[實用新型]光纖預制合成棒沉積設備補風裝置

有效

• 申請號: 201921656561.1
• 申請日: 2019-09-30
• 公開（公告）號: CN210656691U
• 公開（公告）日: 2020-06-02
• 發明（設計）人: 王旭強
• 申請（專利權）人: 上海塑潔環保工程設備有限公司
• 主分類號: C03B37/014
• 分類號: C03B37/014
• 代理公司: 上海段和段律師事務所 31334
• 代理人: 李佳俊;郭國中

本實用新型提供了一種光纖預制合成棒沉積設備補風裝置，包括：補風管道、凈化器和靜壓箱；所述補風管道包括：第一補風管道和第二補風管道；所述凈化器的輸出端通過所述第一補風管道與所述靜壓箱的輸入端連接；所述靜壓箱的輸出端通過所述第二補風管道與光纖預制合成棒沉積設備連接。本實用新型提供了一種專門適用于光纖預制合成棒沉積設備的補風裝置，實現高潔凈度的補風，解決了現有技術的難題。

技術領域

本實用新型涉及補風技術領域，具體地，涉及一種光纖預制合成棒沉積設備補風裝置。

背景技術

光纖預制合成棒沉積設備使用各種原料氣體SiC1₄，GeC1₄，F₂等和氧氣通過質量流量控制器進入混合器中，再進入反應管在設備內部腔體中進行沉積處理，設備在沉積過程中會產生廢氣，廢氣由風機負壓抽出進行廢氣處理，由于抽風導致設備內部處于負壓狀態，負壓狀態會影響設備沉積。

此外，光棒預制工藝需要較高的潔凈度，若直接向合成棒沉積設備與大氣連接進行補充，會引入大量的雜質，影響光棒的質量。

實用新型內容

針對現有技術中的缺陷，本實用新型的目的是提供一種光纖預制合成棒沉積設備補風裝置。

根據本實用新型提供的一種光纖預制合成棒沉積設備補風裝置，包括：補風管道、凈化器和靜壓箱；

所述補風管道包括：第一補風管道和第二補風管道；

所述凈化器的輸出端通過所述第一補風管道與所述靜壓箱的輸入端連接；

所述靜壓箱的輸出端通過所述第二補風管道與合成棒沉積設備連接。

優選地，所述補風管道還包括：

第三補風管道，一端連接所述凈化器的輸入端，另一端連接外部的大氣或氣源。

優選地，所述凈化器包括：通過不銹鋼內壁構成的一個內部空間，所述內部空間內通過兩個濾芯框架分割為三個部分：初效過濾部分、中效過濾部分和高效過濾部分；

所述凈化器的輸入端連接所述初效過濾部分，所述凈化器的輸出端連接所述高效過濾部分。

優選地，所述初效過濾部分、所述中效過濾部分和所述高效過濾部分中對應設置有初效過濾器、中效過濾器和高效過濾器。

優選地，所述凈化器包括兩臺壓差表，分別檢測所述初效過濾部分與所述高效過濾部分之間的壓差、所述中效過濾部分與所述高效過濾部分之間的壓差。

優選地，所述初效過濾器、所述中效過濾器和所述高效過濾器的數量均為多個。

優選地，所述初效過濾部分、所述中效過濾部分和所述高效過濾部分的內壁分別開設有門。

優選地，所述第二補風管道包括耐火帆布管。

優選地，所述靜壓箱的輸入端包括多個進風口，分別與合成棒沉積設備不同的噴嘴連接，所述靜壓箱的內部分為高部、中部和低部；

所述靜壓箱內設置有壓差表，分別檢測所述高部與所述低部之間的壓差、所述中部與所述低部之間的壓差。

與現有技術相比，本實用新型具有如下的有益效果：

提供了一種專門適用于合成棒沉積設備的補風裝置，實現高潔凈度的補風，解決了現有技術的難題。

附圖說明

通過閱讀參照以下附圖對非限制性實施例所作的詳細描述，本實用新型的其它特征、目的和優點將會變得更明顯。

圖1為本實用新型與光纖預制合成棒沉積設備的連接結構示意圖。

圖2為凈化器的剖視圖。