[實用新型]一種對照校對能力的離子刻蝕微調(diào)機裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921646307.3
• 申請日: 2019-09-30
• 公開（公告）號: CN210535632U
• 公開（公告）日: 2020-05-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 葉國萍;胡志軍
• 申請（專利權(quán)）人: 匯隆電子（金華）有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/3065;H01L21/306
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本實用新型涉及石英芯片、電子元件制造裝置領(lǐng)域，具體為一種對照校對能力的離子刻蝕微調(diào)機裝置。包括固定座、離子刻蝕微調(diào)機本體，其中：所述固定座設(shè)置有固定槽，離子刻蝕微調(diào)機本體插入固定槽中；所述離子刻蝕微調(diào)機本體包括前蓋、離子腔管、離子芯槍，離子腔管為管體結(jié)構(gòu)，其管腔中從后方插入離子芯槍，離子腔管的頭端一體設(shè)置前密封腔蓋，所述導(dǎo)光管由導(dǎo)孔插入到插孔中；所述離子腔管尾端設(shè)置尾屏蔽片，尾屏蔽片中央設(shè)置軸承孔，尾屏蔽片尾端安裝校準(zhǔn)電機，校準(zhǔn)電機的機軸的頭端法蘭連接設(shè)置校準(zhǔn)旋片后插入軸承孔實現(xiàn)和離子刻蝕微調(diào)機本體的固定連接，所述校準(zhǔn)旋片為筆直橫向的雙片扇葉結(jié)構(gòu)，校準(zhǔn)旋片的扇葉頭端設(shè)置反射片。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及石英芯片、電子元件制造裝置領(lǐng)域領(lǐng)域，具體為一種對照校對能力的離子刻蝕微調(diào)機裝置。

背景技術(shù)

常用離子刻蝕微調(diào)機裝置在進行石英芯片刻蝕的時候，速度過慢，所以為了加快速度我們需要改造刻蝕臺，所以出現(xiàn)了環(huán)式刻蝕臺，達到在快速的轉(zhuǎn)動時候讓離子刻蝕微調(diào)機裝置對臺體上的芯片進行刻蝕，刻蝕完成后快速的轉(zhuǎn)到下1個刻蝕座，但是在這個轉(zhuǎn)動的過程中，雖然每次轉(zhuǎn)動角度都是由嵌入式控制電機精準(zhǔn)控制的，但是時間一長還是會出現(xiàn)偏差。

實用新型內(nèi)容

本實用新型設(shè)計的目的是提供一種對照校對能力的離子刻蝕微調(diào)機裝置，帶有對照結(jié)構(gòu)，通過對照射燈裝置進行光學(xué)感知定位，讓同步的環(huán)式刻蝕臺得到調(diào)整數(shù)據(jù)。

本實用新型是通過下述技術(shù)方案實現(xiàn)的：一種對照校對能力的離子刻蝕微調(diào)機裝置，包括固定座、離子刻蝕微調(diào)機本體，其中：所述固定座設(shè)置有固定槽，離子刻蝕微調(diào)機本體插入固定槽中；所述離子刻蝕微調(diào)機本體包括前蓋、離子腔管、離子芯槍，離子腔管為管體結(jié)構(gòu)，所述離子腔管包括屏蔽管和前端和屏蔽管一體設(shè)置的導(dǎo)光管組，離子腔管其管腔從后方插入離子芯槍，

離子腔管的頭端套合設(shè)置前密封腔蓋，前密封腔蓋中心設(shè)置投射蜂窩孔，繞投射蜂窩孔圓周一圈設(shè)置若干個照蓋孔，所述屏蔽管的管身鏤空設(shè)置插孔，組環(huán)匹配插孔數(shù)量和位置設(shè)置導(dǎo)孔，所述導(dǎo)光管由導(dǎo)孔插入到插孔中；實現(xiàn)組環(huán)由導(dǎo)光管支撐著連接到屏蔽管；

所述離子腔管尾端設(shè)置尾屏蔽片，尾屏蔽片中央設(shè)置軸承孔，尾屏蔽片尾端安裝校準(zhǔn)電機，校準(zhǔn)電機的機軸的頭端法蘭連接設(shè)置校準(zhǔn)旋片后插入軸承孔實現(xiàn)和離子刻蝕微調(diào)機本體的連接，所述校準(zhǔn)旋片為筆直橫向的雙片扇葉結(jié)構(gòu)，校準(zhǔn)旋片的扇葉頭端設(shè)置反射片。

作為優(yōu)選所述導(dǎo)光管為12根，每根間隔30°。

作為優(yōu)選所述導(dǎo)光管為鋁材質(zhì)金屬管。

作為優(yōu)選所述導(dǎo)光管直徑為2cm。

作為優(yōu)選所述離子腔管尾端也是開口結(jié)構(gòu)，并在內(nèi)壁設(shè)置后口螺紋，作為匹配尾屏蔽片的外沿也設(shè)置螺紋，尾屏蔽片利用螺紋與離子腔管的屏蔽管進行連接。這種結(jié)構(gòu)便于快速進行讓離子腔管和尾屏蔽片進行連接

作為優(yōu)選所述導(dǎo)光管由導(dǎo)孔插入到插孔中，導(dǎo)光管為12根的鋁材質(zhì)金屬管，每根間隔30°，導(dǎo)光管每根直徑為2cm。

作為優(yōu)選所述投射蜂窩孔、插孔、導(dǎo)孔每一組都是彼此在一條軸線上的。

作為優(yōu)選所述導(dǎo)光管的連接方式是可以在組環(huán)的插孔結(jié)構(gòu)上設(shè)置螺紋，讓導(dǎo)光管在插孔的螺紋上進行螺接。

通過采用上述技術(shù)方案，本實用新型的有益效果是：利用導(dǎo)光管將射入的紅外線進行反射獲得校準(zhǔn)的感知，來進行環(huán)式刻蝕臺角度位置的快速校準(zhǔn)，而且并不會因為在刻蝕的時候電離子槍會對相關(guān)感應(yīng)器或者紅外線發(fā)射器造成影響；校準(zhǔn)和制作可以同時進行，進行無時差的校準(zhǔn)工作；每個校準(zhǔn)管路相互不干擾，校準(zhǔn)精確性高。

附圖說明

圖1為整體安裝結(jié)構(gòu)立體圖。

圖2為離子刻蝕微調(diào)機本體安裝固定結(jié)構(gòu)圖。