[實(shí)用新型]一種圖形化復(fù)合襯底和LED外延片

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921668027.2
• 申請(qǐng)日: 2019-09-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211125683U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-07-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 肖桂明;張劍橋;康凱;劉鳳儀;陸前軍;張能
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東莞市中圖半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L33/20
• 分類號(hào): H01L33/20
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

1.一種圖形化復(fù)合襯底，其特征在于，包括：

藍(lán)寶石基板；

陣列排布的多個(gè)臺(tái)狀微結(jié)構(gòu)，所述臺(tái)狀微結(jié)構(gòu)位于所述藍(lán)寶石基板上，所述臺(tái)狀微結(jié)構(gòu)的側(cè)壁具有內(nèi)凹弧度，且所述臺(tái)狀微結(jié)構(gòu)中至少遠(yuǎn)離所述藍(lán)寶石基板一側(cè)的部分由異質(zhì)材料制成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖形化復(fù)合襯底，其特征在于，所述臺(tái)狀微結(jié)構(gòu)的所述側(cè)壁的內(nèi)凹深度為20-300nm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖形化復(fù)合襯底，其特征在于，所述臺(tái)狀微結(jié)構(gòu)的頂面設(shè)置有至少一個(gè)凸起和/或至少一個(gè)凹槽，所述凸起的高度和所述凹槽的深度均小于所述臺(tái)狀微結(jié)構(gòu)的高度。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的圖形化復(fù)合襯底，其特征在于，所述凸起和所述凹槽的形狀為立方體、球冠、棱錐和棱臺(tái)中一種或多種。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖形化復(fù)合襯底，其特征在于，所述臺(tái)狀微結(jié)構(gòu)全部由所述異質(zhì)材料制成。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖形化復(fù)合襯底，其特征在于，所述臺(tái)狀微結(jié)構(gòu)為類圓臺(tái)狀、類三棱臺(tái)狀、類四棱臺(tái)狀、類五棱臺(tái)狀、類六棱臺(tái)狀和類八棱臺(tái)狀中的任意一種。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖形化復(fù)合襯底，其特征在于，所述臺(tái)狀微結(jié)構(gòu)的底部尺寸為1.0-3.0μm，頂部尺寸為0.5-2.5μm，高度為0.8-2.0μm。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖形化復(fù)合襯底，其特征在于，相鄰兩個(gè)所述臺(tái)狀微結(jié)構(gòu)之間的間距為0.2μm～1.5μm。

9.一種LED外延片，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的圖形化復(fù)合襯底，以及形成于所述圖形化復(fù)合襯底上的外延層。