理系統，令使用者可輕易操作組裝，于是潛心研究思考、設計組裝制造，以提供使用者便利性，為本創作人所欲研發的創作動機。

實用新型內容

本實用新型的主要目的，在于提供一種催化劑回流高效率有機廢氣處理系統，主要是將由該吸附轉輪的脫附區所排出的脫附濃縮氣體通過該吸附反應床將含硅的化合物反應成為二氧化硅(SiO₂)并吸附，再進入該催化劑床進行處理后，再將經過該催化劑床處理的氣體進行熱回收，以及將經過該催化劑床處理的氣體導回至該吸附轉輪的廢氣進氣管路，使經過該催化劑床處理的氣體進入該吸附轉輪的吸附區循環利用，而不經過該煙囪來進行排放，讓該煙囪的排放量降低，并使有機廢氣的處理效率提升，進而增加整體的實用性。

本實用新型的另一目的，在于提供一種催化劑回流高效率有機廢氣處理系統，且通過該催化劑床處理的氣體先經由該第一熱交換器進行熱交換后再輸送到該第二熱交換器來進行熱交換，并經過一除塵設備或是一濾網裝置來進行粉塵的過濾，讓該催化劑床處理的氣體除了導回該吸附轉輪的廢氣進氣管路外，也用來提供給該第一熱交換器及該第二熱交換器進行熱交換，以便具有節省能源的效能，進而增加整體的使用性。

本實用新型的再一目的，在于提供一種催化劑回流高效率有機廢氣處理系統，且通過該催化劑床處理的氣體先經由該冷卻器進行高溫熱氣的降溫后再輸送到該第二熱交換器來進行熱交換，并經過一除塵設備或是一濾網裝置來進行粉塵的過濾，讓該催化劑床處理的氣體除了導回該吸附轉輪的廢氣進氣管路外，也用來提供給該第二熱交換器進行熱交換，以便具有節省能源的效能，進而增加整體的便利性。

為了能夠更進一步了解本實用新型的特征、特點和技術內容，請參閱以下有關本實用新型的詳細說明與附圖，惟所附附圖僅提供參考與說明用，非用以限制本實用新型。

附圖說明

圖1為本實用新型第一種實施方式的主要架構示意圖；

圖2為本實用新型第一種實施方式設有除塵設備的架構示意圖；

圖3為本實用新型第一種實施方式設有濾網裝置的架構示意圖；

圖4為本實用新型第二種實施方式的主要架構示意圖；

圖5為本實用新型第二種實施方式設有除塵設備的架構示意圖；

圖6為本實用新型第二種實施方式設有濾網裝置的架構示意圖。

上述附圖中，附圖標記含義如下：