[實(shí)用新型]一種玻璃鈍化新型石英舟

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921668540.1
• 申請(qǐng)日: 2019-10-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN210575873U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-05-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 崔文榮
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 江蘇晟馳微電子有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/673
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/673;H01L31/18
• 代理公司: 北京天盾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11421
• 代理人: 張彩珍

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種玻璃鈍化新型石英舟,包括石英舟機(jī)構(gòu)，在石英舟機(jī)構(gòu)上設(shè)有一級(jí)石英舟支架，石英舟槽，一級(jí)石英舟，主支架，二級(jí)石英舟，石英舟機(jī)構(gòu)上的一級(jí)石英舟，一級(jí)石英舟的石英舟槽傾角為80度，進(jìn)行玻璃燒結(jié)時(shí)需要通入較大流量的氣體，調(diào)整硅片的角度后，降低氣流對(duì)硅片的沖擊，降低硅片的損傷，而且石英舟槽寬為10mm，定期清理舟槽中殘留的玻璃粉，降低硅片邊緣粘在石英舟上的幾率，該技術(shù)方案有效降低硅片破碎的概率，提高良品率，大大降低了產(chǎn)品鈍化的成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體玻璃燒結(jié)技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種玻璃鈍化新型石英舟。

背景技術(shù)

石英又名石英玻璃，石英玻璃是以二氧化硅組成的礦物質(zhì)。

石英玻璃主要用于電光源，半導(dǎo)體，光學(xué)新技術(shù)等方面。

新型光源方面：做高壓水銀燈、長(zhǎng)弧氙燈、碘鎢燈、碘化鉈燈、紅外線(xiàn)燈和殺菌燈等。

半導(dǎo)體方面：是半導(dǎo)體材料和器件生產(chǎn)過(guò)程中不可缺少的材料，如生長(zhǎng)鍺，硅單晶的坩堝、舟皿爐芯管和鐘罩等。

在新技術(shù)領(lǐng)域中：用其聲、光、電學(xué)的極佳性能、做雷達(dá)上的超聲延遲線(xiàn)，紅外跟蹤測(cè)向，紅外照相、通迅、攝譜儀、分光光度計(jì)的棱鏡，透鏡、大型天文望遠(yuǎn)鏡的反射窗，高溫作業(yè)窗、反應(yīng)堆、放射性裝置；火箭，導(dǎo)彈的鼻錐體，噴嘴和天線(xiàn)罩：人造衛(wèi)星的無(wú)線(xiàn)電絕緣零件，輻射；熱天秤，真空吸附裝置，精密鑄造等。

玻璃鈍化芯片，是用融凝玻璃來(lái)保護(hù)PN結(jié)，用于生產(chǎn)高壓大功率整流器件，玻璃起到減小漏電流、提高反向擊穿電壓的作用。常用的玻璃鈍化保護(hù)工藝一般采用刮涂法、光阻法或電泳法進(jìn)行玻璃涂覆，然后對(duì)玻璃進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，旨在除去玻璃中的有機(jī)成分及碳元素，冷卻后凝固形成結(jié)構(gòu)致密、熱穩(wěn)定性好、機(jī)械性能強(qiáng)的玻璃體，而單張晶片經(jīng)過(guò)光刻及蝕刻工藝往往有幾千顆芯片，因此玻璃燒結(jié)的均勻性顯得至關(guān)重要。

當(dāng)前玻璃燒結(jié)使用的是75槽的石英舟，進(jìn)行燒結(jié)時(shí)硅片垂直放置在石英舟上，由于玻璃燒結(jié)前是粉末狀，燒結(jié)完成后變成固態(tài)鈍化層，因此燒結(jié)完成后大量的玻璃粉殘留在石英舟槽中，當(dāng)站點(diǎn)的硅片碎片率達(dá)到1.12％。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種玻璃鈍化新型石英舟，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種玻璃鈍化新型石英舟,包括石英舟機(jī)構(gòu)，所述石英舟機(jī)構(gòu)上設(shè)有主支架，主支架的上方設(shè)有一級(jí)石英舟支架，所述一級(jí)石英舟支架與主支架之間焊接固定，所述一級(jí)石英舟支架的上方靠近兩端的端頭上設(shè)有一級(jí)石英舟，所述主支架的底部對(duì)稱(chēng)設(shè)有二級(jí)石英舟，二級(jí)石英舟的兩端端頭與主支架的內(nèi)壁焊接連接，所述一級(jí)石英舟，二級(jí)石英舟的內(nèi)部均設(shè)有石英舟槽。

優(yōu)選的，所述石英舟槽寬為10mm，槽深15mm。

優(yōu)選的，所述石英舟槽傾角為80度，所述石英舟槽的上方開(kāi)口角度為60度。

優(yōu)選的，所述主支架的底部對(duì)稱(chēng)設(shè)有兩個(gè)半圓柱狀凹槽，兩個(gè)半圓柱狀凹槽槽芯之間間距100mm±0.1mm。

優(yōu)選的，所述石英舟機(jī)構(gòu)的上方內(nèi)部設(shè)有硅片放置槽。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

(1)定期清理舟槽中殘留的玻璃粉，降低硅片邊緣粘在石英舟上的幾率；

(2)該技術(shù)方案有效降低硅片破碎的概率，提高良品率，大大降低了產(chǎn)品鈍化的成本。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型石英舟機(jī)構(gòu)主視圖；

圖2為本實(shí)用新型石英舟機(jī)構(gòu)側(cè)視圖；

圖3為本實(shí)用新型石英舟機(jī)構(gòu)俯視圖；

圖4為本實(shí)用新型石英舟舟槽截面圖。