[實(shí)用新型]一種光電倍增管陰極蒸銻透過(guò)率測(cè)試裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921689378.1
• 申請(qǐng)日: 2019-10-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN210835738U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-06-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 歐陽(yáng)義斌;芮杰;王浩東;方莉;張芳
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 南京三樂(lè)集團(tuán)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G05D5/03
• 分類(lèi)號(hào): G05D5/03;G01B11/06
• 代理公司: 南京經(jīng)緯專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 32200
• 代理人: 曹佩佩

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種光電倍增管陰極蒸銻透過(guò)率測(cè)試裝置，屬于光電倍增管陰極制造領(lǐng)域。包括：測(cè)光套筒，整體用吸光材料制作，測(cè)光套筒上沿測(cè)光套筒軸線方法依次設(shè)有第一空腔段，用于與需要蒸銻的光電倍增管對(duì)接；采光通道段，位于所述第一空腔后端，所述采光通道段用于探測(cè)光電倍增管生產(chǎn)過(guò)程中陰極蒸銻的透過(guò)率；第二空腔段，內(nèi)部放置有光電倍增管，光電倍增管用于將通過(guò)所述采光通道段的微弱光轉(zhuǎn)換為電子并不失真的放大產(chǎn)生的電流信號(hào)，然后通過(guò)信號(hào)線輸出信號(hào)；微安表，用于讀取光電倍增管的輸出電流。本實(shí)用新型光電倍增管陰極蒸銻透過(guò)率測(cè)試裝置是一種可適用于光電倍增管排氣激活工序中陰極蒸銻厚度控制的透過(guò)率測(cè)試裝置。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于光電倍增管陰極制造領(lǐng)域，具體是一種光電倍增管陰極蒸銻透過(guò)率測(cè)試裝置及其測(cè)試方法。

背景技術(shù)

光電倍增管是一種把微弱光信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)并加以不失真放大的電真空器件，主要應(yīng)用于醫(yī)學(xué)成像、核子物理學(xué)和高能物理學(xué)等領(lǐng)域。在多種光電器件中，光電倍增管是性能最好的一種，無(wú)論在靈敏度、噪聲系數(shù)還是在動(dòng)態(tài)范圍上都遙遙領(lǐng)先其他光電器件，更難能可貴的是它的輸出信號(hào)在相當(dāng)大范圍內(nèi)保持高度的線性輸出，使輸出信號(hào)幾乎不用做近似修正就可以直接獲得很準(zhǔn)確的色彩還原。

但是在生產(chǎn)端窗式光電倍增管的排氣激活工序中，端窗的蒸銻膜厚度的控制完全依賴(lài)員工的個(gè)人經(jīng)驗(yàn)和水平，非常不利于產(chǎn)品性能的一致性和產(chǎn)品質(zhì)量的控制。

實(shí)際生產(chǎn)中，由于光電倍增管端窗蒸銻膜過(guò)程中，采用的是銻球蒸銻方式，這導(dǎo)致端窗平面離銻球近的地方銻膜較厚，而離銻球遠(yuǎn)的地方銻膜較薄，使得整個(gè)端窗銻膜厚度不一致，當(dāng)采用采集整個(gè)端窗透過(guò)的光或采光通道段偏離中心位置的時(shí)候，在生產(chǎn)過(guò)程中都無(wú)法獲得一致性的結(jié)果，也就不能有效控制膜厚的一致性。

實(shí)用新型內(nèi)容

實(shí)用新型目的：本實(shí)用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種有效控制蒸銻厚度的方法。

本實(shí)用新型采用光電倍增管作為光電探測(cè)器件，通過(guò)測(cè)得蒸銻前后玻璃窗口的微弱光的變化來(lái)控制蒸銻膜的厚度。本實(shí)用新型提供的使用方便、噪音低、測(cè)量準(zhǔn)確有效的蒸銻膜厚測(cè)試裝置是一種性能優(yōu)越，創(chuàng)新性強(qiáng)，是一種可適用于光電倍增管排氣激活工序中陰極蒸銻厚度控制的透過(guò)率測(cè)試裝置。

為了實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：

一種光電倍增管陰極蒸銻透過(guò)率測(cè)試裝置，包括：

測(cè)光套筒，整體用吸光材料制作，測(cè)光套筒上沿測(cè)光套筒軸線方法依次設(shè)有三段，分別是：

第一空腔段，用于與需要蒸銻的光電倍增管對(duì)接；

采光通道段，位于所述第一空腔后端且與測(cè)光套筒軸線共軸設(shè)置，所述采光通道段為直徑10mm深度10-30mm的圓柱形通道，用于探測(cè)光電倍增管生產(chǎn)過(guò)程中陰極蒸銻的透過(guò)率；

第二空腔段，用于設(shè)置光電倍增管，所述光電倍增管用于將通過(guò)所述采光通道段的微弱光轉(zhuǎn)換為電子并不失真的放大產(chǎn)生的電流信號(hào)，然后通過(guò)信號(hào)線輸出信號(hào)；

微安表，用于讀取光電倍增管的輸出電流。

所述測(cè)光套筒整體用黑色的聚四氟乙烯制作。

所述光電倍增管與所述信號(hào)線之間設(shè)有給光電倍增管的各個(gè)管腳提供固定電壓的分壓器。

有益效果：

本裝置用于光電倍增管生產(chǎn)過(guò)程中蒸銻膜厚度的控制，具有使用方便、噪音低、測(cè)量準(zhǔn)確有效、可靠性高的特點(diǎn)，采用本裝置進(jìn)行蒸銻，可以有效的控制蒸銻膜的厚度，獲得較高的陰極靈敏度和產(chǎn)品的一致性。

本裝置在GDB-451型光電倍增管的應(yīng)用過(guò)程中，使其陰極靈敏度由原來(lái)的10μA/lm～40μA/lm提升到了現(xiàn)有的的40μA/lm～80μA/lm，并且80％達(dá)到50μA/lm或以上。