[實用新型]快速更換產(chǎn)線的模塊化電漿反應(yīng)腔室結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921669714.6
• 申請日: 2019-10-08
• 公開（公告）號: CN210535633U
• 公開（公告）日: 2020-05-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 林志隆;蔡兆哲;陳俊龍
• 申請（專利權(quán)）人: 聚昌科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京中原華和知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

1.一種快速更換產(chǎn)線的模塊化電漿反應(yīng)腔室結(jié)構(gòu)，其特征在于：包括：

主電漿反應(yīng)腔體，其具有第一反應(yīng)腔室，又該主電漿反應(yīng)腔體于該第一反應(yīng)腔室頂部，具有通孔部；以及

置換件，密封結(jié)合于該通孔部，又該置換件為蓋板或結(jié)合式電漿反應(yīng)腔體，該結(jié)合式電漿反應(yīng)腔體具有第二反應(yīng)腔室且于該第二反應(yīng)腔室的底部形成有連通口部；

當(dāng)使用該蓋板為置換件，則該模塊化電漿反應(yīng)腔室結(jié)構(gòu)，是以該第一反應(yīng)腔室進(jìn)行電漿蝕刻反應(yīng)；

當(dāng)使用該結(jié)合式電漿反應(yīng)腔體為置換件，則該連通口部與該通孔部相連通，且該模塊化電漿反應(yīng)腔室結(jié)構(gòu)是以該第一反應(yīng)腔室及該第二反應(yīng)腔室共同進(jìn)行電漿蝕刻反應(yīng)。

2.如權(quán)利要求1所述的模塊化電漿反應(yīng)腔室結(jié)構(gòu)，其特征在于該通孔部與該連通口部均為圓形結(jié)構(gòu)。

3.如權(quán)利要求1所述的模塊化電漿反應(yīng)腔室結(jié)構(gòu)，其特征在于該結(jié)合式電漿反應(yīng)腔體為圓柱體結(jié)構(gòu)。

4.如權(quán)利要求1所述的模塊化電漿反應(yīng)腔室結(jié)構(gòu)，其特征在于該結(jié)合式電漿反應(yīng)腔體的外緣延伸有第一固定件，又借由與第二固定件、第三固定件、第一內(nèi)部結(jié)合件、及第二內(nèi)部結(jié)合件，彼此以螺絲相互鎖固及相互迭壓結(jié)合，最后使該結(jié)合式電漿反應(yīng)腔體與該主電漿反應(yīng)腔體進(jìn)行結(jié)合。

5.如權(quán)利要求1所述的模塊化電漿反應(yīng)腔室結(jié)構(gòu)，其特征在于該通孔部與該蓋板間設(shè)有至少一個密封環(huán)。

6.如權(quán)利要求1所述的模塊化電漿反應(yīng)腔室結(jié)構(gòu)，其特征在于該結(jié)合式電漿反應(yīng)腔體與該通孔部間設(shè)有至少一個密封環(huán)。

7.如權(quán)利要求1所述的模塊化電漿反應(yīng)腔室結(jié)構(gòu)，其特征在于該第一反應(yīng)腔室的直徑是大于該第二反應(yīng)腔室的直徑。

8.如權(quán)利要求7所述的模塊化電漿反應(yīng)腔室結(jié)構(gòu)，其特征在于該第一反應(yīng)腔室的直徑除以該第二反應(yīng)腔室的直徑的值是大于等于3。