[實用新型]一種針對鏡面表面變形梯度的雙方向同步在線測量系統

有效

• 申請號: 201921667890.6
• 申請日: 2019-09-30
• 公開（公告）號: CN210486808U
• 公開（公告）日: 2020-05-08
• 發明（設計）人: 謝惠民;李加強
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: G01B11/16
• 分類號: G01B11/16;G01B11/24
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 羅文群

1.一種針對鏡面表面變形梯度的雙方向同步在線測量系統，其特征在于該雙方向同步測量系統包括激光器(1)、擴束凸透鏡(2)、準直凸透鏡(3)、匯集透鏡(7)、匯集透鏡支架(701)、CCD相機(8)、光闌(802)，第一反射鏡(901)、第二左反射鏡(902)、第二右反射鏡(903)、第一分光棱鏡(101)、第二分光棱鏡(102)、前旋轉光柵(12)、后旋轉光柵(13)、前固定光柵(14)和后固定光柵(15)；所述的激光器(1)、擴束凸透鏡(2)、準直凸透鏡(3)和第一反射鏡(901)沿第一光軸同光軸安裝，其中，激光器(1)固定在激光器支架(100)上，擴束凸透鏡(2)固定在擴束鏡支架(201)上，準直凸透鏡(3)固定在準直凸透鏡支架(301)上，第一反射鏡(901)固定在第一反射鏡支架(9011)上，第一反射鏡(901)的反射鏡面法線與第一光軸的夾角為22.5°，激光器支架(100)、擴束鏡支架(201)、準直凸透鏡支架(301)和第一反射鏡支架(9011)分別安裝在基座(0)的一側；所述的第一分光棱鏡(101)固定在第一分光棱鏡支架(1011)上，分光棱鏡的分光面的法線與第一光軸垂直，第一分光棱鏡(101)與第一光軸的處置距離L1為50mm，第一分光棱鏡支架(1011)安裝在基座(0)的中間位置；第二分光棱鏡(102)固定在第二分光棱鏡支架(1021)上，第二分光棱鏡(102)的分光面的法線與第一光軸垂直，第二分光棱鏡(102)的與第一光軸處置距離L2為100mm，第二分光棱鏡安裝在基座(0)上；第二左反射鏡(902)、前旋轉光柵(12)、后旋轉光柵(13)、匯集透鏡(7)、CCD相機(8)和光闌(802)沿第二光軸同光軸安裝，其中，第二左反射鏡(902)固定在第二左反射鏡支架(9021)，第二左反射鏡(902)與第一反射鏡(901)平行，前旋轉光柵(12)鑲嵌在前旋轉光柵支架(121)上的第一旋轉框(122)上，后旋轉光柵(13)鑲嵌在后旋轉光柵支架(131)上的第二旋轉框(132)上，匯集透鏡(7)固定在匯集透鏡支架(701)上，CCD相機(8)固定在CCD相機支架(801)上，第二左反射鏡支架(9021)、前旋轉光柵支架(121)、后旋轉光柵支架(131)、匯集透鏡支架(701)、CCD相機支架(801)上和光闌(802)安裝在基座(0)的中間位置；所述的第二右反射鏡(903)、前固定光柵(14)、后固定光柵(15)、匯集透鏡(7)、CCD相機(8)和光闌(802)沿第三光軸同光軸安裝，其中，第二右反射鏡(903)固定在第二右反射鏡支架(9031)上，且第二右反射鏡(903)的鏡面與第三光軸的夾角為-22.5°，前固定光柵(14)固定在前固定光柵支架(141)上，后固定光柵(15)固定在后固定光柵支架(151)上，匯集透鏡(7)固定在匯集透鏡支架(701)上，CCD相機(8)固定在CCD相機支架(801)上；第二右反射鏡支架(9031)、前固定光柵支架(141)、后固定光柵支架(151)、匯集透鏡支架(701)、CCD相機支架(801)和光闌(802)安裝在基座(0)右側位置。