[實用新型]一種腔室蓋板

有效

• 申請號: 201921706998.1
• 申請日: 2019-10-12
• 公開（公告）號: CN210516681U
• 公開（公告）日: 2020-05-12
• 發明（設計）人: 何進
• 申請（專利權）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 俞滌炯

本實用新型公開了一種腔室蓋板，屬于半導體制造技術領域，包括：板體，圖像采集裝置，用于采集真空傳送腔室中卡盤的圖像信息；顯示裝置，連接圖像采集裝置；上述技術方案有益效果是：通過在蓋板朝向腔室的一面加裝圖像采集裝置，使得操作人員不必再單純依賴蓋板的透明度來觀察晶圓與卡盤的相對位置，解決了因蓋板透明度下降而導致晶圓與卡盤的相對偏移量判斷困難的問題。

技術領域

本實用新型涉及半導體制造技術領域，尤其涉及一種腔室蓋板。

背景技術

半導體制造設備中，晶圓在傳送移交前，腔室需要預先進行抽真空處理，蓋板用于與腔室配合形成密閉空間，從而對腔室內部進行抽真空，而晶圓與腔室內的卡盤的相對位置是決定晶圓產品優良率的一個至關重要的因素。

現有的腔室蓋板通常采用一透明材質制作的圓板，使得腔室在真空狀態時，操作人員在照明設備的幫助下能夠透過透明蓋板通過肉眼來觀察晶圓在卡盤上的相對偏移量，從而對晶圓的位置作出進一步調整以符合傳送要求；且由于現有的透明蓋板上沒有相應泄放閥，晶圓的傳送移交完成后，操作人員還需要通過拆卸儀表閥來泄放腔室內的真空狀態，這不僅操作麻煩，而且反復的拆卸還會導致儀表閥端受損，同時，每次拆卸儀表閥以后都需要重新更換儀表閥端的墊片，造成了浪費。現有的透明蓋板在經過長時間使用和放置后，表面會因磨損老化等原因導致透明度下降，這就使得從腔室外部觀察腔室內晶圓與卡盤的相對偏移量因模糊不清而變得困難，常常出現誤判，進而影響到晶圓產品的優良率。

實用新型內容

根據現有技術中存在的上述問題，現提供一種腔室蓋板，通過在蓋板表面增加專用的泄放裝置，從而避免了現有技術中為泄放腔室內的真空度頻繁拆卸儀表閥的問題，同時通過在蓋板朝向腔室的一面加裝圖像采集裝置，使得操作人員不必再單純依賴蓋板的透明度來觀察晶圓與卡盤的相對位置，解決了因蓋板透明度下降而導致晶圓與卡盤的相對偏移量判斷困難的問題。

上述技術方案具體包括：

一種腔室蓋板，應用于半導體設備中的真空傳送腔室，其特征在于，包括：

板體，所述板體包括朝向所述真空傳送腔室的第一表面和背向所述真空傳送腔室的第二表面；

圖像采集裝置，位于所述第一表面，用于采集所述真空傳送腔室中卡盤的圖像信息；

顯示裝置，連接所述圖像采集裝置。

優選地，其中，所述腔室蓋板還包括一泄放裝置(4)，位于所述板體上，用于泄放所述真空傳送腔室內的真空。

優選地，其中，所述泄放裝置進一步包括：

泄放孔，貫穿連通所述第一表面和所述第二表面；

調壓閥，位于所述第二表面，并與所述泄放孔相連通。

優選地，其中，所述板體由透明材料制作而成。

優選地，其中，所述蓋板還包括手柄，固定安裝于所述板體的所述第二表面。

優選地，其中，所述手柄包括第一手柄和第二手柄，所述第一手柄和所述第二手柄相對于所述第二表面的中心對稱分布。

優選地，其中，所述圖像采集裝置為微型攝像頭。

優選地，其中，所述板體呈圓柱體形，所述第一表面和所述第二表面為所述圓柱體的兩個端面。

優選地，其中，所述圖像采集裝置位于所述第一表面的中心位置。

優選地，其中，所述顯示裝置帶有用于對準的標記符號。

優選地，其中，所述標記符號為帶有用于標識位置信息的刻度線。

上述技術方案的有益效果在于：