[實(shí)用新型]一種便捷式用于金屬靶材生產(chǎn)加工的噴涂裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921668278.0
• 申請日: 2019-10-08
• 公開（公告）號: CN210765492U
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胥小勇
• 申請（專利權(quán)）人: 福建瓦能科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 北京天奇智新知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11340
• 代理人: 曾捷

本實(shí)用新型公開了一種便捷式用于金屬靶材生產(chǎn)加工的噴涂裝置，包括噴涂倉，所述噴涂倉的內(nèi)壁中心底端固接有橫板，所述噴涂倉的內(nèi)部中心右側(cè)設(shè)有襯管，所述噴涂倉的內(nèi)部中心左側(cè)設(shè)有靶材裝置，所述襯管和靶材裝置均通過支撐座組件與噴涂倉相連接，所述噴涂倉的左側(cè)設(shè)有噴氣裝置。該便捷式用于金屬靶材生產(chǎn)加工的噴涂裝置，通過噴涂倉、橫板、襯管、靶材裝置、支撐座組件、噴氣裝置、電機(jī)、轉(zhuǎn)桿、第一傘形齒輪、第二傘形齒輪和圓柱之間的配合，在進(jìn)行噴涂作業(yè)前可以使噴涂倉的內(nèi)部注入適量的氬氣，繼而可以提高設(shè)備的噴涂效率，可以使靶材裝置與襯管進(jìn)行相對轉(zhuǎn)動，進(jìn)而使設(shè)備噴涂效率得到提高，生產(chǎn)成本得到降低。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及靶材加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種便捷式用于金屬靶材生產(chǎn)加工的噴涂裝置。

背景技術(shù)

濺射是制備薄膜材料的主要技術(shù)，它利用離子源產(chǎn)生的離子，在真空中經(jīng)過加速聚集反應(yīng)，靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料，不同功率密度、不同輸出波形、不同波長能夠制造出不同的靶材，隨著科技的發(fā)展靶材在各個方面都得到廣泛的應(yīng)用，中國靶材產(chǎn)業(yè)發(fā)展也不斷擴(kuò)大自己的規(guī)模和生產(chǎn)技術(shù)，產(chǎn)出的靶材的品牌已經(jīng)達(dá)到國際頂端的技術(shù)水平，噴涂制備金屬靶材是利用電弧將靶材材料加熱到熔融或半熔融狀態(tài)，借助高速氣體將其霧化，形成小的熔滴，并加速噴射到襯管或襯板表面，快速冷卻凝固成金屬涂層靶材的過程，但是在進(jìn)行噴涂的過程中，大多數(shù)的設(shè)備會將設(shè)備內(nèi)部空氣中抽出在進(jìn)行噴涂，以防止原材料表面氧化，保障產(chǎn)品質(zhì)量，凡無法在設(shè)備的內(nèi)部注入更為合適的氬氣，進(jìn)而不利于較為快速的進(jìn)行噴涂作業(yè)，且內(nèi)部的靶材裝置與襯管無法進(jìn)行相對的轉(zhuǎn)動，進(jìn)一步的影響到噴涂質(zhì)量，進(jìn)而容易造成噴涂效率降低，生產(chǎn)成本較高的情況出現(xiàn)。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種便捷式用于金屬靶材生產(chǎn)加工的噴涂裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的進(jìn)行噴涂的過程中，大多數(shù)的設(shè)備會將設(shè)備內(nèi)部空氣中抽出在進(jìn)行噴涂，以防止原材料表面氧化，保障產(chǎn)品質(zhì)量，但無法在設(shè)備的內(nèi)部注入更為合適的氬氣，進(jìn)而不利于較為快速的進(jìn)行噴涂作業(yè)，且內(nèi)部的靶材裝置與襯管無法進(jìn)行相對的轉(zhuǎn)動，進(jìn)一步的影響到噴涂效率，進(jìn)而容易造成噴涂效率降低，生產(chǎn)成本較高的情況出現(xiàn)問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種便捷式用于金屬靶材生產(chǎn)加工的噴涂裝置，包括噴涂倉，所述噴涂倉的內(nèi)壁中心底端固接有橫板，所述噴涂倉的內(nèi)部中心右側(cè)設(shè)有襯管，所述噴涂倉的內(nèi)部中心左側(cè)設(shè)有靶材裝置，所述襯管和靶材裝置均通過支撐座組件與噴涂倉相連接，所述噴涂倉的左側(cè)設(shè)有噴氣裝置，所述噴涂倉的左側(cè)表面底端固接有第一支板，所述第一支板的上表面放置有電源，所述電源的左右兩側(cè)均固接有導(dǎo)線，所述噴涂倉的內(nèi)部底端左側(cè)固接有基座，所述基座的上表面固接有電機(jī)，所述電機(jī)的右側(cè)固接有轉(zhuǎn)桿，所述轉(zhuǎn)桿的右側(cè)設(shè)有半圓板，所述半圓板與轉(zhuǎn)桿轉(zhuǎn)動相連，所述半圓板與噴涂倉固定相連，所述轉(zhuǎn)桿的外壁左右兩側(cè)均固定套接有第一傘形齒輪，所述第一傘形齒輪的頂端均嚙合連接有第二傘形齒輪，所述第二傘形齒輪的上表面中心固接有圓柱，兩個所述圓柱的頂端分別與兩個底端支撐座組件固定相連，所述噴涂倉的左表面頂端固接有第二支板，所述第二支板的上表面固接有真空泵，所述真空泵的左側(cè)固接有連管，所述連管的另一端貫穿噴涂倉，所述連管與噴涂倉固定相連，所述連管的管道上安裝有閥門，所述噴涂倉的右表面固接有托板，所述托板的內(nèi)部放置有氬氣瓶，所述氬氣瓶的頂端固接左側(cè)有橫管，所述橫管的另一端貫穿噴涂倉，所述橫管與噴涂倉固定相連。