[實用新型]一種旋轉靶材脫脂裝置

有效

• 申請號: 201921653650.0
• 申請日: 2019-09-29
• 公開（公告）號: CN210632942U
• 公開（公告）日: 2020-05-29
• 發明（設計）人: 胡茂橫
• 申請（專利權）人: 深圳恒泰克科技有限公司
• 主分類號: B22F3/10
• 分類號: B22F3/10;B22F3/24;C21D1/26;C21D1/74;C21D9/00
• 代理公司: 深圳市中科創為專利代理有限公司 44384
• 代理人: 彭西洋;謝亮

本實用新型屬于靶材脫脂技術領域，且公開了一種旋轉靶材脫脂裝置，包括帶有底座的爐筒，所述爐筒的內部安裝有內膽，所述爐筒的前表面通過合頁安裝有活動門，且活動門的側壁安裝有把手，所述爐筒的前表面且位于活動門的上下側均焊接有豎筒，所述豎筒的內部插接有可滑動的擋板，本實用新型通過擋板和擋桿將關閉后的活動門進行遮擋，提高了該裝置的防爆性能，安全性更佳，同時通過小齒輪帶動大齒輪旋轉的方式控制擋板的向上運動，操作更加省力，解決了脫脂過程中爐筒易爆炸的問題，通過冷卻管可對內膽進行快速降溫，實現在保護氣氛下低溫退火的工藝要求，同時吸熱后的冷卻水可快速失熱，便于長時間使用。

技術領域

本實用新型屬于靶材脫脂技術領域，具體涉及一種旋轉靶材脫脂裝置。

背景技術

旋轉靶材是磁控的靶材，靶材做成圓筒型的，里面裝有靜止不動的磁體，以慢速轉動，靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源，在制備功能薄膜時需對其進行脫脂操作，如申請號為CN201820206723.0的一種用于生產硬質合金的脫脂爐，雖解決了混合氣體的充分燃燒問題，但在脫脂過程中溫度過高易爆，安全性不佳，同時降溫速度過慢，無法滿足以氫氣、氮氣組成的保護氣氛下的低溫退火要求，實用性不佳。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種旋轉靶材脫脂裝置，以解決上述背景技術中提出的在脫脂過程中溫度過高易爆，安全性不佳，同時降溫速度過慢，無法滿足以氫氣、氮氣組成的保護氣氛下的低溫退火要求，實用性不佳的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種旋轉靶材脫脂裝置，包括帶有底座的爐筒，所述爐筒的內部安裝有內膽，所述爐筒的前表面通過合頁安裝有活動門，且活動門的側壁安裝有把手，所述爐筒的前表面且位于活動門的上下側均焊接有豎筒，所述豎筒的內部插接有可滑動的擋板，所述擋板的內部且位于頂側的豎筒頂部插接有固定桿，所述擋板的一側開設有齒槽，所述底座的前表面活動安裝有與擋板嚙合的大齒輪，所述底座的前表面活動安裝有與大齒輪嚙合的小齒輪，所述小齒輪的前表面安裝有轉動桿。

優選的，所述爐筒的側壁安裝有水箱，所述水箱的內壁底部安裝有水泵，所述水箱的側壁安裝有與水泵電性連接的開關，所述水泵的出水端連接有冷卻管，所述冷卻管的端部延伸至內膽與爐筒之間且環繞于內膽的外部，所述冷卻管的端部環繞內膽后延伸至爐筒的外部且連接有散熱箱，所述散熱箱安裝于爐筒的外壁，所述散熱箱通過導管與水箱的頂部連接。

優選的，所述散熱箱為扁平狀，所述散熱箱遠離爐筒的一側開設有密布的蒸發孔，所述散熱箱的內壁且位于蒸發孔的上方安裝有擋片。

優選的，所述爐筒的前表面且位于活動門的側部安裝有橫筒，所述橫筒和把手的內部插接有擋桿。

優選的，所述擋板的側壁安裝有加強桿，且加強桿為條狀。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

(1)本實用新型通過擋板和擋桿將關閉后的活動門進行遮擋，提高了該裝置的防爆性能，安全性更佳，同時通過小齒輪帶動大齒輪旋轉的方式控制擋板的向上運動，操作更加省力，解決了脫脂過程中爐筒易爆炸的問題。

(2)本實用新型通過冷卻管可對內膽進行快速降溫，實現在保護氣氛下低溫退火的工藝要求，同時吸熱后的冷卻水可快速失熱，便于長時間使用，解決了脫脂過程中爐筒內溫度過高不能滿足退火要求的問題。

附圖說明

圖1為本實用新型的主視圖；

圖2為本實用新型散熱箱的內部結構示意圖；

圖3為本實用新型內膽與冷卻管連接時的結構示意圖。