[實(shí)用新型]一種旋轉(zhuǎn)靶材脫脂裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921653650.0
• 申請(qǐng)日: 2019-09-29
• 公開（公告）號(hào): CN210632942U
• 公開（公告）日: 2020-05-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡茂橫
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳恒泰克科技有限公司
• 主分類號(hào): B22F3/10
• 分類號(hào): B22F3/10;B22F3/24;C21D1/26;C21D1/74;C21D9/00
• 代理公司: 深圳市中科創(chuàng)為專利代理有限公司 44384
• 代理人: 彭西洋;謝亮

本實(shí)用新型屬于靶材脫脂技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種旋轉(zhuǎn)靶材脫脂裝置，包括帶有底座的爐筒，所述爐筒的內(nèi)部安裝有內(nèi)膽，所述爐筒的前表面通過合頁安裝有活動(dòng)門，且活動(dòng)門的側(cè)壁安裝有把手，所述爐筒的前表面且位于活動(dòng)門的上下側(cè)均焊接有豎筒，所述豎筒的內(nèi)部插接有可滑動(dòng)的擋板，本實(shí)用新型通過擋板和擋桿將關(guān)閉后的活動(dòng)門進(jìn)行遮擋，提高了該裝置的防爆性能，安全性更佳，同時(shí)通過小齒輪帶動(dòng)大齒輪旋轉(zhuǎn)的方式控制擋板的向上運(yùn)動(dòng)，操作更加省力，解決了脫脂過程中爐筒易爆炸的問題，通過冷卻管可對(duì)內(nèi)膽進(jìn)行快速降溫，實(shí)現(xiàn)在保護(hù)氣氛下低溫退火的工藝要求，同時(shí)吸熱后的冷卻水可快速失熱，便于長時(shí)間使用。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于靶材脫脂技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種旋轉(zhuǎn)靶材脫脂裝置。

背景技術(shù)

旋轉(zhuǎn)靶材是磁控的靶材，靶材做成圓筒型的，里面裝有靜止不動(dòng)的磁體，以慢速轉(zhuǎn)動(dòng)，靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統(tǒng)在適當(dāng)工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源，在制備功能薄膜時(shí)需對(duì)其進(jìn)行脫脂操作，如申請(qǐng)?zhí)枮镃N201820206723.0的一種用于生產(chǎn)硬質(zhì)合金的脫脂爐，雖解決了混合氣體的充分燃燒問題，但在脫脂過程中溫度過高易爆，安全性不佳，同時(shí)降溫速度過慢，無法滿足以氫氣、氮?dú)饨M成的保護(hù)氣氛下的低溫退火要求，實(shí)用性不佳。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種旋轉(zhuǎn)靶材脫脂裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的在脫脂過程中溫度過高易爆，安全性不佳，同時(shí)降溫速度過慢，無法滿足以氫氣、氮?dú)饨M成的保護(hù)氣氛下的低溫退火要求，實(shí)用性不佳的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種旋轉(zhuǎn)靶材脫脂裝置，包括帶有底座的爐筒，所述爐筒的內(nèi)部安裝有內(nèi)膽，所述爐筒的前表面通過合頁安裝有活動(dòng)門，且活動(dòng)門的側(cè)壁安裝有把手，所述爐筒的前表面且位于活動(dòng)門的上下側(cè)均焊接有豎筒，所述豎筒的內(nèi)部插接有可滑動(dòng)的擋板，所述擋板的內(nèi)部且位于頂側(cè)的豎筒頂部插接有固定桿，所述擋板的一側(cè)開設(shè)有齒槽，所述底座的前表面活動(dòng)安裝有與擋板嚙合的大齒輪，所述底座的前表面活動(dòng)安裝有與大齒輪嚙合的小齒輪，所述小齒輪的前表面安裝有轉(zhuǎn)動(dòng)桿。

優(yōu)選的，所述爐筒的側(cè)壁安裝有水箱，所述水箱的內(nèi)壁底部安裝有水泵，所述水箱的側(cè)壁安裝有與水泵電性連接的開關(guān)，所述水泵的出水端連接有冷卻管，所述冷卻管的端部延伸至內(nèi)膽與爐筒之間且環(huán)繞于內(nèi)膽的外部，所述冷卻管的端部環(huán)繞內(nèi)膽后延伸至爐筒的外部且連接有散熱箱，所述散熱箱安裝于爐筒的外壁，所述散熱箱通過導(dǎo)管與水箱的頂部連接。

優(yōu)選的，所述散熱箱為扁平狀，所述散熱箱遠(yuǎn)離爐筒的一側(cè)開設(shè)有密布的蒸發(fā)孔，所述散熱箱的內(nèi)壁且位于蒸發(fā)孔的上方安裝有擋片。

優(yōu)選的，所述爐筒的前表面且位于活動(dòng)門的側(cè)部安裝有橫筒，所述橫筒和把手的內(nèi)部插接有擋桿。

優(yōu)選的，所述擋板的側(cè)壁安裝有加強(qiáng)桿，且加強(qiáng)桿為條狀。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

(1)本實(shí)用新型通過擋板和擋桿將關(guān)閉后的活動(dòng)門進(jìn)行遮擋，提高了該裝置的防爆性能，安全性更佳，同時(shí)通過小齒輪帶動(dòng)大齒輪旋轉(zhuǎn)的方式控制擋板的向上運(yùn)動(dòng)，操作更加省力，解決了脫脂過程中爐筒易爆炸的問題。

(2)本實(shí)用新型通過冷卻管可對(duì)內(nèi)膽進(jìn)行快速降溫，實(shí)現(xiàn)在保護(hù)氣氛下低溫退火的工藝要求，同時(shí)吸熱后的冷卻水可快速失熱，便于長時(shí)間使用，解決了脫脂過程中爐筒內(nèi)溫度過高不能滿足退火要求的問題。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的主視圖；

圖2為本實(shí)用新型散熱箱的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型內(nèi)膽與冷卻管連接時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。