[實(shí)用新型]一種超大尺寸單晶硅片的清洗系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921657478.6
• 申請日: 2019-09-30
• 公開（公告）號: CN211914783U
• 公開（公告）日: 2020-11-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王冬雪;孫小杰;王大偉;黃磊;郭成鋼
• 申請（專利權(quán)）人: 內(nèi)蒙古中環(huán)光伏材料有限公司
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08;B08B3/12;B08B11/00;B08B13/00
• 代理公司: 天津諾德知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 12213
• 代理人: 欒志超

本實(shí)用新型提供一種超大尺寸單晶硅片的清洗系統(tǒng)，包括預(yù)清洗部和慢提拉部，還包括第一藥液清洗部、第一溢流清洗部、第二藥液清洗部、第三藥液清洗部和第二溢流清洗部，預(yù)清洗部、第一藥液清洗部、第一溢流清洗部、第二藥液清洗部、第三藥液清洗部、第二溢流清洗部與慢提拉部依次設(shè)置，并通過移動抓取裝置連通，對硅片依次進(jìn)行清洗；慢提拉部以一定傾斜角度傾斜設(shè)置，以使得硅片表面水分拉干；第一藥液清洗部中的藥液為清洗劑溶液；第二藥液清洗部中的藥液為高濃度清洗藥液溶液；第三藥液清洗部中的藥液為低濃度清洗藥液溶液。本實(shí)用新型的有益效果是對硅片進(jìn)行三次藥液清洗，硅片表面潔凈度高，提高硅片表面潔凈度，提升后續(xù)電池片的轉(zhuǎn)化效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于光伏技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種超大尺寸單晶硅片的清洗系統(tǒng)。

背景技術(shù)

目前超大尺寸硅片加工已成為光伏后續(xù)發(fā)展趨勢。但硅片尺寸變大以后，特別是直徑大于270mm硅片的清洗，按照目前清洗方式，臟片比例上升。雖然，采用延長清洗的時間、加大藥液(清洗劑、化學(xué)品)的用量、增加溢流量可以達(dá)到清洗目的，但成本會上升。

實(shí)用新型內(nèi)容

鑒于上述問題，本實(shí)用新型要解決的問題是提供一種超大尺寸單晶硅片的清洗系統(tǒng)，尤其適合超大尺寸單晶硅片的清洗，對硅片依次進(jìn)行第一藥液清洗、第二藥液清洗和第三藥液清洗，硅片表面潔凈度高，硅片表面金屬離子殘留較少，提高后續(xù)電池片的轉(zhuǎn)化效率。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：一種超大尺寸單晶硅片的清洗系統(tǒng)，包括預(yù)清洗部和慢提拉部，還包括第一藥液清洗部、第一溢流清洗部、第二藥液清洗部、第三藥液清洗部和第二溢流清洗部，預(yù)清洗部、第一藥液清洗部、第一溢流清洗部、第二藥液清洗部、第三藥液清洗部、第二溢流清洗部與慢提拉部依次設(shè)置，并通過移動抓取裝置連通，對硅片依次進(jìn)行清洗；以及，

慢提拉部以一定傾斜角度傾斜設(shè)置，以使得硅片表面水分拉干；

其中，第一藥液清洗部中的藥液為清洗劑溶液；

第二藥液清洗部中的藥液為高濃度清洗藥液溶液；

第三藥液清洗部中的藥液為低濃度清洗藥液溶液。

進(jìn)一步的，第一藥液清洗部包括第一超聲藥液清洗部和第二超聲藥液清洗部，第一超聲藥液清洗部與第二超聲藥液清洗部依次設(shè)置，對硅片進(jìn)行超聲藥液清洗；其中，

第一超聲藥液清洗部與第二超聲藥液清洗部均設(shè)有清洗劑溶液。

進(jìn)一步的，清洗劑溶液為3％-5％的清洗劑。

進(jìn)一步的，高濃度清洗藥液溶液為雙氧水和氫氧化鉀溶液，其中，

雙氧水的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為20％-40％，氫氧化鉀的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為30％-50％；

雙氧水的濃度為4.5vol％-5.5vol％，氫氧化鉀的濃度為1.0vol％-1.5vol％。

進(jìn)一步的，低濃度清洗藥液溶液為雙氧水和氫氧化鉀溶液，其中，

雙氧水的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為20％-40％，氫氧化鉀的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為30％-50％；

雙氧水的濃度為1.5vol％-1.8vol％，氫氧化鉀的濃度為0.3vol％-0.5vol％。

進(jìn)一步的，第二藥液清洗部與第三藥液清洗部均設(shè)有鼓泡清洗部。

進(jìn)一步的，第二溢流清洗部包括第一超聲溢流部、第二超聲溢流部和第三超聲溢流部，第一超聲溢流部、第二超聲溢流部與第三超聲溢流部依次設(shè)置，對硅片依次進(jìn)行清洗；

其中，第一超聲溢流部、第二超聲溢流部與第三超聲溢流部均設(shè)有純水。

進(jìn)一步的，傾斜角度為5°-15°。