[實用新型]一種芯片清洗用治具

有效

• 申請號: 201921666329.6
• 申請日: 2019-10-08
• 公開（公告）號: CN211578701U
• 公開（公告）日: 2020-09-25
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 劉子瑋
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/673;B08B3/02;B08B13/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種芯片清洗用治具，包括殼體，所述殼體內部下端開設有滑槽，所述滑槽內部活動設置有滑塊，所述滑塊上端固定設置有清洗倉，所述清洗倉內部開設有若干清洗槽，所述清洗倉外側四周開設有卡槽，所述卡槽內部活動卡合設置有橡膠塞，所述清洗倉內部下端表面開設有若干第一通孔，所述殼體一側上端通過安裝座固定設置有振動機構。本實用新型使用效果較好，可以便于對芯片進行清洗，同時通過振動可以提高裝置的清洗效果。

技術領域

本實用新型涉及芯片清洗技術領域，具體為一種芯片清洗用治具。

背景技術

芯片清洗是每一個芯片制備過程中必不可少的過程，其目的在于使芯片表面的污染物盡可能地降低，使得元件獲得良好而穩定的特性，以及使制程具有良好的再現性。

但是目前使用的芯片清洗大多都是將芯片放置在槽體內部，然后通過水流進行沖擊清洗，這種水流定向沖擊清洗的效果較差，使用效果不好。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種芯片清洗用治具，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種芯片清洗用治具，包括殼體，所述殼體內部下端開設有滑槽，所述滑槽內部活動設置有滑塊，所述滑塊上端固定設置有清洗倉，所述清洗倉內部開設有若干清洗槽，所述清洗倉外側四周開設有卡槽，所述卡槽內部活動卡合設置有橡膠塞，所述清洗倉內部下端表面開設有若干第一通孔，所述殼體一側上端通過安裝座固定設置有振動機構，所述殼體一側表面下端固定設置有開關。

優選的，所述振動機構包括電動機、偏心輪、傳動桿、連接桿，所述殼體一側上端通過安裝座固定設置有電動機，所述電動機的輸出軸端通過連軸器固定設置有偏心輪，所述偏心輪通過轉軸活動設置有傳動桿，所述清洗倉上端靠近電動機的一側固定設置有連接桿，所述傳動桿與連接桿之間通過轉軸活動連接，所述開關與電動機之間電性連接，通過振動機構帶動清洗倉振動，從而提高芯片的清洗效果。

優選的，所述清洗倉外側表面開設有若干第二通孔，通過第二通孔可以方便水進入到清洗倉內部。

優選的，所述電動機外側表面固定設置有保護層，通過保護層用于保護電動機。

優選的，所述殼體外側表面固定設置有限位塊，所述殼體外側表面上端活動套設有頂蓋，通過頂蓋可以防止清洗液從殼體內部激蕩濺射出去。

優選的，所述滑塊與滑槽之間光滑連接，通過光滑連接可以方便滑塊沿著滑槽滑動。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

1、本實用新型通過開關打開電動機，通過電動機帶動偏心輪轉動，從而帶動傳動桿左右移動，傳動桿左右移動后則會帶動連接桿和清洗倉作用移動，并且清洗倉在左右移動時，在滑塊卡合在滑槽的作用下可以起到穩定清洗倉的作用，通過清洗倉的左右移動從而帶動清洗液，通過第一通孔和第二通孔不斷對清洗槽內部的芯片進行沖洗，從而完成芯片的清洗工作，通過自動振蕩清洗提高其清洗效果。

2、本實用新型將需要清洗的芯片放置在清洗槽內部，然后通過卡槽內部塞入橡膠塞，以將清洗槽內部的芯片進行固定，固定芯片所有為橡膠塞，較為柔軟在振動清洗芯片時，不會導致芯片損壞以提高裝置的使用效果。

附圖說明

圖1為本實用新型一種芯片清洗用治具整體結構示意圖；

圖2為本實用新型一種芯片清洗用治具清洗倉整體結構示意圖；

圖3為本實用新型一種芯片清洗用治具圖1中A處的放大視圖；

圖4為本實用新型一種芯片清洗用治具主視圖。