[實用新型]鉻蝕刻液生產設備

有效

• 申請號: 201921649743.6
• 申請日: 2019-09-30
• 公開（公告）號: CN211036110U
• 公開（公告）日: 2020-07-17
• 發明（設計）人: 童晨
• 申請（專利權）人: 昆山晶科微電子材料有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08;B01F3/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.鉻蝕刻液生產設備，其特征在于，包括混合罐、過濾器和恒溫水循環機，所述混合罐通過管道將鉻蝕刻液輸送至所述過濾器中，所述管道外部包覆有保溫裝置；所述保溫裝置主要由兩塊保溫套、分水器一和分水器二構成，兩塊所述保溫套之間活動連接，所述分水器一的總接頭與所述恒溫水循環機的出水口連接，所述分水器二的總接頭與所述恒溫水循環機的進水口連接，所述保溫套中嵌入有連續彎曲的軟管，所述軟管的一端與所述分水器一的分水口連接，另一端與所述分水器二的分水口連接。

2.根據權利要求1所述的鉻蝕刻液生產設備，其特征在于，兩塊所述保溫套之間通過魔術貼或者拉鏈實現活動連接。

3.根據權利要求1所述的鉻蝕刻液生產設備，其特征在于，所述保溫套的兩條邊緣處設置有連接塊，兩塊所述保溫套的連接塊對接后通過緊固件實現活動連接。

4.根據權利要求1所述的鉻蝕刻液生產設備，其特征在于，所述保溫套中沿其長度方向設置有數根連續彎曲的軟管。

5.根據權利要求1所述的鉻蝕刻液生產設備，其特征在于，所述管道的彎曲處開設有一圓孔，所述圓孔中安裝有一堵頭，所述堵頭位于所述管道內的一端凸出于管壁。

6.根據權利要求5所述的鉻蝕刻液生產設備，其特征在于，所述堵頭的凸出長度為2mm。