[實用新型]晶舟盒轉換裝置

有效

• 申請號: 201921718802.0
• 申請日: 2019-10-14
• 公開（公告）號: CN210467794U
• 公開（公告）日: 2020-05-05
• 發明（設計）人: 劉方軍
• 申請（專利權）人: 京隆科技(蘇州)有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 北京華夏博通專利事務所(普通合伙) 11264
• 代理人: 劉俊

本實用新型揭示了一種晶舟盒轉換裝置，包括：機臺，機臺設有底座，底座上安裝著依序并排第一置換模組、第二置換模組及推放機構；所述第一置換模組包括第一升降平臺、第一升降機構、第一滑移平臺及第一滑移機構，第一升降平臺供空的第一晶舟盒放置；所述第二置換模組包括第二升降平臺、第二升降機構、第二滑移平臺及第二滑移機構，第二升降平臺已承載晶圓的第二晶舟盒放置；所述推放機構包括推動臂及驅動機構，驅動機構能帶動推動臂往所述第二置換模組方向移動，用以將第二晶舟盒內的晶圓推至第一晶舟盒內，借此裝置讓第一晶舟盒與第二晶舟盒能分離升降且平移對接，以利后續晶圓轉換作業。

技術領域

本實用新型屬于晶舟盒轉換裝置的技術領域，特別針對每個晶舟盒設置個別獨立且具升降平移的置換模組，供晶舟盒個位取放、對接且互相不干涉，提升內部晶圓轉換精確性。

背景技術

晶舟盒(cassette)用以裝載多個晶圓。一般用于廠內制程用晶舟盒與出貨用晶舟盒并不相同，出貨前須進行內部晶圓轉換作業，轉換過程中是由操作員手動進行。如圖1所示，為一種傳統的晶舟盒轉換器10，包括承座11及手動推柄12，承座11設有二組第一定位區111、第二定位區112，供制程用晶舟盒20及出貨用晶舟盒21放置，如圖2所示。在轉換時，操作員先目視制程用晶舟盒20，確認內部多層晶圓是否處于正確位置，之后推動手動推柄12將制程用晶舟盒20內的晶圓推至出貨用晶舟盒21內。

綜上所述，以人工手動作業，存在下列幾項缺點：

1、在目視作業中容易發生誤判，造成后續晶圓推送時因插斜而破片。

2、人工作業效率慢，且承座11上同時放置制程用晶舟盒20與出貨用晶舟盒21，操作員拿取或放置其中一個制程用晶舟盒20或出貨用晶舟盒21，容易發生碰撞而造成內部晶圓掉落的意外。

3、制程用晶舟盒20與出貨用晶舟盒21須正確對準后才能進行推送，人工放置有時疏忽未精確對位，易造成對位失真或失敗，影響后續晶圓進行轉換。

為了使晶圓損失減小，如何在晶舟盒轉換過程中，讓人工手動影響降低，在日后處理過程中將更為重要，是一個急需解決的問題。

實用新型內容

本實用新型一實施例提供一種晶舟盒轉換裝置，用于解決現有技術中的問題，包括：

一種晶舟盒轉換裝置，主要藉由兩組獨立的置換模組適時升降晶舟盒，在同一時間下僅供一組晶舟盒取放，避免錯放或相互碰撞，造成晶圓損壞；另外機臺內進行換轉作業時，可借由感應器確認晶圓位置，不存在人為誤判情形，且晶舟盒采用機構自動對接(docking)方式，減少人為誤差，借此提升晶舟盒的置換效率及精確性，減少內部晶圓不必要的損失。

為達上述目的，本申請提供了一種晶舟盒轉換裝置，包括：機臺、第一置換模組、第二置換模組及推動機構；機臺內設有底座，第一置換模組、第二置換模組及推放機構依序并排設置于底座上；第一置換模組包括第一升降平臺、第一升降機構、第一滑移平臺及第一滑移機構，第一升降機構豎立于第一滑移平臺上，第一升降平臺由第一升降機構控制升降，第一滑移平臺由第一滑移機構控制移動方向，第一升降平臺供第一晶舟盒放置；第二置換模組包括第二升降平臺、第二升降機構、第二滑移平臺及第二滑移機構，第二升降機構豎立于第二滑移平臺上，第二升降平臺由第二升降機構控制升降，第二滑移平臺由第二第滑移機構控制移動方向，第二升降平臺供第二晶舟盒放置；推放機構，包括推動臂及驅動機構，驅動機構帶動推動臂往第二置換模組向移動，以將第二晶舟盒內的晶圓推至第一晶舟盒內。

優選地，機臺進一步包括機殼，機殼與底座結合后兩者所成的空間內設置有第一置換模組、第二置換模組及推動機構，機殼頂部具有至少一升降窗口，升降窗口供第一升降平臺與第二升降平臺上升后且與機殼頂面齊平。

優選地，第一滑移機構控制所述第一滑移平臺往第二置換模組方向移動，第二滑移機構控制第二滑移平臺往第一置換模組方向移動，第一晶舟盒與第二晶舟盒能相互對接。