[實用新型]一種光學(xué)真空鍍膜用抽氣裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921741637.0
• 申請日: 2019-10-17
• 公開（公告）號: CN210657124U
• 公開（公告）日: 2020-06-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳曉東
• 申請（專利權(quán)）人: 常州鑫立離子技術(shù)有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/24
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• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種光學(xué)真空鍍膜用抽氣裝置，包括鍍膜機(jī)箱，鍍膜機(jī)箱的一側(cè)設(shè)有可視窗，鍍膜機(jī)箱的一端設(shè)有冷凝箱，另一端設(shè)有加熱器，鍍膜機(jī)箱的底端四個側(cè)面均焊接有插板，鍍膜機(jī)箱的頂端安裝有抽氣箱，抽氣箱上連接有若干個輸氣管，鍍膜機(jī)箱的四個拐角均焊接有鍍膜機(jī)箱固定架，鍍膜機(jī)箱固定架的底端連接有液壓缸，液壓缸固定在底座上，底座的底端四個拐角處均焊接有支撐腿，底座的兩端均設(shè)有液壓制動箱，該鍍膜裝置將抽真空裝置與鍍膜箱分開，并通過抽氣管連接，減少鍍膜箱的負(fù)重，檢修十分方便，靈活性強(qiáng)，而且鍍膜箱的密封性好，取拿鍍膜件簡單方便，可以對多個鍍膜件進(jìn)行同時鍍膜，效率高，速度快，整體穩(wěn)定性能高。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及真空鍍膜領(lǐng)域，具體為一種光學(xué)真空鍍膜用抽氣裝置。

背景技術(shù)

真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料，使其蒸發(fā)并凝結(jié)于鍍件（金屬、半導(dǎo)體或絕緣體）表面而形成薄膜的一種方法。真空鍍膜往往采用真空鍍膜機(jī)進(jìn)行鍍膜，而現(xiàn)在的真空鍍膜機(jī)功能單一，抽氣裝置大多安裝在鍍膜箱上，不僅受到箱體的溫度影響，而且增加箱體的負(fù)重，現(xiàn)有的鍍膜箱往往采用真空門的形式打開鍍膜箱，存在密封性差，取拿鍍膜件不方便的問題，而且不能同時對多個鍍膜件進(jìn)行鍍膜，效率低，速度慢。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型的目的是針對現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種光學(xué)真空鍍膜用抽氣裝置，以解決上述背景技術(shù)提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種光學(xué)真空鍍膜用抽氣裝置，包括鍍膜機(jī)箱，所述鍍膜機(jī)箱的一側(cè)設(shè)有可視窗，所述鍍膜機(jī)箱的一端設(shè)有冷凝箱，另一端設(shè)有加熱器，所述鍍膜機(jī)箱的底端四個側(cè)面均焊接有插板，所述鍍膜機(jī)箱的頂端安裝有抽氣箱，所述抽氣箱上連接有若干個輸氣管，所述鍍膜機(jī)箱的四個拐角均焊接有鍍膜機(jī)箱固定架，所述鍍膜機(jī)箱固定架的底端連接有液壓缸，所述液壓缸固定在底座上，所述底座的底端四個拐角處均焊接有支撐腿，所述底座的兩端均設(shè)有液壓制動箱，所述底座頂端中部的四個側(cè)面均焊接有橡膠氣囊固定鋼板，所述橡膠氣囊固定鋼板上安裝有橡膠氣囊，所述底座的頂端中部設(shè)有連接桿，所述連接桿上焊接有若干個托盤，所述連接桿的底端設(shè)有齒輪箱，所述齒輪箱的底端設(shè)有電機(jī)，所述底座的底部安裝有微型氣泵，所述底座的一側(cè)設(shè)有抽真空裝置，所述抽真空裝置的一側(cè)設(shè)有控制柜，所述抽真空裝置上設(shè)有增壓泵、機(jī)械泵、擴(kuò)散泵和羅茨泵。

作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述液壓缸通過螺栓固定在所述底座的頂端四個拐角處，所述液壓缸與所述鍍膜機(jī)箱固定架通過螺栓固定相連。

作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述液壓制動箱通過螺栓固定在所述底座上，所述液壓制動箱內(nèi)設(shè)有液壓油泵和液壓油箱，所述液壓油泵通過液壓油管分別與所述液壓油箱和所述液壓缸相連。

作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述抽真空裝置通過所述輸氣管與所述抽氣箱相連，所述抽氣箱焊接在所述鍍膜機(jī)箱的頂部上，所述冷凝箱和加熱器均通過螺栓固定在所述鍍膜機(jī)箱上，所述冷凝箱內(nèi)設(shè)有水箱、冷凝器和冷凝管。

作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述齒輪箱通過螺栓固定在所述底座的底部上，所述電機(jī)與所述齒輪箱通過螺栓固定相連，所述電機(jī)的轉(zhuǎn)軸與所述齒輪箱內(nèi)的齒輪嚙合相連，所述連接桿與所述齒輪箱固定相連。

作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述微型氣泵通過螺栓固定在所述底座上，所述微型氣泵通過輸氣管與所述橡膠氣囊相連，所述橡膠氣囊固定在所述橡膠氣囊固定鋼板上。

作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述鍍膜機(jī)箱上的鍍膜機(jī)箱插板與所述底座上的橡膠氣囊固定鋼板活動相連，所述鍍膜機(jī)箱的背面安裝有若干個電子槍，所述電子槍上設(shè)有正負(fù)兩極。

作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述底座上設(shè)有電源開關(guān)，所述電源開關(guān)分別與所述液壓制動箱、電機(jī)和微型氣泵電性連接，所述控制柜分別與所述冷凝箱、加熱器、增壓泵、機(jī)械泵、擴(kuò)散泵和羅茨泵電性連接。