[實(shí)用新型]一種具有氮化鎂殼層的氧化鎳/鋅鎳氧/氧化鋅器件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921650552.1
• 申請(qǐng)日: 2019-09-30
• 公開（公告）號(hào): CN210272381U
• 公開（公告）日: 2020-04-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鳳天宏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東北財(cái)經(jīng)大學(xué)
• 主分類號(hào): H01L31/0216
• 分類號(hào): H01L31/0216;H01L31/0352
• 代理公司: 大連理工大學(xué)專利中心 21200
• 代理人: 溫福雪

1.一種具有氮化鎂殼層的氧化鎳/鋅鎳氧/氧化鋅器件，其特征在于，該具有氮化鎂殼層的氧化鎳/鋅鎳氧/氧化鋅器件包括氧化鋅薄層、氧化鎳薄層、鋅鎳氧超薄層和氮化鎂層；

所述的氧化鋅薄層為梯形截面的圓臺(tái)，厚度為300μm；氧化鋅薄層的上表面為氧化鋅單晶鋅極化面，直徑為10mm；氧化鋅薄層的下表面為氧化鋅單晶氧極化面，直徑為12mm；

所述的鋅鎳氧超薄層位于氧化鋅單晶鋅極化面上，其直徑為10mm、厚度為3nm～10nm的圓臺(tái)；鋅鎳氧超薄層的圓心與氧化鋅單晶鋅極化面的圓心重合；

所述的氧化鎳薄層位于鋅鎳氧超薄層上，其直徑為10mm、厚度為0.1μm～2μm的圓臺(tái)；氧化鎳薄層的圓心與氧化鋅單晶鋅極化面的圓心重合；

所述的氧化鎳薄層上表面、氧化鋅單晶氧極化面以及器件側(cè)面為氮化鎂層，其厚度為10nm～100nm；

所述的氧化鎳薄層側(cè)的氮化鎂層上開有一個(gè)直徑為8mm～10mm的孔，露出氧化鎳，孔的圓心與氧化鋅單晶鋅極化面的圓心重合；氧化鎳薄層的開孔上連接有圓形Ni/Au歐姆接觸電極，直徑為8mm～10mm，圓心與開孔圓心重合，Ni電極厚度為10nm～200nm，Au電極厚度為0.01μm～1μm；

所述的氧化鋅單晶氧極化面?zhèn)鹊牡V層上開有一個(gè)直徑為8mm～12mm的孔，露出氧化鋅，孔的圓心與氧化鋅單晶氧極化面的圓心重合；氧化鋅單晶氧極化面?zhèn)鹊拈_孔上連接有圓形Al/Au歐姆接觸電極，直徑為8mm～12mm，圓心與開孔圓心重合，Al電極厚度為10nm～200nm，Au電極厚度為0.01μm～1μm。