[實用新型]一種可在線觀測的真空檢漏儀

有效

• 申請號: 201921650399.2
• 申請日: 2019-09-30
• 公開（公告）號: CN210625984U
• 公開（公告）日: 2020-05-26
• 發明（設計）人: 廖洪鋼
• 申請（專利權）人: 廈門超新芯科技有限公司
• 主分類號: G01M3/38
• 分類號: G01M3/38;G01N21/88
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種可在線觀測的真空檢漏儀，包括：機體、樣品座部件、抽真空裝置、檢測機構和同軸光調節器；樣品座部件設于所述機體頂部；抽真空裝置設于所述機體內側；檢測機構設于機體頂部；同軸光調節器設于檢測機構左側，用于調節所述檢測機構拍攝時光線的明亮度。本實用新型可在線觀測樣品桿/樣品在真空中是否有泄漏、破損等缺陷，進行預抽真空，實現事先防止異常樣品桿/樣品進入電鏡中，避免污染電鏡環境。

技術領域

本實用新型屬于透射電子顯微鏡真空配件領域，尤其涉及一種可在線觀測的真空檢漏儀。

背景技術

透射電子顯微鏡作為一種顯微觀察設備，可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像，觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結構的優點。其樣品載體樣品桿搭配原位檢測芯片，可以使分辨率達到原子級。研究學者可以通過原位技術捕獲樣品對環境的動態感應，包括尺寸、形貌、晶體結構變化等重要信息。

然而透射電子顯微鏡是使用時對樣品桿要求極高，要求樣品臺和原位檢測芯片具有很高的清潔度，無破損泄漏、無潮氣、無粉塵等附著物。若檢測存在污染、破損等，不僅影響透射電子顯微鏡的檢測環境造成破壞，嚴重影響的壽命，還影響觀察的效果。

發明內容

本實用新型的目的在于提供一種可在線觀測的真空檢漏儀，其具有抽真空速度快，精準觀測樣品，能夠配合透射電鏡樣品桿檢測，減少樣品桿對透射電子顯微鏡的污染，提高對觀察精度等優點。

為實現上述目的，本實用新型提供了一種可在線觀測的真空檢漏儀，該在線觀測的真空檢漏儀包括：

機體，所述機體兩側設有散熱孔，用于將機體內側的熱量及時排出，提高使用壽命，所述機體底部設有滑輪，方便移動設備，所述機體頂部設有控制面板用于控制設備的運行；

樣品座部件，設于所述機體頂部，用于盛放透射電子顯微鏡樣品桿；

抽真空裝置；設于所述機體內側，且與所述樣品座部件連接，用于對所述子樣品座部件進行抽真空；

檢測機構，設于機體頂部，用于對樣品座部件內側的樣品桿檢測拍攝檢測，及

同軸光調節器，設于檢測機構左側，用于調節所述檢測機構拍攝時光線的明亮度。

在其中一個實施例中，所述樣品座部件包括插管和插桿座組件；所述插管與所插桿座組件固定連接。

在其中一個實施例中，所述插桿座組件包括插座、第一透光元件、第二透光元件、第一端頭蓋和第二端頭蓋；所述第一透光元件與所述插座之間通過第一端頭蓋固定連接，所述第二透光元件與所述插座之間通過第二端頭蓋固定連接。

在其中一個實施例中，所述第二透光元件的一面上設有磨砂面，用于增強底燈的漫反射。

在其中一個實施例中，所述支撐架上設有減震機構，所述減震機構為環形減震墊。

在其中一個實施例中，所述顯微鏡鏡頭元件采用高低倍顯微鏡，其放大倍數范圍為50-800倍；所述的高低倍顯微鏡同軸光可調節。

在其中一個實施例中，所述檢測機構包括顯微鏡鏡頭元件、拍攝元件、調整機構和顯示器；所述調整機構一端固定連接顯示器，另一端連接顯微鏡鏡頭元件；所述顯微鏡鏡頭元件與拍攝元件同軸設置。

在其中一個實施例中，所述調整機構包括鏡筒固定臺、顯微鏡升降臺、前后移動部件、左右移動部件以及螺絲調節把手；所述左右移動部件固定設于顯微鏡升降臺上，所述前后移動部件與左右移動部件滑動連接；所述鏡筒固定臺設于前后移動部件上；所述螺絲調節把手設有兩個，一個連接前后移動部件，另一個連接左右移動部件。

在其中一個實施例中，所述抽真空裝置包括支撐架、分子泵、真空計和三通；所述分子泵設于支撐架上方；所述三通設于分子泵的進氣端；所述真空計固定安裝在三通上。