[實用新型]氣體檢測模塊

有效

• 申請號: 201921680673.0
• 申請日: 2019-10-09
• 公開（公告）號: CN211955369U
• 公開（公告）日: 2020-11-17
• 發明（設計）人: 莫皓然;韓永隆;黃啟峰;蔡長諺;李偉銘;郭俊毅;林宗義
• 申請（專利權）人: 研能科技股份有限公司
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 喻學兵

1.一種氣體檢測模塊，其特征在于，包含：

一基座，包含：

一第一表面；

一第二表面，相對于該第一表面；

多個側壁面，自該第一表面側邊縱向延伸至該第二表面側邊所形成，其中，一該側壁面凹陷一進氣凹面及一出氣凹面，該進氣凹面及該出氣凹面之間為間隔設置；

一容置空間，自該第二表面朝該第一表面凹陷在該側壁面之內區域空間所形成，該容置空間并區隔出一微型泵承載區、一檢測區及一導氣通路區，且該微型泵承載區與該導氣通路區通過一通氣缺口相互連通，以及該檢測區與該導氣通路區通過一連通開口相互連通；

一進氣槽區，自該第一表面凹陷形成，并設置一進氣通孔，與該導氣通路區連通，以及設置有一通氣凹槽，連通到該側壁面的該進氣凹面；以及

一出氣槽區，自該第一表面凹陷形成，并設置一出氣通孔，與該微型泵承載區連通，以及設置有一出氣凹槽，連通到該側壁面的該出氣凹面；

一微型泵，容設于該微型泵承載區，而封蓋該出氣通孔；

一驅動電路板，封蓋貼合該基座的該第二表面上，以構成該容置空間的該微型泵承載區、該檢測區及該導氣通路區形成氣體得由該進氣槽區的該進氣通孔，進入再由該出氣槽區的該出氣通孔排出的一導氣路徑；

一氣體傳感器，定位設置于該驅動電路板上電性連接，并對應容設于該檢測區，以對通過氣體做檢測；以及

一薄膜，貼附封蓋該進氣槽區及該出氣槽區，使氣體得由該側壁面的該進氣凹面側面進氣，并通過該通氣凹槽連通進入該進氣槽區，再由該進氣通孔進入依該導氣路徑，再由該出氣槽區的該出氣通孔排出，并通過該出氣凹槽與該側壁面的該出氣凹面連通而形成側面排氣；

其中，該氣體檢測模塊其長度介于2mm至3mm之間，寬度介于2mm至3mm之間，厚度介于1mm至2.5mm之間，以該微型泵驅動加速導送外部氣體由該側壁面的該進氣凹面形成側面進氣導入該導氣通路區，并通過該檢測區之內該氣體傳感器做檢測，導入氣體再通過該微型泵導送，再由該出氣槽區的該出氣通孔排出，并通過該出氣凹槽與該側壁面的該出氣凹面連通形成側面排氣；

其中，該微型泵為一微機電泵，包含有：

一第一基板，具有多個流入孔，該多個流入孔呈錐形；

一第一氧化層，疊設該第一基板，該第一氧化層具有多個匯流通道及一匯流腔室，該多個匯流通道連通于該匯流腔室及該多個流入孔之間；

一第二基板，結合至該第一基板，包含：

一硅晶片層，具有：

一致動部，呈圓形；

一外周部，呈中空環狀，環繞于該致動部的外圍；

多個連接部，分別連接于該致動部與該外周部之間；以及

多個流體通道，環繞于該致動部的外圍，且分別位于該多個連接部之間；

一第二氧化層，形成于該硅晶片層上，呈中空環狀，并與該硅晶片層定義一振動腔室；

一硅材層，呈圓形，位于該第二氧化層且結合至該第一氧化層，具有：

一穿孔，形成于該硅材層的中心；

一振動部，位于該穿孔的周邊區域；以及

一固定部，位于該硅材層的周緣區域；以及

一壓電組件，呈圓形，疊設于該硅晶片層的該致動部。

2.如權利要求1所述的氣體檢測模塊，其特征在于，該氣體傳感器為一揮發性有機物傳感器。

3.如權利要求1所述的氣體檢測模塊，其特征在于，該壓電組件包含有：

一下電極層；

一壓電層，疊置于該下電極層；

一絕緣層，鋪設于該壓電層的部分表面及該下電極層的部分表面；以及

一上電極層，疊置于該絕緣層及該壓電層未設有該絕緣層的其余表面，用以與該壓電層電性連接。