[實用新型]一種直拉單晶籽晶繩重錘

有效

• 申請號: 201921696709.4
• 申請日: 2019-10-11
• 公開（公告）號: CN210945853U
• 公開（公告）日: 2020-07-07
• 發明（設計）人: 栗寧
• 申請（專利權）人: 寧夏協鑫晶體科技發展有限公司
• 主分類號: C30B15/32
• 分類號: C30B15/32;C30B29/06
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務所 32237
• 代理人: 胡建華

本實用新型公開了一種直拉單晶籽晶繩重錘，包括配重塊、上罩錐以及下罩錐；所述配重塊為圓柱體，其上端設有柱狀的上連接柱，下端設有柱狀的下連接柱；所述上罩錐內部設有與上連接柱匹配的上連接柱凹槽，下罩錐內部設有與下連接柱匹配的下連接柱凹槽；所述上連接柱側壁留有上連接柱通槽，下連接柱側壁留有下連接柱通槽；所述上罩錐內壁設有上罩錐通槽，下罩錐內壁設有下罩錐通槽；上連接柱與上罩錐通過上插銷貫穿上罩錐通槽、上連接柱通槽進行連接；下連接柱與下罩錐通過下插銷貫穿下罩錐通槽、下連接柱通槽進行連接；所述上罩錐頂部連接有籽晶繩，下罩錐底部連接有籽晶桿。

技術領域

本實用新型屬于單晶硅制備領域，具體涉及一種直拉單晶籽晶繩重錘。

背景技術

直拉法生產硅單晶工藝中，一般采用鋼、鎢制軟繩作為牽引提拉晶體的纜繩，重錘作為連接籽晶繩和籽晶的部件，主要作用一是增加籽晶繩配重，保證籽晶繩垂直，二是夾持籽晶。重錘一般采用鎢鉬材質，夾持籽晶部分一般為石墨材質，兩者螺紋連接。拉晶過程中，由于高溫外加氧化氣體氧化，長時間造成籽晶繩氧化變脆，會發生斷裂事故，鎢鉬和石墨的螺紋連接長期使用后容易磨損，石墨螺紋脫扣，也容易發生掉落事故。金屬重錘使用過程擴散污染晶體，造成品質降低。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是針對現有技術的不足，提供能夠避免籽晶繩使用過程中被高溫氧化的重錘結構。

為了實現上述目的，本實用新型采取的技術方案如下：

一種直拉單晶籽晶繩重錘，包括配重塊、上罩錐以及下罩錐；所述配重塊為圓柱體，其上端設有柱狀的上連接柱，下端設有柱狀的下連接柱；所述上罩錐內部設有與上連接柱匹配的上連接柱凹槽，下罩錐內部設有與下連接柱匹配的下連接柱凹槽；所述上連接柱側壁留有上連接柱通槽，下連接柱側壁留有下連接柱通槽；所述上罩錐內壁設有上罩錐通槽，下罩錐內壁設有下罩錐通槽；上連接柱與上罩錐通過上插銷貫穿上罩錐通槽、上連接柱通槽進行連接；下連接柱與下罩錐通過下插銷貫穿下罩錐通槽、下連接柱通槽進行連接；

所述上罩錐頂部連接有籽晶繩，下罩錐底部連接有籽晶桿。

具體地，所述籽晶繩通過端子夾頭連接在上罩錐的內部；

所述端子夾頭為圓錐體，其底部中心自下而上依次設有籽晶繩卡槽和籽晶繩通槽，側面開有缺口；上罩錐底部中心自下而上依次設有上連接柱凹槽、端子夾頭容納槽以及籽晶繩穿槽；

所述籽晶繩的端部為球形端子，其尺寸小于籽晶繩穿槽、缺口、籽晶繩卡槽，大于籽晶繩通槽；籽晶繩從上罩錐頂部穿過籽晶繩穿槽，球形端子穿過端子夾頭的缺口進入籽晶繩卡槽內，并卡合在籽晶繩通槽底部，端子夾頭卡入上罩錐的端子夾頭容納槽內，從而將籽晶繩與上罩錐連接。

具體地，所述下罩錐頂部中心自上而下依次設有下連接柱凹槽、籽晶桿端頭容納槽以及籽晶桿穿槽；所述籽晶桿端頭尺寸大于籽晶桿和籽晶桿穿槽，小于籽晶桿端頭容納槽；

籽晶桿從下罩錐頂部下連接柱凹槽穿入，依次穿過籽晶桿端頭容納槽和籽晶桿穿槽，并從下罩錐底部穿出，籽晶桿端頭卡在端頭容納槽內，從而將籽晶桿于下罩錐連接。

優選地，所述配重塊材質為高純等靜壓石墨或涂層等靜壓石墨。

所述上罩錐和下罩錐材質為高純石英或高純陶瓷。

所述上插銷和下插銷為圓柱體，材質為高純等靜壓石墨或涂層等靜壓石墨。

所述端子夾頭材質為高純鉬或鎢。

有益效果：

本實用新型直拉單晶籽晶繩重錘組裝方便快捷，籽晶繩通過端子夾頭連接上罩錐，籽晶桿卡接在下罩錐內，能夠避免籽晶繩使用過程中被高溫氧化；上罩錐、下罩錐分別通過插銷與中部的配重塊連接，插銷式連接強度高，不易斷裂；重錘各組件材料純度高，能夠提高晶體品質。