[實(shí)用新型]一種擴(kuò)散硼淀積新型石英舟

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921668560.9
• 申請(qǐng)日: 2019-10-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN210575874U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-05-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 崔文榮
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 江蘇晟馳微電子有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/673
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/673
• 代理公司: 北京天盾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11421
• 代理人: 張彩珍

1.一種擴(kuò)散硼淀積新型石英舟,包括石英舟本體(1)，其特征在于：所述石英舟本體(1)上設(shè)有一級(jí)舟槽支架(2)，一級(jí)舟槽支架(2)的上方兩端對(duì)稱(chēng)設(shè)有一級(jí)石英舟槽(4)，所述一級(jí)舟槽支架(2)的底部設(shè)有底部支架(3)，底部支架(3)與一級(jí)舟槽支架(2)焊接連接，所述底部支架(3)的底部對(duì)稱(chēng)設(shè)有二級(jí)石英舟槽(5)，

所述一級(jí)石英舟槽(4)，二級(jí)石英舟槽(5)上均設(shè)有舟槽槽口，舟槽槽口的入口傾角為88度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴(kuò)散硼淀積新型石英舟，其特征在于：所述石英舟本體(1)的內(nèi)部中央設(shè)有硅片放置槽。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴(kuò)散硼淀積新型石英舟，其特征在于：所述一級(jí)舟槽支架(2)上方兩個(gè)一級(jí)石英舟槽(4)之間的水平距離為133.2mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴(kuò)散硼淀積新型石英舟，其特征在于：所述底部支架(3)下方的兩個(gè)二級(jí)石英舟槽(5)之間的水平距離為46.2mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴(kuò)散硼淀積新型石英舟，其特征在于：所述一級(jí)石英舟槽(4)，二級(jí)石英舟槽(5)的長(zhǎng)期使用溫度為1150℃。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴(kuò)散硼淀積新型石英舟，其特征在于：所述一級(jí)石英舟槽(4)，二級(jí)石英舟槽(5)上相鄰兩個(gè)舟槽槽口的中心距離為2.38mm，舟槽槽口的槽深為11.5mm。