[實用新型]一種半導體清洗快排清洗治具

有效

• 申請號: 201921652649.6
• 申請日: 2019-09-30
• 公開（公告）號: CN210676142U
• 公開（公告）日: 2020-06-05
• 發明（設計）人: 向俊武;周游;陳小躍;陳浩
• 申請（專利權）人: 安測半導體技術（江蘇）有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B13/00
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102
• 代理人: 陳亮

1.一種半導體清洗快排清洗治具，包括底座，底座上面配合設置有上連接部，上連接部的上面配合設置有清洗工作部，其特征在于，所述底座、上連接部及其清洗工作部呈中空形狀設置；所述底座、上連接部及其清洗工作部中貫穿設置有儲水槽，上連接部的側面設置有快開門體，快開門體連接有濾網組件，濾網組件覆蓋在上連接部內部；底座底部還配合設置有出水口；所述清洗工作部的內部配合設置有移動噴淋組件，所述移動噴淋組件自上到下設置有若干組。

2.根據權利要求1所述的一種半導體清洗快排清洗治具，其特征在于：所述移動噴淋組件分別設置在清洗工作部的兩側并分別為左側工作部和右側工作部；左側工作部和右側工作部的移動噴淋組件各設置有兩組并對稱設置。

3.根據權利要求1所述的一種半導體清洗快排清洗治具，其特征在于：所述移動噴淋組件包括上側噴淋組件和下側噴淋組件，上側噴淋組件包括上側固定部，設置在上側固定部上的上側噴淋管，上側噴淋管和上側固定部之間設置有上側轉動組件。

4.根據權利要求3所述的一種半導體清洗快排清洗治具，其特征在于：所述下側噴淋組件包括下側固定部，設置在下側固定部上的下側噴淋管、設置在清洗工作部內側的上下移動軌道；所述下側固定部配合上下移動軌道設置。

5.根據權利要求3所述的一種半導體清洗快排清洗治具，其特征在于：所述上側固定部和上側噴淋管、下側固定部和下側噴淋管之間分別設置轉動組件，所述轉動組件包括分別設置在上側噴淋管、下側噴淋管上的轉動軌道，配合轉動軌道設置的轉動輪；轉動配合轉動軌道設置。