[實用新型]一種用于硅片切割的主軸箱

有效

• 申請號: 201921661182.1
• 申請日: 2019-10-07
• 公開（公告）號: CN210799987U
• 公開（公告）日: 2020-06-19
• 發明（設計）人: 吳鋒;伊少春;張玉雯
• 申請（專利權）人: 無錫陽光精機有限公司
• 主分類號: F16H57/021
• 分類號: F16H57/021;F16H57/029;F16H57/04;B28D5/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于硅片切割的主軸箱，包括軸芯(1)，其特征在于：所述軸芯(1)中部由內向外依次套裝有軸承內隔圈(12)、軸承外隔圈(11)、套筒(6)，套筒(6)內部設有套筒壓縮空氣氣路(61)、多條套筒冷卻水路(62)，軸芯(1)上部表面軸向依次套裝有后軸承(13)、后軸承墊圈(16)、鎖緊螺母(18)，后軸承(13)由鎖緊螺母(18)鎖緊，后軸承墊圈(16)、鎖緊螺母(18)的外圈套裝有后軸承壓環(14)、后壓蓋(15)，后軸承壓環(14)與后軸承(13)端面接觸，后軸承壓環(14)外圈套裝套筒(6)，后壓蓋(15)固定在套筒(6)末端，后壓蓋(15)上設有多個螺釘孔(19)，通過螺釘將后軸承壓環(14)與后壓蓋(15)固定，壓緊軸承外圈，保證后軸承(13)不會竄動，后壓蓋(15)內部設置有后壓蓋壓縮空氣氣路(151)、后壓蓋冷卻水路(153)，后壓蓋(15)上設置有壓縮空氣進口(152)，壓縮空氣進口(152)連通后壓蓋壓縮空氣氣路(151)、套筒壓縮空氣氣路(61)，后壓蓋(15)上設置有冷卻水進口(154)，冷卻水進口(154)連通后壓蓋冷卻水路(153)、套筒冷卻水路(62)，所述軸芯(1)下部為階梯結構，設有第一階梯(101)、第二階梯(102)、第三階梯(103)，在軸芯(1)的第一階梯(101)上由內向外依次套裝有前軸承(10)、套筒(6)，在軸芯(1)的第二階梯(102)上套裝有密封蓋(8)、密封圈(9)，密封蓋(8)、密封圈(9)的外圈依次套裝有前軸承壓環(7)、套筒(6)，密封蓋(8)、密封圈(9)分別鑲嵌在前軸承壓環(7)的兩側，密封蓋(8)端面與軸芯(1)的第二階梯(102)垂直端面之間設有循環腔(2)，在軸芯(1)的第三階梯(103)外圈上依次設有前外擋蓋(3)、前壓蓋(5)，前壓蓋(5)固定在套筒(6)上，前外擋蓋(3)固定在前壓蓋(5)上，罩住前內擋蓋(4)，前內擋蓋(4)切割成兩半，內嵌在軸芯(1)中，前壓蓋(5)下壓前軸承壓環(7)，保證前軸承(10)不會竄動，前壓蓋(5)內圈與軸芯(1)的第三階梯(103)表面形成儲氣槽(20)、出氣槽(21)，前壓蓋(5)的徑向設有前壓蓋壓縮空氣氣路(53)，前壓蓋壓縮空氣氣路(53)與套筒壓縮空氣氣路(61)連通，前外擋蓋(3)正下位置設有前外擋蓋排泄槽(31)，前內擋蓋(4)設有前內擋蓋排泄槽(41)，前壓蓋(5)下方設有從內部往外排泄的前壓蓋內部排泄孔(51)，下端面有前壓蓋排泄槽(52)，前外擋蓋排泄槽(31)、前內擋蓋排泄槽(41)與前壓蓋內部排泄孔(51)、前壓蓋排泄槽(52)位于同一位置，且都向下。

2.根據權利要求1所述的一種用于硅片切割的主軸箱，其特征在于：所述前軸承(10)由多個軸承配對組成。

3.根據權利要求1所述的一種用于硅片切割的主軸箱，其特征在于：所述后軸承(13)由多個軸承配對組成。