[實用新型]一種蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201921685693.7 | 申請日: | 2019-10-09 |
| 公開(公告)號: | CN210886191U | 公開(公告)日: | 2020-06-30 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 張萬財;馮俊敏;吳婷婷 | 申請(專利權(quán))人: | 深圳市海瀚新能源技術(shù)有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/24 | 分類號: | C23C14/24;C23C14/56;C23C14/20;C23C14/52 |
| 代理公司: | 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 郭斌莉 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市龍崗區(qū)*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 蒸發(fā) 真空鍍膜 設(shè)備 | ||
本申請?zhí)峁┮环N蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備,屬于真空鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備,用于對柔性膜進行雙面鍍膜。蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備包括能夠提供真空環(huán)境的腔室以及設(shè)置于腔室內(nèi)的鍍膜組件。鍍膜組件包括沿柔性膜的輸送路徑依次設(shè)置的用于對柔性膜的第一表面進行鍍膜的第一蒸鍍機構(gòu)、第一冷卻主鼓、用于對柔性膜的第二表面進行鍍膜的第二蒸鍍機構(gòu)以及第二冷卻主鼓。此蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備不僅能夠?qū)θ嵝阅みM行雙面鍍膜,還能夠先鍍膜、再冷卻,可以改善柔性膜局部變形的現(xiàn)象出現(xiàn),也可以改善鍍層上產(chǎn)生褶皺、鍍空線等缺陷。
技術(shù)領(lǐng)域
本申請涉及真空蒸鍍設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體而言,涉及一種蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備。
背景技術(shù)
真空鍍膜是指在真空腔室內(nèi)的原子材料從加熱源離析出來打到被鍍?nèi)嵝阅さ谋砻嫔?。冷卻輥和蒸鍍機構(gòu)在柔性膜的輸送路徑的同一位置上,也就是說在使用真空卷繞鍍膜設(shè)備對柔性膜進行鍍膜的時候,柔性膜的同一位置的正面被蒸鍍機構(gòu)鍍膜同時背面與冷卻輥貼緊進行冷卻,在此結(jié)構(gòu)下進行鍍膜,會使柔性膜上的鍍層出現(xiàn)褶皺、鍍空線、局部變形等現(xiàn)象。
實用新型內(nèi)容
本申請的目的在于提供一種蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備,使柔性膜的鍍膜效果更好,可以改善柔性膜局部變形的現(xiàn)象出現(xiàn),也可以改善鍍層上產(chǎn)生褶皺、鍍空線等缺陷。
第一方面,本申請實施例提供一種蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備,用于對柔性膜進行雙面鍍膜。蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備包括能夠提供真空環(huán)境的腔室以及設(shè)置于腔室內(nèi)的鍍膜組件。鍍膜組件包括沿柔性膜的輸送路徑依次設(shè)置的用于對柔性膜的第一表面進行鍍膜的第一蒸鍍機構(gòu)、第一冷卻主鼓、用于對柔性膜的第二表面進行鍍膜的第二蒸鍍機構(gòu)以及第二冷卻主鼓。
通過第一蒸鍍機構(gòu)和第二蒸鍍機構(gòu)分別對柔性膜的第一表面和第二表面進行鍍膜,可以一次性完成雙面鍍膜,鍍膜效率更高。在鍍膜的時候,可以先使用第一蒸鍍機構(gòu)對柔性膜的第一表面進行第一次鍍膜,再使第一冷卻主鼓與柔性膜的第二表面貼輥,并對第一次鍍膜后的柔性膜進行第一次冷卻;然后使用第二蒸鍍機構(gòu)對柔性膜的第二表面進行第二次鍍膜,再使第二冷卻主鼓與柔性膜的鍍膜后的第一表面貼輥,并對第二次鍍膜后的柔性膜進行第二次冷卻。將鍍膜和冷卻分開進行,先鍍膜、再冷卻,可以使柔性膜與冷卻主鼓的貼膜效果更好,減少柔性膜在冷卻主鼓上打皺、變形,從而使柔性膜的鍍膜效果更好,可以改善柔性膜局部變形的現(xiàn)象出現(xiàn),也可以改善柔性膜的鍍層上產(chǎn)生褶皺、鍍空線等缺陷。
在一些可能的實施方式中,鍍膜組件還包括放卷機構(gòu)和收卷機構(gòu),放卷機構(gòu)位于輸送路徑的前端,收卷機構(gòu)位于輸送路徑的后端。通過放卷機構(gòu)和收卷機構(gòu)的設(shè)置,可以一次性對較長的柔性膜進行鍍膜,提高鍍膜效率。
在一些可能的實施方式中,輸送路徑沿輸送方向包括第一蒸鍍路徑、第一冷卻路徑、第二蒸鍍路徑和第二冷卻路徑。放卷機構(gòu)位于第一蒸鍍路徑的前端,第一蒸鍍機構(gòu)位于第一蒸鍍路徑的一側(cè),第一冷卻路徑經(jīng)過第一冷卻主鼓的周面,第二蒸鍍機構(gòu)位于第二蒸鍍路徑的一側(cè),第二冷卻路徑經(jīng)過第二冷卻主鼓的周面,收卷機構(gòu)位于第二冷卻路徑的后端。
通過限定第一蒸鍍機構(gòu)與第一蒸鍍路徑的位置關(guān)系,以及第二蒸鍍機構(gòu)與第二蒸鍍路徑的位置關(guān)系,實現(xiàn)柔性膜的鍍膜。
在一些可能的實施方式中,第一冷卻路徑在經(jīng)過第一冷卻主鼓后迂回,第一蒸鍍機構(gòu)位于第一蒸鍍路徑的下方,第二蒸鍍機構(gòu)位于第二蒸鍍路徑的下方。
通過第一冷卻主鼓對柔性膜的輸送方向變向,使鍍膜時第一蒸鍍機構(gòu)位于第一表面的下方,第二蒸鍍機構(gòu)位于第二表面的下方,從而使雙面鍍膜的效果更好。
在一些可能的實施方式中,第一蒸鍍路徑依次經(jīng)過第一放卷過輥和第一展平輥,第一放卷過輥和第一展平輥被配置成使柔性膜處于水平狀態(tài),第一蒸鍍機構(gòu)設(shè)置于第一放卷過輥和第一展平輥之間。
在使用第一蒸鍍機構(gòu)對柔性膜的第一表面進行鍍膜的時候,柔性膜處于水平狀態(tài),可以使第一表面上的第一鍍層更加均勻,鍍膜效果更好。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
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